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カソード仕様 / 第1スパッタ室
カソード仕様 / 第2スパッタ室
プロセス性能 / 膜厚分布
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各室到達压力 / カセット室
各室到達压力 / 搬送室
各室到達压力 / エッチング室
各室到達压力 / スパッタ室
装置構成 / カセット室
1室
装置構成 / 搬送室
1室
スパッタ方向
アップ
プロセス性能 / 基板加熱
300℃
操作方法
全自動CtoC方式
カソード仕様 / 第3スパッタ室
¢300mm x 1ヶ
カソード仕様 / 第4スパッタ室
¢300mm x 1ヶ
型番
STM5213取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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スパッタリング装置の製品81点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 処理基板 | 装置構成 / カセット室 | 装置構成 / 搬送室 | 装置構成 / エッチング室 | 装置構成 / スパッタ室 | カソード仕様 / 第1スパッタ室 | カソード仕様 / 第2スパッタ室 | スパッタ方向 | プロセス性能 / 膜厚分布 | プロセス性能 / エッチング分布 | プロセス性能 / 基板加熱 | 各室到達压力 / カセット室 | 各室到達压力 / 搬送室 | 各室到達压力 / エッチング室 | 各室到達压力 / スパッタ室 | 操作方法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | ¢200mm基板 | 1室 | 1室 | 1室 | 4室 | ¢350mm x 1ヶ | ¢350mm x 1ヶ | アップ | ±3%以内 (¢180) | ±10%以内 (¢180) | 300℃ | 7.0 x 10-⁵Pa以下 | 7.0 × 10-⁵Pa以下 | 7.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁵Pa以下 | 全自動CtoC方式 |
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