全てのカテゴリ
閲覧履歴
プローブカードについての概要、用途、原理などをご説明します。また、プローブカードのメーカー25社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。プローブカード関連企業の2024年12月注目ランキングは1位:株式会社TOTOKU、2位:株式会社日本マイクロニクス、3位:株式会社ミコジックとなっています。
プローブカードとは、半導体の製造工程におけるウェーハレベルの検査に必要な器具です。
ウェーハ検査装置に取り付けて使用されます。半導体のコストの多くは製造設備で決まりますが、製造段階においてはパッケージ本体やパッケージングのコストも大きく影響します。このため、半導体としての製造工程を終えたウェーハレベルで製品の良否を判定し、良品だけを以降の工程に送るとコストを抑制することが可能です。
1枚のウェーハ上には数百~数千個のチップが並んでおり、これを個々に切断してパッケージングする前に良否を判定して選別する工程がウェーハ検査であり、ここで必要となるのがプローブカードです。
ウェーハ検査は、チップに対してテストパターンと呼ばれる電気信号を入力し出力信号パターンを期待値と比較して判定するLSIテスタと、1つ1つのチップの電極端子に正確に信号接続するためのチップレベルの位置決め制御を行うウェーハプローバと、チップ内の数百~数万の電極端子に正確に当たるように位置決めされた同数の針 (プローブ) を持つプローブカードで実施されます。
このため、プローブカードはチップのデザイン毎に専用に作成する必要があり、それ自体にコストが掛かる上、使用による摩耗等により再作成も必要となりますが、製造コスト全体を考えると必須です。半導体チップはコンピュータだけでなく、生活の中のほとんどの製品の中で無数に使用されており、プローブカードはその支えの一つです。
プローブカードは、ウェーハプローバ上に取り付けられ、ウェーハプローバを介してチップの電極端子とLSIテスタをつなぐコネクタの役割を果たしています。
LSIテストヘッドにはスピリングコンタクトピンや高密度ピンが接続用に実装されていますが、半導体チップの電極端子の配置ピッチは狭いもので数十ミクロンとテストヘッドのピンの配置密度よりも微細なため、プローブカードを介して両者を接続することが必要です。
プローブカードの上側の面にはテストヘッドとの接続端子、下側には半導体チップの電極端子と接続するための針が取り付けられています。
テストヘッドとプローブカードの接続端子を繋ぎ、更に半導体チップの電極端子とプローブカードの針を繋ぐことで電気的な接続を構成し、LSIテスタからの電気信号による良/不良の判定をすることでシリコンウェーハ上の1つ1つの半導体チップに対して検査を行います。
プローブカードにはアドバンスト型、カンチレバー型があり、アドバンスト型は垂直型の端子が付いたブロックが基板に取り付けられていてプローブの配列が自由でメンテナンスしやすいです。カンチレバー型ではプローブがブロックを介することなく基板に直接取り付けられており、狭ピッチの端子に対応しやすい特徴があります。
ウェーハ検査における微細で高度な信頼性を求められるため、プローブカードはセラミック製の基板が多く用いられています。例えば京セラの場合、DRAMやフラッシュメモリやロジックデバイス等のプローブカード用に薄膜単層や薄膜多層のメタライズ付きセラミック多層基板が用いられています。
一般的に、LSI又はシステムLSIと呼ばれる大規模集積半導体回路の信号接続部分は、その端子にスプリングコネクタや高密度コネクタが用いられています。プローブカードはこのテストヘッドと検査対象のウェーハとの間の仲介役としての役割も持ち、高度な接続信頼性と電気検査性能機能を求められているため、その機構も材料も繊細です。セラミックなどの材料が使用されています。
しかし、プローブカードの耐久性には限界があり、物理的な衝撃による僅かな歪みでも使用目的を満たせず、修理も困難な消耗品でもあるため定期的に交換する必要があります。
参考文献
https://www.seiken.co.jp/semiconductor/probecard.html
https://news.mynavi.jp/article/20200603-1047480/
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年12月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社TOTOKU |
17.8%
|
| 2 | 株式会社日本マイクロニクス |
11.4%
|
| 3 | 株式会社ミコジック |
6.8%
|
| 4 | 株式会社テクノプローブ |
6.4%
|
| 5 | 東邦電子株式会社 |
6.4%
|
| 6 | イノテック株式会社 |
6.0%
|
| 7 | FICT株式会社 |
5.7%
|
| 8 | 株式会社イーエスエス |
5.0%
|
| 9 | FormFactor Inc. |
4.6%
|
| 10 | 株式会社精研 |
4.3%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年12月のプローブカードページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
19 点の製品がみつかりました
19 点の製品
ハイソル株式会社
70人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
33.8時間 返答時間
ご要求仕様に合わせて、プローブカードを設計・製作いたします。 ■特長 ・微小信号測定対応 ・高周波測定対応 ・高低温対応 (-60℃ ～ +300℃) ・エッジセン...
株式会社TOTOKU
330人以上が見ています
高周波IC計測治具はICの複数電極に直接コンタクトして、 計測機に直結出来る検査治具です。 IC以外にも測定対象物に合わせた高周波測定が可能です。
九州エレクトロン株式会社
240人以上が見ています
最新の閲覧: 3分前
『プローブカードアナライザ』は、画像処理と独自の補正方法により、umオーダーの位置決め、測定精度を実現した検査装置です。針個別にコンタクト測定を行う...
OKIサーキットテクノロジー株式会社
410人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
40.8時間 返答時間
・半導体の微細化、多ピン化に対応した高精度、高多層基板をご提供いたします。 ・信号伝送の高速化による高品位電気特性に対応した、伝送線路シミュレーシ...
株式会社カスタム
170人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
18.0時間 返答時間
溶存酸素プローブの交換用センサー部品。
株式会社ヨコオ
190人以上が見ています
最新の閲覧: 48分前
100.0% 返答率
130.5時間 返答時間
半導体・電子部品などの回路検査用コネクタ製品 ■進化し続ける半導体・電子部品のあらゆる周波数帯と前工程・後工程における全ての検査分野に対応 私たちを...
3種類の品番
株式会社アポロウエーブ
80人以上が見ています
最新の閲覧: 41分前
■特徴 ・高温 (200℃) 、微小電流測定に最適。 ・キーサイト・テクノロジー4,060、4,062、4,070、4,080対応です。 ・マニュアル / セミオートプローバー用4.5...
株式会社アポロウエーブ
70人以上が見ています
最新の閲覧: 41分前
■特徴 ・コアキシャルプローブを使用し 優れた高周波特性を実現 ・すぐれた高周波特性 ・テストコストの低減 ・短納期 ■使用例 ・SAWフィルター ・RFスイッ...
株式会社アポロウエーブ
70人以上が見ています
最新の閲覧: 32分前
■特徴 ・10kV以上の電圧印加や 200A以上の大電流測定に対応 ・10kV、200A以上の対応 ・高電圧時の放電を防止する構造 ・イリジウム針を使用した大電流対応 ・...
株式会社アポロウエーブ
60人以上が見ています
最新の閲覧: 41分前
■特徴 ・高温での測定、 微小電流測定が可能 ・低高温・‐60～350℃ ・fAレベルの微小電流測定 ・4.5インチ角形基板対応 ・4070/4080テスター対応
株式会社アポロウエーブ
70人以上が見ています
最新の閲覧: 41分前
■特徴 ・300pin程度まで対応 ・マルチ取り対応 ・低価格でテストコストの低減 ・短納期
東邦電子株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 27分前
■特長 スプリングピンを使用した垂直型のプローブカードです。コンタクトするパッドに適した先端形状、材質をご提供できます。構造上ピン単体での交換が可能...
東邦電子株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■特長 極細プローブを使用した垂直型のプローブカードです。コンタクトするパッドに最適な材質のプローブを選択いただけます。特殊な配置のパッド、多数個測...
東邦電子株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
■特長 特殊加工によるごみ付着を軽減することで歩留りの向上や接触性の安定、また小パッド品やCUP品 (Circuit under pad) に最適な低針圧プローブ等お客様の...
東邦電子株式会社
10人以上が見ています
■特長 一般的な片持ち梁 (Cantilever) タイプのプローブカードです。狭ピッチ (単列40μmまで) 、多層針立て、高低温測定、マルチ測定化等様々なデバイスの測...
東邦電子株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
■特長 同軸構造を持った針、及び高周波対応プリント基板を使用することで、ウエハレベルでの高周波測定を実現させます。標準化した部材を使用し、低価格・短...
東邦電子株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
■特長 特殊合金を使用する事で大電流に対応するプローブカードです。素材の性質上、大電流を流した時の表面酸化が他の針に比べ起こりにくく、低い接触抵抗を...
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
カタログを企業ごとに探す
次世代半導体の機能試験に対応し、従来よりも約3割大型化したテスト基板（検査装置用基板）の量産をスタートしました。データ通信の高速化・大容量化、AIの普...
2023年2月16日
● プローブカードの針圧／接触抵抗／針先座標／高さバラツキ／針長さ／などの測定ができます。● 予算に合わせて必要な機能を選択搭載することができるカスタ...
2024年5月2日
3,500 円
3,500 円
3,500 円
Metoreeに登録されているプローブカード19製品の2025年1月21日時点での価格データを元に算出しています。
