メーカー 23社
製品 21点

プローブカード
メーカー23社【2025年】

プローブカードについての概要、用途、原理などをご説明します。また、プローブカードのメーカー23社一覧や企業ランキングも掲載しております。プローブカード関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:株式会社TOTOKU、2位:株式会社日本マイクロニクス、3位:東邦電子株式会社となっています。

プローブカードとは？
プローブカードのメーカー23社
プローブカード21製品
プローブカードの価格・相場

プローブカードとは

プローブカードとは、半導体の製造工程におけるウェーハレベルの検査に必要な器具です。

ウェーハ検査装置に取り付けて使用されます。半導体のコストの多くは製造設備で決まりますが、製造段階においてはパッケージ本体やパッケージングのコストも大きく影響します。このため、半導体としての製造工程を終えたウェーハレベルで製品の良否を判定し、良品だけを以降の工程に送るとコストを抑制することが可能です。

1枚のウェーハ上には数百~数千個のチップが並んでおり、これを個々に切断してパッケージングする前に良否を判定して選別する工程がウェーハ検査であり、ここで必要となるのがプローブカードです。

プローブカードの使用用途

ウェーハ検査は、チップに対してテストパターンと呼ばれる電気信号を入力し出力信号パターンを期待値と比較して判定するLSIテスタと、1つ1つのチップの電極端子に正確に信号接続するためのチップレベルの位置決め制御を行うウェーハプローバと、チップ内の数百~数万の電極端子に正確に当たるように位置決めされた同数の針 (プローブ) を持つプローブカードで実施されます。

このため、プローブカードはチップのデザイン毎に専用に作成する必要があり、それ自体にコストが掛かる上、使用による摩耗等により再作成も必要となりますが、製造コスト全体を考えると必須です。半導体チップはコンピュータだけでなく、生活の中のほとんどの製品の中で無数に使用されており、プローブカードはその支えの一つです。

プローブカードの原理

プローブカードは、ウェーハプローバ上に取り付けられ、ウェーハプローバを介してチップの電極端子とLSIテスタをつなぐコネクタの役割を果たしています。

LSIテストヘッドにはスピリングコンタクトピンや高密度ピンが接続用に実装されていますが、半導体チップの電極端子の配置ピッチは狭いもので数十ミクロンとテストヘッドのピンの配置密度よりも微細なため、プローブカードを介して両者を接続することが必要です。

プローブカードの構造

プローブカードの上側の面にはテストヘッドとの接続端子、下側には半導体チップの電極端子と接続するための針が取り付けられています。

テストヘッドとプローブカードの接続端子を繋ぎ、更に半導体チップの電極端子とプローブカードの針を繋ぐことで電気的な接続を構成し、LSIテスタからの電気信号による良/不良の判定をすることでシリコンウェーハ上の1つ1つの半導体チップに対して検査を行います。

プローブカードにはアドバンスト型、カンチレバー型があり、アドバンスト型は垂直型の端子が付いたブロックが基板に取り付けられていてプローブの配列が自由でメンテナンスしやすいです。カンチレバー型ではプローブがブロックを介することなく基板に直接取り付けられており、狭ピッチの端子に対応しやすい特徴があります。

プローブカードのその他情報

ウェーハ検査における微細で高度な信頼性を求められるため、プローブカードはセラミック製の基板が多く用いられています。例えば京セラの場合、DRAMやフラッシュメモリやロジックデバイス等のプローブカード用に薄膜単層や薄膜多層のメタライズ付きセラミック多層基板が用いられています。

一般的に、LSI又はシステムLSIと呼ばれる大規模集積半導体回路の信号接続部分は、その端子にスプリングコネクタや高密度コネクタが用いられています。プローブカードはこのテストヘッドと検査対象のウェーハとの間の仲介役としての役割も持ち、高度な接続信頼性と電気検査性能機能を求められているため、その機構も材料も繊細です。セラミックなどの材料が使用されています。

しかし、プローブカードの耐久性には限界があり、物理的な衝撃による僅かな歪みでも使用目的を満たせず、修理も困難な消耗品でもあるため定期的に交換する必要があります。

参考文献
https://www.seiken.co.jp/semiconductor/probecard.html
https://news.mynavi.jp/article/20200603-1047480/

一括問い合わせ (無料)

プローブカードの取り扱い企業にまとめて見積もりできます！

電話番号不要

何社からも電話がかかってくる心配はありません

まとめて見積もり・問い合わせ

複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません

返答率96%以上

96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています

見積もりの使い方

プローブカードメーカー 23社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

- - 株式会社ミコジックメーカー
    プローブポジショナ一覧
  - 会社サイト創業: 2003年会社詳細
  - 住所: 大阪府高槻市古曽部町3-12-23
- - 株式会社イーエスエスメーカー
    プローバ一覧
  - 会社サイト創業: 2001年従業員数: 58人会社詳細
  - 住所: 東京都文京区湯島2-10-10 ESSビル
- - 東邦電子株式会社メーカー
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 183人資本金: 48,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県相模原市緑区西橋本2-4-3
- - FICT株式会社メーカー
    プローブカード基板一覧
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 770人会社詳細
  - 住所: 長野県長野市大字北尾張部36
- - 株式会社精研メーカー商社・代理店
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1984年従業員数: 311人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区南蒲田 2-16-2 テクノポート大樹生命ビル10階
- - 株式会社日本マイクロニクスメーカー商社・代理店
    ウェーハプローバ、プローブカード一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1970年従業員数: 1,111人会社詳細
  - 住所: 東京都武蔵野市吉祥寺本町2-6-8
- - イノテック株式会社メーカー商社・代理店
    テスター/プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 1,775人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜3-17-6
- - 理化電子株式会社
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1961年従業員数: 112人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区三田1-4-28 13F
- - 株式会社菱進テック
    プローブカード
  - 会社サイト創業: 1994年会社詳細
  - 住所: 愛媛県西条市ひうち18番地9
- - 株式会社ミノス
    MSPユニット
  - 会社サイト創業: 1990年資本金: 88,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県茅野市金沢302
- - 株式会社テクノプローブ
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 千葉県鎌ケ谷市東鎌ケ谷2丁目1-11
- - 株式会社ティアテック
    プローバ、プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 4人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区永代 2-16-1 ティアテックビル
- - 株式会社コーヨーテクノス
    プローブカード
  - 会社サイト創業: 1995年従業員数: 73人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県茅野市豊平373
- - 株式会社アポロウエーブ
    プローバー一覧
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 8人資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区西中島6-7-8大昭ﾋﾞﾙ4F
- - 株式会社TOTOKU
    プローブカード
  - 会社サイト創業: 1940年資本金: 6,700,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区西新橋1-2-9
- - 太洋テクノレックス株式会社
    ブローパー一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1960年従業員数: 197人資本金: 822,195,800円会社詳細
  - 住所: 和歌山県和歌山市有本661番地
- - ワイエイシイガーター株式会社
    NPB-200
  - 会社サイト創業: 1944年従業員数: 122人会社詳細
  - 住所: 東京都青梅市今井3-5-13
- - ベクターセミコン株式会社
    プローバー一覧
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 10人会社詳細
  - 住所: 東京都荒川区西日暮里2-43-2
- - イーエスジェー・プローブテクノロジー・ジャパン株式会社
    プローブカード、プロ-バー一覧
  - 会社サイト創業: 2000年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市大正区泉尾6-2-29 テクノシーズ泉尾302
- - ATEサービス株式会社
    aシリーズ
  - 会社サイト創業: 1983年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 東京都町田市南町田5丁目6番23
- - MPI Corporation.
    プローブカード
  - 会社サイト会社詳細
  - 本社: 台湾
- - FormFactor Inc.
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1993年会社詳細
  - 本社: アメリカ
- - ハイソル株式会社商社・代理店
    プローバー一覧
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 東京都台東区上野1-17-6

プローブカード 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社TOTOKU	21.6%
2	株式会社日本マイクロニクス	12.0%
3	東邦電子株式会社	10.4%
4	株式会社ミコジック	5.6%
5	株式会社テクノプローブ	4.8%
6	FICT株式会社	4.8%
7	株式会社精研	4.4%
8	理化電子株式会社	3.6%
9	株式会社イーエスエス	3.6%
10	イノテック株式会社	3.2%