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リニアステージ メーカー10社

リニアステージのメーカー10社一覧や企業ランキングを掲載中！リニアステージ関連企業の2025年4月注目ランキングは1位:株式会社フィジックステクノロジー、2位:駿河精機株式会社、3位:日本パルスモーター株式会社となっています。 リニアステージの概要、用途、原理もチェック！

リニアステージとは

監修:CKD日機電装株式会社

リニアステージとは、リニアサーボモータを搭載したテーブル機構です。位置検出にリニアエンコーダを使用したフルクローズ制御を行うことで、精密な位置決めと動作性能を可能とする機電一体のダイレクトドライブシステムとなります。

直交する2軸を組合せたXY軸や垂直方向のZ軸、回転テーブルのθ軸など、複数の軸を組み合わせる事でXYステージ、XYZステージ、XYZθステージなどの多軸化や用途に合わせた軸構成が可能です。
リニアサーボモータはダイレクトドライブモータですので、中間機構を介在せずに駆動出来ます。機械性能の向上、省スペース化、環境性の向上、メンテナンスの軽減、長距離駆動が可能です。

リニアステージはその特性を生かし、精密位置決め用途や搬送用途に使用されます。
精密位置決め用途では、ボールネジ、ラック・ピニオン、ベルト等の搬送機構に比べ、速度安定性に優れた高精度位置決めが可能です。

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自動ステージ 精密ステージ 位置決めステージ 2軸ステージ 1軸ステージ XYZステージ

10社リニアステージメーカー

株式会社フィジックステクノロジーのリニアステージ

株式会社フィジックステクノロジー

高速ダイレクトドライブリニアステージ

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・電磁ドライブによる最大1m/sの高速かつ長距離移動
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  • リニアステージ


リニアステージ 2025年4月のメーカーランキング


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業界別

🚗 自動車・輸送用機器 💻 電子・電気機器

項目別

移動範囲 mm

0 - 100 100 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 5

耐荷重 N

0 - 10 10 - 50

最大速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

繰返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10

駆動ネジピッチ mm

0.1 - 0.4 0.4 - 0.5 0.5 - 1

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35 点の製品

A-110　PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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A-110　PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ

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ピーアイ・ジャパン株式会社

A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ

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サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現 高精度 τリニア Xステージ定格推力68Nタイプ-CKD日機電装株式会社

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サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現 高精度 τリニア Xステージ定格推力68Nタイプ

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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ Agilisシリーズ AG-LS25-27V6-株式会社日本レーザー

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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ Agilisシリーズ AG-LS25-27V6

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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ Agilisシリーズ AG-LS25V6-株式会社日本レーザー

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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ Agilisシリーズ CONEX-AG-LS25-27P-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX200-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX200-D-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX200SG-株式会社日本レーザー

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M-110 • M-111 • M-112 コンパクトモータステージ＿X, XY, XZ, XYZ構成可能-ピーアイ・ジャパン株式会社

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX200SG-D-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX200SG-D

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M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX200SGV6-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX200SGV6

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M-110.C86311 リニアステージシステム

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400-株式会社日本レーザー

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製品概要 ■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精...


ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400-D-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400-D

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コンパクトなリニアステージ U-521 PILINEリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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コンパクトなリニアステージ U-521 PILINEリニアステージ

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商品の説明 ■精密クラスのリニア位置決めステージ ・高速精密位置決めを必要とするアプリケーションに特に適しています。 ・スイッチを...

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U-521.23V-コンパクトなリニアステージ U-521 PILINEリニアステージ
U-521.24V-コンパクトなリニアステージ U-521 PILINEリニアステージ

ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400SG-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400SG

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小型 V-408　PIMag リニアモータステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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小型 V-408　PIMag リニアモータステージ

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400SG-D-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400SG-D

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V412 高負荷リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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V412 高負荷リニアステージ

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400SGV6-株式会社日本レーザー

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ナノ位置決め直進ステージ NPX シリーズ NPX400SGV6

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V-508 高精度・低背リニアモータステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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V-508 高精度・低背リニアモータステージ

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■製品の説明 ・リニアモータと薄型設計を備えたコンパクトなリニア並進ステージ ・摩擦のないダイレクトドライブリニアモータ – 非常に...


V-551 精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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製品の説明 ■基準クラスリニアポジショナー ・クロスローラーベアリングを備えたスムーズな精密リニアガイドにより、リニアポジショナー...


VT-80V6 真空に適したリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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VT-80V6 真空に適したリニアステージ

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製品概要 ■標準クラスのリニアステージ ボールベアリングガイドと精密親ねじを再循環させ、スムーズで均一な送りを実現します。高い安定...


見積もりの使い方

📔 リニアステージの基礎知識

監修:CKD日機電装株式会社

リニアステージとは

リニアステージとは、リニアサーボモータを搭載したテーブル機構です。位置検出にリニアエンコーダを使用したフルクローズ制御を行うことで、精密な位置決めと動作性能を可能とする機電一体のダイレクトドライブシステムとなります。

直交する2軸を組合せたXY軸や垂直方向のZ軸、回転テーブルのθ軸など、複数の軸を組み合わせる事でXYステージ、XYZステージ、XYZθステージなどの多軸化や用途に合わせた軸構成が可能です。
リニアサーボモータはダイレクトドライブモータですので、中間機構を介在せずに駆動出来ます。機械性能の向上、省スペース化、環境性の向上、メンテナンスの軽減、長距離駆動が可能です。

リニアステージはその特性を生かし、精密位置決め用途や搬送用途に使用されます。
精密位置決め用途では、ボールネジ、ラック・ピニオン、ベルト等の搬送機構に比べ、速度安定性に優れた高精度位置決めが可能です。

リニアステージの使用用途

リニアステージは、位置決め精度や速度安定性能が求められる精密加工装置や検査装置に使用されています。

例えば以下の用途があります。
・レーザー加工機、半導体露光装置、プローバーなど高い位置決め精度が求められる装置
・コーター装置、画像検査装置など速度安定性能が求められる装置
・振動試験機、加振機、シミュレータなど相反動作で振動を抑えた高加速度の実現が求められる装置

その他の用途として、ロングストローク搬送装置、高速ハンドラ装置、高速プレス機の材料送り出し機構部などの搬送用途があります。

リニアステージの原理

リニアステージの構造は、駆動源にリニアサーボモータ、位置を検出するリニアエンコーダ、可動部の案内機構である直線軸受で構成され、モータを制御するサーボドライバによって指令通りの動作をします。

一般的にリニアステージは、固定子にマグネットユニット、可動子にコイルユニットを配置します。
コイルに電流を流すことで地場が発生し、電磁誘導の法則によりマグネットユニットに沿ってコイルユニットに推進力が生じて、可動子がストロークします。
また、リニアステージには、位置を検出するリニアエンコーダが必要となり、高分解能エンコーダによる精密位置検出とサーボドライバによるフルクローズ制御を用いることで、高い精度と速度安定性を実現します。

リニアステージの高精度化には、各構成要素の設置条件や性能が重要となります。
リニアガイドなどと呼ばれる直線軸受の走り精度や設置面の精度が、リニアステージの直進性に大きく影響します。
リニアエンコーダの設置位置はアッベの原理を考慮して、ワークポイントに近い位置に設置することが望まれます。
また、リニアサーボモータは自身が発熱源となります。ダイレクトドライブ機構であるが故にワークやリニアエンコーダへ熱が伝達しやすく、熱膨張によって精度が変化してしまうことがあります。
よって、放熱性能の向上や冷却機構を追加するなどの対策が肝要です。

【リニアステージの構成要素】

本記事はリニアステージを製造・販売するCKD日機電装株式会社様に監修を頂きました。

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