制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
リニアステージのメーカー10社一覧や企業ランキングを掲載中！リニアステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:株式会社フィジックステクノロジー、2位:CKD日機電装株式会社、3位:株式会社プロテリアルとなっています。 リニアステージの概要、用途、原理もチェック！
監修:CKD日機電装株式会社
リニアステージとは、リニアサーボモータを搭載したテーブル機構です。位置検出にリニアエンコーダを使用したフルクローズ制御を行うことで、精密な位置決めと動作性能を可能とする機電一体のダイレクトドライブシステムとなります。
直交する2軸を組合せたXY軸や垂直方向のZ軸、回転テーブルのθ軸など、複数の軸を組み合わせる事でXYステージ、XYZステージ、XYZθステージなどの多軸化や用途に合わせた軸構成が可能です。
リニアサーボモータはダイレクトドライブモータですので、中間機構を介在せずに駆動出来ます。機械性能の向上、省スペース化、環境性の向上、メンテナンスの軽減、長距離駆動が可能です。
リニアステージはその特性を生かし、精密位置決め用途や搬送用途に使用されます。
精密位置決め用途では、ボールネジ、ラック・ピニオン、ベルト等の搬送機構に比べ、速度安定性に優れた高精度位置決めが可能です。
関連キーワード
2025年7月の注目ランキングベスト8
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社フィジックステクノロジー |
35.7%
|
| 2 | CKD日機電装株式会社 |
14.3%
|
| 3 | 株式会社プロテリアル |
14.3%
|
| 4 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
7.1%
|
| 5 | 有限会社レーザークリエイト |
7.1%
|
| 6 | テクノハンズ株式会社 |
7.1%
|
| 7 | ソーラボジャパン株式会社 |
7.1%
|
| 8 | 駿河精機株式会社 |
7.1%
|
93 点の製品がみつかりました
93 点の製品
ピーアイ・ジャパン株式会社
2760人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■製品特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm...
ピーアイ・ジャパン株式会社
1230人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■製品概要 PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが...
ピーアイ・ジャパン株式会社
1420人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ210mm×210mm移動...
ピーアイ・ジャパン株式会社
330人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■製品概要 ・エアベアリングとボイスコイルドライブを備えたPIglideステージは、コンパクトなパッケージで高速と加速を提供。 ・モーシ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
330人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■製品概要 エアベアリング付きPIglide MBリニアステージには、プリロードエアベアリングと統合された光学リニアエンコーダを備えたサー...
ピーアイ・ジャパン株式会社
430人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■製品概要 ・超小型電動エアベアリングリニアステージ ・高性能リニアモーションのための小型ステージ設計 ・高精度、再現性、超滑らか...
ピーアイ・ジャパン株式会社
770人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
製品概要 ■リファレンスクラスリニアステージ 再循環ボールベアリングによる高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (si...
ピーアイ・ジャパン株式会社
970人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
製品概要 ■リファレンスクラスリニアステージ 高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (sin/cos、1V) を備えたインクリ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
560人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
製品概要 ■NEXACT参照クラス線形ステージ® NEXACT®PiezoWalk®ドライブを備えたリニアステージは、長い移動範囲にわたってナノメートル範...
ピーアイ・ジャパン株式会社
380人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■応用分野 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・ファイバー...
ピーアイ・ジャパン株式会社
810人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
製品説明 ■圧電慣性駆動 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエゾ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
490人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
製品の説明 ■圧電慣性駆動 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
430人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
商品の説明 ■精密クラスのリニア位置決めステージ ・高速精密位置決めを必要とするアプリケーションに特に適しています。 ・スイッチを...
ピーアイ・ジャパン株式会社
280人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
商品の説明 ■精密クラスのリニア位置決めステージ ・PILineステージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケーションに特に適していま...
ピーアイ・ジャパン株式会社
570人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
■製品の説明 ・リニアモータと薄型設計を備えたコンパクトなリニア並進ステージ ・摩擦のないダイレクトドライブリニアモータ – 非常に...
ピーアイ・ジャパン株式会社
840人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
製品の説明 ■基準クラスリニアポジショナー 磁気ダイレクトドライブを備えたリニアステージは、ドライブトレイン内の機械部品をほとんど...
ピーアイ・ジャパン株式会社
440人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.2時間 返答時間
製品の説明 ■基準クラスリニアポジショナー ・クロスローラーベアリングを備えたスムーズな精密リニアガイドにより、リニアポジショナー...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
190人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
240人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
160人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
200人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
210人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
200人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
210人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
210人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
130人以上が見ています
最新の閲覧: 5秒前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
260人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
160人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
200人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
190人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
190人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
220人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
230人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
190人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
130人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
130人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
210人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
260人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
200人以上が見ています
最新の閲覧: 5秒前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
220人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
200人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
110人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
160人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
130人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
130人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
200人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
160人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
190人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
190人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
130人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
90人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
130人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
150人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
110人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ...
株式会社日本レーザー
560人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
M3-LSリニアステージは、コントローラを内蔵した超小型高精度リニアステージです。小型のOEM機器にすぐに組込みが可能。外部ボードも不...
株式会社日本レーザー
180人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
リニアステージ “M3-LSシリーズ”開発キット。
監修:CKD日機電装株式会社
リニアステージとは、リニアサーボモータを搭載したテーブル機構です。位置検出にリニアエンコーダを使用したフルクローズ制御を行うことで、精密な位置決めと動作性能を可能とする機電一体のダイレクトドライブシステムとなります。
直交する2軸を組合せたXY軸や垂直方向のZ軸、回転テーブルのθ軸など、複数の軸を組み合わせる事でXYステージ、XYZステージ、XYZθステージなどの多軸化や用途に合わせた軸構成が可能です。
リニアサーボモータはダイレクトドライブモータですので、中間機構を介在せずに駆動出来ます。機械性能の向上、省スペース化、環境性の向上、メンテナンスの軽減、長距離駆動が可能です。
リニアステージはその特性を生かし、精密位置決め用途や搬送用途に使用されます。
精密位置決め用途では、ボールネジ、ラック・ピニオン、ベルト等の搬送機構に比べ、速度安定性に優れた高精度位置決めが可能です。
リニアステージは、位置決め精度や速度安定性能が求められる精密加工装置や検査装置に使用されています。
例えば以下の用途があります。
・レーザー加工機、半導体露光装置、プローバーなど高い位置決め精度が求められる装置
・コーター装置、画像検査装置など速度安定性能が求められる装置
・振動試験機、加振機、シミュレータなど相反動作で振動を抑えた高加速度の実現が求められる装置
その他の用途として、ロングストローク搬送装置、高速ハンドラ装置、高速プレス機の材料送り出し機構部などの搬送用途があります。
リニアステージの構造は、駆動源にリニアサーボモータ、位置を検出するリニアエンコーダ、可動部の案内機構である直線軸受で構成され、モータを制御するサーボドライバによって指令通りの動作をします。
一般的にリニアステージは、固定子にマグネットユニット、可動子にコイルユニットを配置します。
コイルに電流を流すことで地場が発生し、電磁誘導の法則によりマグネットユニットに沿ってコイルユニットに推進力が生じて、可動子がストロークします。
また、リニアステージには、位置を検出するリニアエンコーダが必要となり、高分解能エンコーダによる精密位置検出とサーボドライバによるフルクローズ制御を用いることで、高い精度と速度安定性を実現します。
リニアステージの高精度化には、各構成要素の設置条件や性能が重要となります。
リニアガイドなどと呼ばれる直線軸受の走り精度や設置面の精度が、リニアステージの直進性に大きく影響します。
リニアエンコーダの設置位置はアッベの原理を考慮して、ワークポイントに近い位置に設置することが望まれます。
また、リニアサーボモータは自身が発熱源となります。ダイレクトドライブ機構であるが故にワークやリニアエンコーダへ熱が伝達しやすく、熱膨張によって精度が変化してしまうことがあります。
よって、放熱性能の向上や冷却機構を追加するなどの対策が肝要です。
【リニアステージの構成要素】
本記事はリニアステージを製造・販売するCKD日機電装株式会社様に監修を頂きました。
CKD日機電装株式会社の会社概要はこちら
