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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-A-110.050A1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■製品特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm ・400mmまでの移動範囲 ・100Nまでの負荷容量

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動できます。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポートします。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダーエンコーダーエンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸および多軸動作制御装置 ・XYセットアップと個々の構成 ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

  • シリーズ

    A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ

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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の加速、無負荷 (m/s²) Xにおける双方向の再現性 (μm) X 方向の位置決め精度、校正済み (μm) ドライブタイプ 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V)
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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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