A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-A-110.050A1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■製品特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm ・400mmまでの移動範囲 ・100Nまでの負荷容量

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動できます。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポートします。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダーエンコーダーエンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸および多軸動作制御装置 ・XYセットアップと個々の構成 ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

  • シリーズ

    A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ



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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ 品番10件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 (mm) X方向の加速、無負荷 (m/s²) X方向の最大速度、無負荷時 (mm/秒) 真直度 (X方向伴うを伴うY方向線形クロストーク) (μm) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm) ピッチ(回転クロストーク(θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZ の回転クロストーク X の運動) (μrad) Xにおける双方向の再現性 (μm) X 方向の位置決め精度、校正済み (μm) X方向の位置決め精度、未校正 (μm) 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) センサー信号周期 (μm) 基準スイッチ 制限スイッチ ドライブタイプ 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) 公称電流 (A) ピーク電流 (A) Xの負の運動方向の駆動力 (N) X方向の正の運動方向の駆動力 (N) Xの負の運動方向のピーク力 (N) X方向の運動の正方向のピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相-位相 (V·s/m)
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.050A1

A-110.050A1

要見積もり × 50 20 500 0.5 0.5 ±7.5 ±7.5 0.1 0.5 1.5 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 4.88 20 エンコーダインデックス ホール効果 アイアンレス3相リニアモーター 48 60 1.6 4.2 20 20 60 60 4.1 11 6 10
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.050B1

A-110.050B1

要見積もり × 50 20 500 0.5 0.5 ±7.5 ±7.5 0.1 0.5 1.5 アブソリュートリニアエンコーダ バイSS-C 1 - - - アイアンレス3相リニアモーター 48 60 1.6 4.2 20 20 60 60 4.1 11 6 10
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.100A1

A-110.100A1

要見積もり × 100 20 1,000 0.75 0.75 ±10 ±10 0.1 0.5 1.5 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 4.88 20 エンコーダインデックス ホール効果 アイアンレス3相リニアモーター 48 60 1.6 4.2 20 20 60 60 4.1 11 6 10
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.100B1

A-110.100B1

要見積もり × 100 20 1,000 0.75 0.75 ±10 ±10 0.1 0.5 1.5 アブソリュートリニアエンコーダ バイSS-C 1 - - - アイアンレス3相リニアモーター 48 60 1.6 4.2 20 20 60 60 4.1 11 6 10
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.200A1

A-110.200A1

要見積もり × 200 20 1,000 1 1 ±10 ±10 0.1 0.5 2 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 4.88 20 エンコーダインデックス ホール効果 アイアンレス3相リニアモーター 48 60 3.2 6.9 39 39 85 85 12.3 3.6 1.24 10.1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.200B1

A-110.200B1

要見積もり × 200 20 1,000 1 1 ±10 ±10 0.1 0.5 1.5 アブソリュートリニアエンコーダ バイSS-C 1 - - - アイアンレス3相リニアモーター 48 60 3.2 6.9 39 39 85 85 12.3 3.6 1.24 10.1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.300A1

A-110.300A1

要見積もり × 300 20 1,000 1 1 ±17.5 ±17.5 0.1 0.5 3 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 4.88 20 エンコーダインデックス ホール効果 アイアンレス3相リニアモーター 48 60 3.2 6.9 39 39 85 85 12.3 3.6 1.24 10.1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.300B1

A-110.300B1

要見積もり × 300 20 1,000 1 1 ±17.5 ±17.5 0.1 0.5 1.5 アブソリュートリニアエンコーダ バイSS-C 1 - - - アイアンレス3相リニアモーター 48 60 3.2 6.9 39 39 85 85 12.3 3.6 1.24 10.1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.400A1

A-110.400A1

要見積もり × 400 20 1,000 1 1 ±20 ±20 0.1 0.5 4 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 4.88 20 エンコーダインデックス ホール効果 アイアンレス3相リニアモーター 48 60 3.2 6.9 39 39 85 85 12.3 3.6 1.24 10.1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.400B1

A-110.400B1

要見積もり × 400 20 1,000 1 1 ±20 ±20 0.1 0.5 1.5 アブソリュートリニアエンコーダ バイSS-C 1 - - - アイアンレス3相リニアモーター 48 60 3.2 6.9 39 39 85 85 12.3 3.6 1.24 10.1

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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