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半導体洗浄装置のメーカー26社一覧や企業ランキングを掲載中！半導体洗浄装置関連企業の2025年11月注目ランキングは1位:HUGパワー株式会社、2位:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ、3位:株式会社ダン科学です。
半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。
洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40％を占める重要な工程です。高温処理工程や薄膜形成工程の前に十分に汚れを除去する前処理としての洗浄と、酸化膜・薄膜を削るエッチング工程の後にレジスト残滓物などを除去する後工程としての洗浄があります。
半導体洗浄装置は、薬液や純水を使用するウェット洗浄装置と薬液を使用しないドライ洗浄装置に大別されます。
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| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | HUGパワー株式会社 |
21.2%
|
| 2 | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ |
18.8%
|
| 3 | 株式会社ダン科学 |
8.5%
|
| 4 | 株式会社ゼビオス |
7.3%
|
| 5 | 日本ゴア合同会社 |
4.2%
|
| 6 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
4.2%
|
| 7 | 株式会社JET |
4.2%
|
| 8 | サムコ株式会社 |
3.0%
|
| 9 | 株式会社エムテーシー |
3.0%
|
| 10 | ダイキンファインテック株式会社 |
2.4%
|
項目別
使用用途
#ウエハ洗浄
#酸化膜除去
#有機物除去
#金属汚染除去
#パーティクル除去
#ドライプロセス
#ウエットプロセス
#クリーン化管理
#高純度薬液
洗浄方式
ウェット
ドライ
メガソニック
スプレー
処理形態
バッチ型
シングルウエハ型
連続搬送型
特殊機能
ケミカル循環型
ドライインアウト型
プラズマ支援型
対応サイズ インチ
0 - 4
4 - 8
8 - 12
装置寸法 mm
0 - 500
500 - 1,000
1,000 - 1,500
1,500 - 2,000
2,000 - 2,500
2,500 - 3,500
本体重量 kg
0 - 50
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0 - 100
100 - 200
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