全てのカテゴリ
閲覧履歴
高周波電源についての概要、用途、原理などをご説明します。また、高周波電源のメーカー31社一覧や企業ランキングも掲載しております。高周波電源関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:高周波熱錬株式会社、2位:株式会社明電舎、3位:株式会社ダイヘンとなっています。
高周波電源 (英: radio frequency power supply) とは、数kHzから数百kHz程度の周波数で、一定の電圧を出力する電源のことです。
スイッチング素子によって電源の種類が分類され、トランジスタを用いるものと真空管を用いるものがあります。真空管式は古くから用いられ、大型の送信管やトランスを用いるので電源のサイズが大きくなります。
一方、トランジスタを用いる方法は、近年、MOSFETと呼ばれる素子を利用したインバーターの開発が進み、メリットは小型化と電源出力の効率向上です。高周波電源は、誘導加熱と呼ばれる手法で、主に物体を加熱するのに使われます。
産業分野での用途は、焼入れ、電縫管溶接、薄鋼板加熱、及びプラズマ発生、洗浄などです。
高周波電源は、高周波誘導加熱において、物体を加熱するための渦電流の生成に使用されます。具体的な使用用途は、以下のとおりです。
半導体製造や液晶製造、MEMS製造、太陽電池製造、プラズマ洗浄、鉄鋼・鍛造業界などで使用されます。また、新素材業界、食品製造、建材製造、木材乾燥、医用温熱治療、電子機器、自動車、ビニール融着などの産業分野での使用も増えています。
プラズマ発生用の高周波電源は、高周波電界によりプラズマを励起させることで、プラズマを形成するイオンや電子を加熱することが可能です。高分子材料などの表面に照射することで、官能基の種類を選択したり、表面のラジカル種を制御したりすることで、機能性材料の開発にも利用されます。
高周波電源を生成するためには、入力された交流電源を一旦直流へと変換し、インバータを通した後、再度交流への変換が必要になります。まず、交流電源は、ブリッジダイオードを用いて直流へ変換されます。
ブリッジダイオードは、ブリッジ接続された6個のダイオードを1つにまとめた素子です。交流電源の負電圧側を反転させることで、直流電圧を出力することが可能です。次に、直流電圧をスイッチング素子を用いて矩形波へ変換し、この矩形波をマッチングトランスに接続します。
そして、トランスの巻き数に応じた電圧変換が施され、最終的に共振回路において交流電源へ変換されます。
高周波電源装置 (インバーター) は、スイッチング素子により分類されます。
発振素子にサイリスタを使用しています。 商用電源周波数〜10kHz、高電圧向きで、素子は大きめです。
小型発振器500W〜2kWに向いています。素子が小型で、ハンディタイプ等に使われます。
IGBTは、「Insulated Gate Bipolar Transistor」の略で、「絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ」です。素子が大きく、大電流用途・直列共振回路向きです。周波数10kHz〜50kHz、大出力用です。
MOSFETは、「Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor」の略で、「金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ」と呼ばれます。高周波用途向きで、他の素子に比べ小型です。周波数100kHz 〜400kHzが多く、大出力には向いていません。
高周波用途に向き、自励発振型で周波数は100kHz 〜10MHz程度です。大型送信管や大型トランスを使用するので装置が大きくなります。
1. 電圧制御
サイリスタなどで、DC電圧を抑制する素子を使った制御方式です。周波数が固定され、電流浸透深さを固定できるため、焼入れに向いています。
電源コンデンサで平坦化の必要があるので、回路が複雑で高価です。
2. 電流制御
発振器側では、指示された電流値に合うように、負荷抵抗値を自動調整して周波数を変化させるので、出力電流値が一定です。したがって、発振周波数は常に変化します。
3. 電力制御
DC部の電圧と電流値を掛け合わせて、投入電力値を算出します。そして、指示値に対して出力を制御します。
4. PWM制御
小型の発振器で見られる制御方式です。パルス幅 (デューティ比) を変化させる制御方式で、周期は一定のままです。
参考文献
http://www.nikoha.co.jp/high-frequency_supply/cat05_class02/1441.html
http://www.tokyo-seiden.co.jp/tag/ps-hf/
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 高周波熱錬株式会社 |
9.1%
|
| 2 | 株式会社明電舎 |
6.2%
|
| 3 | 株式会社ダイヘン |
5.3%
|
| 4 | 春日電機株式会社 |
5.3%
|
| 5 | 株式会社ノダRFテクノロジーズ |
5.3%
|
| 6 | ニデックテクノモータ株式会社 |
4.5%
|
| 7 | 株式会社太田エレクトロニクス |
4.5%
|
| 8 | 日本無線株式会社 |
4.1%
|
| 9 | 玉置電子工業株式会社 |
4.1%
|
| 10 | 株式会社P.R.A. |
3.7%
|
項目別
定格出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000発振周波数 MHz
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000出力電力定格 W
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000冷却方式
空冷 水冷出力安定度 %
1使用環境 ℃
0 - 10 10 - 30 30 - 4016 点の製品がみつかりました
16 点の製品
日本高周波株式会社
170人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
本装置はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造に不可欠なマイクロ波電源です。300Wから10kWまで、高安定、低リップルの電源を取り揃...
日本高周波株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
本装置は、電磁石型マグネトロンを使用した、915MHzマイクロ波電源です。最大出力、5kWと30kWのタイプがあり、半導体製造用のプラズマCVD等、あるいは、工業...
日本高周波株式会社
180人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造と...
日本高周波株式会社
100人以上が見ています
オールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
日本高周波株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
オールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
日本高周波株式会社
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
本装置は、オールソリッドステート化されたマイクロ波電源で、 2,450MHzでも高安定の出力が確保できます。 ご要望により出力はCW及びパルス変調が出来ます。
株式会社ダイヘン
710人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
100.0% 返答率
158.1時間 返答時間
■400kHz/500W~20kW、2MHz/500W~20kW、4MHz/500W~20kW パルス出力機能付き高周波数 ■13.56MHz/3kW~30kW 小型・高効率高周波数電源 ■特徴 ・パルス機能を搭載...
4種類の品番
株式会社ダイヘン
300人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
158.1時間 返答時間
2レベルパルス出力機能付高周波電源 ■特徴 ・3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応 ・高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献 ・5...
3種類の品番
日本高周波株式会社
100人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造と...
ジェイエス技研株式会社
50人以上が見ています
100.0% 返答率
169.1時間 返答時間
本品はプラズマ発生などのエネルギー源として設計した、高周波電源装置です。水晶発振器と出力安定化機能により13.56MHz500Wのエネルギーを安定に取り出せま...
ジェイエス技研株式会社
70人以上が見ています
100.0% 返答率
169.1時間 返答時間
本機はプラズマ発生のほか工業用途に設計した高周波電源です。13.56MHz 300Wを定格出力とし、定電力フィードバックで出力制御します。研究・実験用途に便利で...
