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高周波電源のメーカー30社一覧や企業ランキングを掲載中！高周波電源関連企業の2025年4月注目ランキングは1位:株式会社P.R.A.、2位:ジェイエス技研株式会社、3位:日本無線株式会社となっています。 高周波電源の概要、用途、原理もチェック！
高周波電源 (英: radio frequency power supply) とは、数kHzから数百kHz程度の周波数で、一定の電圧を出力する電源のことです。
スイッチング素子によって電源の種類が分類され、トランジスタを用いるものと真空管を用いるものがあります。真空管式は古くから用いられ、大型の送信管やトランスを用いるので電源のサイズが大きくなります。
一方、トランジスタを用いる方法は、近年、MOSFETと呼ばれる素子を利用したインバーターの開発が進み、メリットは小型化と電源出力の効率向上です。高周波電源は、誘導加熱と呼ばれる手法で、主に物体を加熱するのに使われます。
産業分野での用途は、焼入れ、電縫管溶接、薄鋼板加熱、及びプラズマ発生、洗浄などです。
2025年4月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社P.R.A. |
8.0%
|
| 2 | ジェイエス技研株式会社 |
7.6%
|
| 3 | 日本無線株式会社 |
7.2%
|
| 4 | 高周波熱錬株式会社 |
7.2%
|
| 5 | 株式会社ダイヘン |
6.4%
|
| 6 | 株式会社太田エレクトロニクス |
5.6%
|
| 7 | 株式会社明電舎 |
4.8%
|
| 8 | パール工業株式会社 |
4.4%
|
| 9 | 株式会社ノダRFテクノロジーズ |
4.4%
|
| 10 | 日本高周波株式会社 |
4.0%
|
項目別
定格出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000発振周波数 MHz
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000出力電力定格 W
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000冷却方式
空冷 水冷出力安定度 %
1使用環境 ℃
0 - 10 10 - 30 30 - 4017 点の製品がみつかりました
17 点の製品
日本高周波株式会社
220人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
本装置はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造に不可欠なマイクロ波電源です。300Wから10kWまで、高安定、低リ...
日本高周波株式会社
190人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
PLL発振器、トランジスタ増幅方式のマイクロ波電源です。 ■特徴 ・発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。 ・標準でC...
日本高周波株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
本装置は、電磁石型マグネトロンを使用した、915MHzマイクロ波電源です。最大出力、5kWと30kWのタイプがあり、半導体製造用のプラズマCV...
日本高周波株式会社
140人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■大型負荷用 (周波数：約400kHz) 本装置は、真空管式の誘導加熱用電源です。出力は2kW～100kWまで取り揃えています。大型金属の焼入れ...
日本高周波株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 20時間前
半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高...
日本高周波株式会社
140人以上が見ています
オールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
日本高周波株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
オールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
株式会社ダイヘン
870人以上が見ています
最新の閲覧: 5分前
100.0% 返答率
142.6時間 返答時間
■400kHz/500W~20kW、2MHz/500W~20kW、4MHz/500W~20kW パルス出力機能付き高周波数 ■13.56MHz/3kW~30kW 小型・高効率高周波数電源 ■特...
6種類の品番
日本高周波株式会社
150人以上が見ています
半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高...
ジェイエス技研株式会社
100人以上が見ています
最新の閲覧: 22時間前
100.0% 返答率
169.1時間 返答時間
本品はプラズマ発生などのエネルギー源として設計した、高周波電源装置です。水晶発振器と出力安定化機能により13.56MHz500Wのエネルギ...
ジェイエス技研株式会社
120人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
100.0% 返答率
169.1時間 返答時間
本機はプラズマ発生のほか工業用途に設計した高周波電源です。13.56MHz 300Wを定格出力とし、定電力フィードバックで出力制御します。研...
高周波電源 (英: radio frequency power supply) とは、数kHzから数百kHz程度の周波数で、一定の電圧を出力する電源のことです。
スイッチング素子によって電源の種類が分類され、トランジスタを用いるものと真空管を用いるものがあります。真空管式は古くから用いられ、大型の送信管やトランスを用いるので電源のサイズが大きくなります。
一方、トランジスタを用いる方法は、近年、MOSFETと呼ばれる素子を利用したインバーターの開発が進み、メリットは小型化と電源出力の効率向上です。高周波電源は、誘導加熱と呼ばれる手法で、主に物体を加熱するのに使われます。
産業分野での用途は、焼入れ、電縫管溶接、薄鋼板加熱、及びプラズマ発生、洗浄などです。
高周波電源は、高周波誘導加熱において、物体を加熱するための渦電流の生成に使用されます。具体的な使用用途は、以下のとおりです。
半導体製造や液晶製造、MEMS製造、太陽電池製造、プラズマ洗浄、鉄鋼・鍛造業界などで使用されます。また、新素材業界、食品製造、建材製造、木材乾燥、医用温熱治療、電子機器、自動車、ビニール融着などの産業分野での使用も増えています。
プラズマ発生用の高周波電源は、高周波電界によりプラズマを励起させることで、プラズマを形成するイオンや電子を加熱することが可能です。高分子材料などの表面に照射することで、官能基の種類を選択したり、表面のラジカル種を制御したりすることで、機能性材料の開発にも利用されます。
高周波電源を生成するためには、入力された交流電源を一旦直流へと変換し、インバータを通した後、再度交流への変換が必要になります。まず、交流電源は、ブリッジダイオードを用いて直流へ変換されます。
ブリッジダイオードは、ブリッジ接続された6個のダイオードを1つにまとめた素子です。交流電源の負電圧側を反転させることで、直流電圧を出力することが可能です。次に、直流電圧をスイッチング素子を用いて矩形波へ変換し、この矩形波をマッチングトランスに接続します。
そして、トランスの巻き数に応じた電圧変換が施され、最終的に共振回路において交流電源へ変換されます。
高周波電源装置 (インバーター) は、スイッチング素子により分類されます。
発振素子にサイリスタを使用しています。 商用電源周波数〜10kHz、高電圧向きで、素子は大きめです。
小型発振器500W〜2kWに向いています。素子が小型で、ハンディタイプ等に使われます。
IGBTは、「Insulated Gate Bipolar Transistor」の略で、「絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ」です。素子が大きく、大電流用途・直列共振回路向きです。周波数10kHz〜50kHz、大出力用です。
MOSFETは、「Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor」の略で、「金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ」と呼ばれます。高周波用途向きで、他の素子に比べ小型です。周波数100kHz 〜400kHzが多く、大出力には向いていません。
高周波用途に向き、自励発振型で周波数は100kHz 〜10MHz程度です。大型送信管や大型トランスを使用するので装置が大きくなります。
1. 電圧制御
サイリスタなどで、DC電圧を抑制する素子を使った制御方式です。周波数が固定され、電流浸透深さを固定できるため、焼入れに向いています。
電源コンデンサで平坦化の必要があるので、回路が複雑で高価です。
2. 電流制御
発振器側では、指示された電流値に合うように、負荷抵抗値を自動調整して周波数を変化させるので、出力電流値が一定です。したがって、発振周波数は常に変化します。
3. 電力制御
DC部の電圧と電流値を掛け合わせて、投入電力値を算出します。そして、指示値に対して出力を制御します。
4. PWM制御
小型の発振器で見られる制御方式です。パルス幅 (デューティ比) を変化させる制御方式で、周期は一定のままです。
参考文献
http://www.nikoha.co.jp/high-frequency_supply/cat05_class02/1441.html
http://www.tokyo-seiden.co.jp/tag/ps-hf/
