プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-27.12MHz 高周波電源 500W~5kW
プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-株式会社ダイヘン

プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ 株式会社ダイヘン

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この製品について

2レベルパルス出力機能付高周波電源

■特徴

・3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応 ・高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献 ・500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充

  • シリーズ

    プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ



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プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ 品番3件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 定格出力 出力安定度 パルス周波数 外形寸法 幅 (W) 外形寸法 高さ (H) 外形寸法 奥行き (L)
プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-品番-27.12MHz 高周波電源 500W~5kW

27.12MHz 高周波電源 500W~5kW

要見積もり 500W/1kW/2kW/3kW/5kW ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 1Hz - 100kHz (2レベル) 500W/1kW:215mm
2kW/3kW/5kW:420mm
500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U)
5kW:222mm (5U)
500W/1kW:430mm
2kW/3kW/5kW:500mm
プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-品番-40.68MHz 高周波電源 500W~5kW

40.68MHz 高周波電源 500W~5kW

要見積もり 500W/1kW/2kW/3kW/5kW ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 1Hz - 100kHz (2レベル) 500W/1kW:215mm
2kW/3kW/5kW:420mm
500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U)
5kW:222mm (5U)
500W/1kW:430mm
2kW/3kW/5kW:500mm
プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-品番-60MHz 高周波電源・自動整合器 500W~5kW

60MHz 高周波電源・自動整合器 500W~5kW

要見積もり 500W/1kW/2kW/3kW/5kW ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 1Hz - 100kHz (2レベル) 500W/1kW:215mm
2kW/3kW/5kW:420mm
500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U)
5kW:222mm (5U)
500W/1kW:430mm
2kW/3kW/5kW:500mm

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社ダイヘンは、変圧器や溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源など産業用製品の開発を手掛けるメーカーです。 1919年に創立し、1961年には東証一部に上場、国内外に多くの拠点を持ちます。 近年では再生可...

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