メーカー 31社
製品 93点

成膜装置
メーカー31社【2025年】

成膜装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、成膜装置のメーカー31社一覧や企業ランキングも掲載しております。成膜装置関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:長州産業株式会社、2位:ジャパンクリエイト株式会社、3位:新明和工業株式会社となっています。

成膜装置とは？
成膜装置のメーカー31社
成膜装置93製品

成膜装置とは

成膜装置とは、その名の通り膜を作成するための装置のことです。

薄膜の厚さや純度、有機物・無機物に応じて、さまざまな種類の成膜装置が開発されており、例えば半導体関連の材料のように高純度で均一な膜が必要な場合は、高真空の成膜装置が利用されます。

一方、フィルムのような大面積で大量生産が求められる製品に対しては、ロールトゥロール式やバッチ式などの方法が選択されます。また、溶液を乾燥させて成膜する際には、スピンコート式やインクジェット式といった装置が活用され、溶液を塗布した後、乾燥させて成膜を行うことが可能です。

成膜装置は、用途や条件に応じて適切なタイプを選択することが重要です。その選択によって、より効率的で高品質な製品の開発が可能となります。

成膜装置の使用用途

高純度金属酸化物用の成膜装置は、半導体部品など高純度で薄く均一な金属酸化物の成膜に適しており、高真空の成膜装置が用いられます。また、車のヘッドランプやカメラレンズなど、光の反射を抑制する薄い金属反射膜を表面に成膜する際にも同様の装置が利用可能です。

一方、樹脂フィルムや薄い金属箔など大量生産が求められる製品には、ロールトゥロール式やバッチ式などの成膜装置が適しています。これらの製品はマイクロメートルオーダーの厚みを持ちます。

また、有機EL材料などのプリンテッドエレクトロニクスと呼ばれる有機半導体薄膜は、インクジェット式の成膜装置で作られます。

成膜装置の原理

成膜装置には、高真空成膜装置とロールトゥロール法などの大量生産用成膜装置があります。

1. 高真空成膜装置

高真空の成膜装置は、物理的気相成長法 (PVD) と化学的気相成長法 (CVD) の2種類があります。PVD法には蒸着法とスパッタリング法があり、方法は多種多様です。蒸着法では、膜の材料を加熱して揮発させ、装置上部に取り付けた基板に付着させて膜を成長させます。

スパッタリング法では、電圧によって加速した粒子を膜の材料にぶつけて飛ばし、飛んだ粒子が装置上部に取り付けた基板に付着して膜を成長させます。いずれの方法も、高真空条件で大気中に含まれる酸素などが膜に入らないようにすることで、高純度な膜を得ることが可能です。

2. 大量生産用成膜装置

ロールトゥロール法とは、ロール状に巻いた基板を回転させながらその上に膜を塗っていく方法です。大量生産や大面積の膜の製造に向いています。

均一な膜を作るためには、サンプル溶液の粘度を一定の範囲に収める必要があります。この粘度は回転数やサンプルの物性によって異なるため、成膜条件の検討の際はサンプルの粘度も考慮することが大切です。

成膜装置のその他情報

成膜装置と併用される機械

成膜装置と併用される機械として、真空ポンプ、基板ヒーター、エッチング装置、検査装置の4種類が挙げられます。

1. 真空ポンプ
成膜装置では、高純度な膜を作成するために高真空状態が必要です。真空ポンプは、成膜装置内の空気を抜き取って高真空状態を作り出す役割を果たしています。不純物が膜に混入することを防ぎ、品質の高い膜が作成できます。

2. 基板ヒーター
基板ヒーターは、成膜過程で使用される基板の温度を調整する機械です。成膜に適した温度に基板を加熱することで、膜の密着性や均一性が向上し、より高品質な膜が得られます。

3. エッチング装置
成膜後の基板には、所定の形状やパターンを形成するためにエッチングが必要です。エッチング装置は、薬液やプラズマを用いて膜の一部を選択的に除去する機能を持っています。微細な回路パターンなどが形成されることになります。

4. 検査装置
成膜が完了した後には、品質検査が重要です。検査装置は、膜の厚さ、均一性、密着性などの品質を確認するために使用されます。不良品の早期発見や製造プロセスの改善が可能となり、全体の生産効率が向上します。

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成膜装置メーカー 31社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

成膜装置注目製品
ジャパンクリエイト株式会社

・研究開発装置から量産装置迄幅広く承ります
・CVD/スパッタ/蒸着/ドライエッチング/アニールなどの装置をオーダーメイドで製造
・CVDやスパッタ装置のデモ機を所有。成膜デモを行うことが可能
・特にDLCやSi系の成膜装置に強みがあり、ウエハ、ガラス、金属、樹脂等、様々な対象物に膜付けが可能

【事前に無償でデモ成膜を実施可能】成膜装置注目製品
長州産業株式会社

・蒸着装置
　独自のKセルTSC、IHESを搭載
・スパッタ装置
　独自の対向ターゲット方式低ダメージスパッタを搭載
・用途
　有機EL照明、有機ELディスプレイ、有機半導体、有機太陽電池、ペロブスカイト太陽電池
　耐熱性の低い基板やプロセス

真空成膜装置注目製品
新明和工業株式会社

トップシェアの製品からオンリーワンの技術まで様々な真空技術をご提案致します。
・蒸着+プラズマ重合装置
・スパッタ+プラズマ重合装置（バッチ式／インライン式）
・ダイヤモンドコーティング装置
・イオンエッチング装置
・プラズマイオン処理装置
・リニアイオンソース

- - ジャパンクリエイト株式会社
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 40人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県所沢市林1丁目203番地4
- オーダーメイドデモ可能アフターフォロー
  
  研究開発装置から量産装置まで、ニーズに合わせた成膜装置を製作しています
  オーダーメイドにて一品一品対応いたしますので、お気軽にお問い合わせください
  様々な母材への成膜処理/デモも承っております
- - 長州産業株式会社メーカー
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 670人資本金: 410,000,000円会社詳細
  - 住所: 山口県山陽小野田市新山野井3740
- メカトロ機器
  
  長州産業は、先進のエネルギー機器や有機ELデバイス製造装置など、幅広い分野で高度な技術を持つ製造メーカーです。
  再生可能エネルギーを中心としたエネルギー機器分野では業界トップクラスのシェアを持ち、水素エネルギーなど先進技術にも取り組んでいます。
- - 新明和工業株式会社メーカー
    真空成膜装置一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1949年従業員数: 3,264人資本金: 15,981,967,991円会社詳細
  - 住所: 兵庫県宝塚市新明和町1-1
- 多数の国内販売実績特注対応可能デモ機あり
  
  蒸着またはスパッタ+プラズマ重合装置やダイヤモンドコーティング装置、イオンエッチング装置など、トップシェアの製品からオンリーワンの技術まで様々な真空技術をご提案致します。
- - 株式会社真空デバイスメーカー
    マルチ成膜装置
  - 会社サイト創業: 1985年従業員数: 12人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 茨城県水戸市飯島町1285-5
- - 株式会社ケミトロニクスメーカー
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 1981年会社詳細
  - 住所: 東京都東大和市立野2丁目14番地9
- - 東邦機械工業株式会社メーカー
    分離膜成型装置一覧
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 76人会社詳細
  - 住所: 徳島県徳島市応神町吉成字只津37番地4
- - 有限会社渕田ナノ技研メーカー
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 2004年従業員数: 4人会社詳細
  - 住所: 茨城県つくば市苅間 1561-3
- - 佐藤真空株式会社メーカー
    研究開発用成膜装置
  - 会社サイト創業: 1932年従業員数: 10人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都品川区大井5丁目1番27号
- - 住友精密工業株式会社メーカー
    プラズマ成膜装置 Cetus
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1961年従業員数: 1,096人会社詳細
  - 住所: 兵庫県尼崎市扶桑町1番10号
- - ミヤ通信工業株式会社メーカー
    バッチ式成膜装置
  - 会社サイト創業: 1969年従業員数: 116人会社詳細
  - 住所: 山梨県上野原市上野原8154-36
- - ジオマテック株式会社メーカー
    多種多様な薄膜製造装置一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1953年従業員数: 394人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市西区みなとみらい二丁目2番1号横浜ランドマークタワー9F
- - サムコ株式会社メーカー
    成膜装置一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1979年従業員数: 173人資本金: 1,663,687,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地
- - 株式会社TMEIC メーカー商社・代理店
    ミスト成膜装置
  - 会社サイト創業: 2003年従業員数: 2,602人会社詳細
  - 住所: 東京都中央区京橋3-1-1（東京スクエアガーデン）
- - 誠南工業株式会社
    薄膜形成装置一覧　EQUIPMENT LIST
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 25人資本金: 24,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市住之江区北加賀屋4丁目3番24号
- - 株式会社パスカル
    成膜装置
  - 会社サイト創業: 1986年会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号
- - 株式会社トヤマ
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 1954年従業員数: 123人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県足柄上郡山北町岸3816-1
- - 株式会社シンクロン
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 1951年従業員数: 561人資本金: 72,500,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市西区みなとみらい4-3-5
- - 株式会社コメット
    ・6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420
  - 会社サイト創業: 2007年従業員数: 5人資本金: 90,980,000円会社詳細
  - 住所: 茨城県茨城県つくば市東光台5－9－5
- - 株式会社オプトラン
    OTFC-900
  - 会社サイト創業: 1999年従業員数: 534人会社詳細
  - 住所: 東京都豊島区西池袋一丁目11番1号
- - 株式会社MPS
    成膜装置
  - 会社サイト創業: 2004年会社詳細
  - 住所: 千葉県八千代市萱田1609-1
- - 株式会社C&Vテクニクス
    成膜装置ロールコーター
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都立川市富士見町5-3-17
- - 有限会社ハイテクノサービス
    SiC膜・BN膜成膜装置
  - 会社サイト創業: 2004年会社詳細
  - 住所: 東京都東大和市清水6丁目1257-12
- - 大亜真空株式会社
    成膜装置
  - 会社サイト創業: 1939年従業員数: 69人会社詳細
  - 住所: 千葉県八千代市大和田新田495
- - 北野精機株式会社
    有機EL成膜・評価装置
  - 会社サイト創業: 1958年資本金: 15,440,000円会社詳細
  - 住所: 東京都大田区中央7-17-3
- - ナノテック株式会社
    成膜装置
  - 会社サイト創業: 1989年従業員数: 37人会社詳細
  - 住所: 千葉県柏市柏インター南4番地6ナノテクノプラザ
- - コーンズテクノロジー株式会社
    ダイヤ成膜装置
  - 会社サイト創業: 1990年従業員数: 210人会社詳細
  - 住所: 東京都港区芝3丁目3番10号コーンズハウス
- - グローバルマシーナリー株式会社
    薄膜形成装置一覧
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 20人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県秦野市菩提133-16
- - アルバック機工株式会社
    小型成膜装置
  - 会社サイト創業: 1971年従業員数: 264人資本金: 280,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮崎県西都市大字茶臼原291-7
- - JSWアフティ株式会社
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 2014年従業員数: 5,239人会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市兵衛2-35-2
- - 株式会社マツボー商社・代理店
    食品包装向けガスバリア膜成膜装置 CLEARPROTECT 3D
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 150人資本金: 470,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区浜松町1－30－5浜松町スクエア12F

成膜装置 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	長州産業株式会社	9.8%
2	ジャパンクリエイト株式会社	7.8%
3	新明和工業株式会社	6.5%
4	JSWアフティ株式会社	5.9%
5	ジオマテック株式会社	5.9%
6	住友精密工業株式会社	5.9%
7	株式会社TMEIC	4.6%
8	アルバック機工株式会社	4.6%
9	株式会社シンクロン	3.9%
10	株式会社トヤマ	3.3%