返答率
100.0%
平均返答時間
9.9時間
シリーズ
マルチPVD成膜装 <DASHシリーズ>取扱企業
ナノテック株式会社成膜装置の製品16点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
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まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | v | 有効エリア(mm) | 基板ホルダー | 搭載放電システム | 到達圧力 | 排気速度 | 基板加熱機構 | 基板バイアス | 装置制御 | 排気系 | 所要電力 | 設置面積(M) | 冷却水 | 圧縮空気 |
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DASH-500 |
要見積もり | 500W×500W×600H | φ200×200L | 自公転式(製品形状に応じて特注製作可能) | ・DLCイオン源(イオン化蒸着源)、HCDガン、スパッタリング・アーク、EBガン、イオン注入源 | 6.7E-4Pa以下 | 6.7E-3Pa以下まで30分以内 | オプション(シースヒーター、ランプヒーター等) | MAX3,000V500mA | レシピ画面設定による完全自動運転※一部複合型は除く | ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ | 3φ200V15kVA~ | 2.5W×3.0D×2.5H | 3kgf/cm220L~40L/min | 6kgf/cm2以上 | ||
DASH-800 |
要見積もり | φ800×650H | φ500×200L | 自公転式(製品形状に応じて特注製作可能) | ・DLCイオン源(イオン化蒸着源)、HCDガン、スパッタリング・アーク、EBガン、イオン注入源 | 6.7E-4Pa以下 | 6.7E-3Pa以下まで30分以内 | オプション(シースヒーター、ランプヒーター等) | MAX3,000V500mA | レシピ画面設定による完全自動運転※一部複合型は除く | ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ | 3φ200V25kVA~ | 3.0W×4.0D×2.5H | 3kgf/cm220L~40L/min | 6kgf/cm2以上 | ||
DASH-1000 |
要見積もり | φ1000×900H | φ600×500L | 自公転式(製品形状に応じて特注製作可能) | ・DLCイオン源(イオン化蒸着源)、HCDガン、スパッタリング・アーク、EBガン、イオン注入源 | 6.7E-4Pa以下 | 6.7E-3Pa以下まで30分以内 | オプション(シースヒーター、ランプヒーター等) | MAX3,000V500mA | レシピ画面設定による完全自動運転※一部複合型は除く | ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ | 3φ200V30kVA~ | 4.0W×4.0D×2.5H | 3kgf/cm220L~40L/min | 6kgf/cm2以上 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。