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成膜装置 メーカー31社

成膜装置のメーカー31社一覧や企業ランキングを掲載中！成膜装置関連企業の2025年4月注目ランキングは1位:新明和工業株式会社、2位:ジャパンクリエイト株式会社、3位:長州産業株式会社となっています。 成膜装置の概要、用途、原理もチェック！

成膜装置とは

成膜装置とは、その名の通り膜を作成するための装置のことです。

薄膜の厚さや純度、有機物・無機物に応じて、さまざまな種類の成膜装置が開発されており、例えば半導体関連の材料のように高純度で均一な膜が必要な場合は、高真空の成膜装置が利用されます。

一方、フィルムのような大面積で大量生産が求められる製品に対しては、ロールトゥロール式やバッチ式などの方法が選択されます。また、溶液を乾燥させて成膜する際には、スピンコート式やインクジェット式といった装置が活用され、溶液を塗布した後、乾燥させて成膜を行うことが可能です。

成膜装置は、用途や条件に応じて適切なタイプを選択することが重要です。その選択によって、より効率的で高品質な製品の開発が可能となります。

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31社成膜装置メーカー

ジャパンクリエイト株式会社の成膜装置

ジャパンクリエイト株式会社

成膜装置

PR

・研究開発装置から量産装置迄幅広く承ります
・CVD/スパッタ/蒸着/ドライエッチング/アニールなどの装置をオーダーメイドで製造
・CVDやスパッタ装置のデモ機を所有。成膜デモを行うことが可能
・特にDLCやSi系の成膜装置に強みがあり、ウエハ、ガラス、金属、樹脂等、様々な対象物に膜付けが可能

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長州産業株式会社の成膜装置

長州産業株式会社

【事前に無償でデモ成膜を実施可能】成膜装置

PR

・蒸着装置
　独自のKセルTSC、IHESを搭載
・スパッタ装置
　独自の対向ターゲット方式低ダメージスパッタを搭載
・用途
　有機EL照明、有機ELディスプレイ、有機半導体、有機太陽電池、ペロブスカイト太陽電池
　耐熱性の低い基板やプロセス

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新明和工業株式会社の成膜装置

新明和工業株式会社

真空成膜装置

PR

トップシェアの製品からオンリーワンの技術まで様々な真空技術をご提案致します。
・蒸着+プラズマ重合装置
・スパッタ+プラズマ重合装置（バッチ式／インライン式）
・ダイヤモンドコーティング装置
・イオンエッチング装置
・プラズマイオン処理装置
・リニアイオンソース

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株式会社コメットの成膜装置

株式会社コメット

【コンビスパッタ装置】6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420

PR

・2インチ・スパッタカソードを最大6基搭載可能
・移動マスク・基板回転機構からなる2元・3元のコンビ成膜に対応
・PCからのレシピ入力＆自動成膜に対応
・タッチパネルで簡単操作（自動排気、成膜プロセス）

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成膜装置 2025年4月のメーカーランキング


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業界別

🧪 化学 💻 電子・電気機器

項目別

到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650

設置面積 m²

1 - 5 5 - 10 10 - 20

所要電力 kVA

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35

真空槽 mm

500 - 800 800 - 1,000

基板バイアス V

0 - 5,000 5,000 - 25,000

93 点の製品がみつかりました

93 点の製品

卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート) -ハイソル株式会社

ハイソル株式会社

卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート)

360人以上が見ています

最新の閲覧: 37分前

返信の比較的早い企業

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26.7時間 返答時間

プラズマ洗浄～ワーク脱水 (デハイドレーション) ～シランCVD～ガス排出までチャンバー内で自動一括処理できる、R&D向けの卓上型シランC...


真空乾燥装置・真空ベーキング装置 研究開発用成膜装置 キット-入江株式会社

入江株式会社

真空乾燥装置・真空ベーキング装置 研究開発用成膜装置 キット

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最新の閲覧: 1日前

返信の比較的早い企業

4.5 会社レビュー

100.0% 返答率

12.5時間 返答時間

スパッタリング、蒸着装置、プラズマ処理装置 (表面改質、有機物除去等) を低コストでお探しの方に最適です。研究開発用として必要な分...


DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞-ナノテック株式会社

ナノテック株式会社

DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞

730人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前

返信の比較的早い企業

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16.8時間 返答時間

ダイヤモンドの性質に近い高硬度 (マイクロビッカース硬度2,000～4, 000) 、低摩擦係数 (μ＝0.2以下) 、表面平滑性及び耐溶着性・離...

3種類の品番

NANOCOAT-500-DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞
NANOCOAT-800-DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞
NANOCOAT-1000-DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1000AD-新明和工業株式会社

新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1000AD

110人以上が見ています

最新の閲覧: 22時間前

100.0% 返答率

160.0時間 返答時間

■特長 ・縦型2枚扉式により生産性が向上 ・樹脂基板へのダイレクト蒸着と平板対向式放電電極により、高速、高性能な保護膜を成膜 ・蒸着...


有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社

有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ

290人以上が見ています

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289.1時間 返答時間

■概要 アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしており...


MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS-株式会社メディア研究所

株式会社メディア研究所

MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS

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返信のとても早い企業

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6.0時間 返答時間

■特徴 ・Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト ・1デポジションモジュールに10カソード ・直線動作中にデポを行うリニアダ...


成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3100-株式会社C&Vテクニクス

株式会社C&Vテクニクス

成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3100

200人以上が見ています

最新の閲覧: 22時間前

■C&Vテクニクスの成膜装置ロールコーターとは ロールコーターとは、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理する装置の...


ICF成膜装置-ナノテック株式会社

ナノテック株式会社

ICF成膜装置

660人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

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100.0% 返答率

16.8時間 返答時間

DLCを含む高機能性を持つカーボン膜による超鏡面性,導電性,耐熱性,撥水性,アルミニウム合金用,光学用,絶縁性,環境調和型を付与したコー...

3種類の品番

ICF-500-ICF成膜装置
ICF-800-ICF成膜装置
ICF-1000-ICF成膜装置

太陽電池用PVD成膜装置 GENERIS PVD-株式会社メディア研究所

株式会社メディア研究所

太陽電池用PVD成膜装置 GENERIS PVD

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

6.0時間 返答時間

■概要 数多くの真空スパッタリング装置が太陽電池製造産業で稼働しており、SINGULUSTECHNOLOGIES社は 水平基板輸送を備えたハイスループ...


装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1300AD-新明和工業株式会社

新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1300AD

130人以上が見ています

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100.0% 返答率

160.0時間 返答時間

■特長 ・縦型2枚扉式により生産性が向上 ・樹脂基板へのダイレクト蒸着と平板対向式放電電極により、高速、高性能な保護膜を成膜 ・蒸着...


成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3200-株式会社C&Vテクニクス

株式会社C&Vテクニクス

成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3200

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■C&Vテクニクスの成膜装置ロールコーターとは ロールコーターとは、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理する装置の...


装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1450AD-新明和工業株式会社

新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1450AD

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100.0% 返答率

160.0時間 返答時間

■特長 ・縦型2枚扉式により生産性が向上 ・樹脂基板へのダイレクト蒸着と平板対向式放電電極により、高速、高性能な保護膜を成膜 ・蒸着...


太陽電池用PECVD成膜装置 GENERIS PECVD-株式会社メディア研究所

株式会社メディア研究所

太陽電池用PECVD成膜装置 GENERIS PECVD

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

6.0時間 返答時間

■概要 SINGULUSTECHNOLOGIES社はGENERIS PECVDシステムにおいて最高の効率を備えた最先端の結晶シリコン太陽電池の大量生産 における特...


PSII方式マルチPVD成膜装置 ＜NPSシリーズ＞-ナノテック株式会社

ナノテック株式会社

PSII方式マルチPVD成膜装置 ＜NPSシリーズ＞

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最新の閲覧: 2時間前

返信の比較的早い企業

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16.8時間 返答時間

イオン化蒸着法によるDLC成膜を基本として、幅広いアプリケーションに対応すべく新開発のPSII電源を標準で搭載し、その放電パラーメータ...

3種類の品番

NPS-500-PSII方式マルチPVD成膜装置 ＜NPSシリーズ＞
NPS-800-PSII方式マルチPVD成膜装置 ＜NPSシリーズ＞
NPS-1000-PSII方式マルチPVD成膜装置 ＜NPSシリーズ＞

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1800AD-新明和工業株式会社

新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VCD1800AD

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■特長 ・縦型2枚扉式により生産性が向上 ・樹脂基板へのダイレクト蒸着と平板対向式放電電極により、高速、高性能な保護膜を成膜 ・蒸着...


成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3300-株式会社C&Vテクニクス

株式会社C&Vテクニクス

成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3300

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■C&Vテクニクスの成膜装置ロールコーターとは ロールコーターとは、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理する装置の...


学生実習用のコンパクトなLB膜作製装置 LB膜作製装置・塗布油量計 HBM-ED-協和界面科学株式会社

協和界面科学株式会社

学生実習用のコンパクトなLB膜作製装置 LB膜作製装置・塗布油量計 HBM-ED

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5.0 会社レビュー

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4.8時間 返答時間

■学生実習用のコンパクトなLB膜作製装置 不溶性単分子の表面膜圧 (π‐A曲線) ・累積膜の実習を通じ、目に見えない分子を身近に感じ、分...


装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VRD650AD-新明和工業株式会社

新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VRD650AD

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160.0時間 返答時間

■特長 ・縦型2枚扉式により生産性が向上 ・樹脂基板へのダイレクト蒸着と平板対向式放電電極により、高速、高性能な保護膜を成膜 ・蒸着...


低圧型コールドスプレー装置 CS-TSC100-タツタ電線株式会社

タツタ電線株式会社

低圧型コールドスプレー装置 CS-TSC100

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コールドスプレーは、従来の溶射と比べて粒子温度が低く固相のまま成膜する技術です。これにより粉体の物理特性を維持し、かつ信頼性の...


ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B-アリオス株式会社

アリオス株式会社

ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B

320人以上が見ています

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1.4時間 返答時間

■概要 本装置は、ダイヤモンド生産用のマイクロ波プラズマCVD装置です。当社独自のプラズマ技術を駆使し、大面積かつ高速成長を実現しま...


有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.2-北野精機株式会社

北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.2

210人以上が見ています

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19.4時間 返答時間

■用途 ・有機EL材料開発 ・高分子材料開発 ・燐光材料開発 ・有機薄膜太陽電池開発 ・有機電子デバイス開発など ■特徴 ・有機材料と金...


成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2100-株式会社C&Vテクニクス

株式会社C&Vテクニクス

成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2100

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■C&Vテクニクスの成膜装置ロールコーターとは ロールコーターとは、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理する装置の...


蒸着・スパッタソース混在【複合型成膜装置】nanoPVD-ST15A-テルモセラ・ジャパン株式会社

テルモセラ・ジャパン株式会社

蒸着・スパッタソース混在【複合型成膜装置】nanoPVD-ST15A

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■概要 nano benchtop シリーズのラインナップに新たに加わった「蒸着」「スパッタ」混在型、” 3-in-1” マルチ薄膜実験装置 小型チャンバ...


装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VRD750AD-新明和工業株式会社

新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式蒸着+プラズマ重合装置 VRD750AD

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■特長 ・縦型2枚扉式により生産性が向上 ・樹脂基板へのダイレクト蒸着と平板対向式放電電極により、高速、高性能な保護膜を成膜 ・蒸着...


圧電膜形成スパッタリング装置-ジャパンクリエイト株式会社

ジャパンクリエイト株式会社

圧電膜形成スパッタリング装置

化学業界用 電子・電気機器業界用

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5.0 会社レビュー

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129.3時間 返答時間

■特徴 ・単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜が可能 ・プラズマエミッションモニターを搭載により圧電特性低下に寄与...


自動倣い機能付きバーコーター-ユーケーテック株式会社

ユーケーテック株式会社

自動倣い機能付きバーコーター

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0.3時間 返答時間

■詳細 ・被塗布材の起伏が原因で塗膜厚の一定が保たれない問題はありませんか。 ・弊社バーコーターは被塗布材の起伏に追従する機能を装...


有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.3-北野精機株式会社

北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.3

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100.0% 返答率

19.4時間 返答時間

■用途 ・有機EL材料開発 ・高分子材料開発 ・燐光材料開発 ・有機薄膜太陽電池開発 ・有機電子デバイス開発など ■特徴 ・有機材料と金...


マルチアプリケーター-TP技研株式会社

TP技研株式会社

マルチアプリケーター

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39.4時間 返答時間

■用途 このフィルムアプリケーターは、膜厚の調節可能なアプリケーターです。平滑な下地の上に、塗料・接着剤などの各種コーディング材...


装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式スパッタ+プラズマ重合装置 VRSP750AD-新明和工業株式会社

新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式スパッタ+プラズマ重合装置 VRSP750AD

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160.0時間 返答時間

■特長 ・ロングライフスパッタ電極を採用 ・新開発のプラズマ重合方式により、高速重合と耐食性、親水性の連続成膜が可能 ・ハイパワー...


成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2200-株式会社C&Vテクニクス

株式会社C&Vテクニクス

成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2200

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■C&Vテクニクスの成膜装置ロールコーターとは ロールコーターとは、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理する装置の...


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📔 成膜装置の基礎知識

成膜装置とは

成膜装置とは、その名の通り膜を作成するための装置のことです。

薄膜の厚さや純度、有機物・無機物に応じて、さまざまな種類の成膜装置が開発されており、例えば半導体関連の材料のように高純度で均一な膜が必要な場合は、高真空の成膜装置が利用されます。

一方、フィルムのような大面積で大量生産が求められる製品に対しては、ロールトゥロール式やバッチ式などの方法が選択されます。また、溶液を乾燥させて成膜する際には、スピンコート式やインクジェット式といった装置が活用され、溶液を塗布した後、乾燥させて成膜を行うことが可能です。

成膜装置は、用途や条件に応じて適切なタイプを選択することが重要です。その選択によって、より効率的で高品質な製品の開発が可能となります。

成膜装置の使用用途

高純度金属酸化物用の成膜装置は、半導体部品など高純度で薄く均一な金属酸化物の成膜に適しており、高真空の成膜装置が用いられます。また、車のヘッドランプやカメラレンズなど、光の反射を抑制する薄い金属反射膜を表面に成膜する際にも同様の装置が利用可能です。

一方、樹脂フィルムや薄い金属箔など大量生産が求められる製品には、ロールトゥロール式やバッチ式などの成膜装置が適しています。これらの製品はマイクロメートルオーダーの厚みを持ちます。

また、有機EL材料などのプリンテッドエレクトロニクスと呼ばれる有機半導体薄膜は、インクジェット式の成膜装置で作られます。

成膜装置の原理

成膜装置には、高真空成膜装置とロールトゥロール法などの大量生産用成膜装置があります。

1. 高真空成膜装置

高真空の成膜装置は、物理的気相成長法 (PVD) と化学的気相成長法 (CVD) の2種類があります。PVD法には蒸着法とスパッタリング法があり、方法は多種多様です。蒸着法では、膜の材料を加熱して揮発させ、装置上部に取り付けた基板に付着させて膜を成長させます。

スパッタリング法では、電圧によって加速した粒子を膜の材料にぶつけて飛ばし、飛んだ粒子が装置上部に取り付けた基板に付着して膜を成長させます。いずれの方法も、高真空条件で大気中に含まれる酸素などが膜に入らないようにすることで、高純度な膜を得ることが可能です。

2. 大量生産用成膜装置

ロールトゥロール法とは、ロール状に巻いた基板を回転させながらその上に膜を塗っていく方法です。大量生産や大面積の膜の製造に向いています。

均一な膜を作るためには、サンプル溶液の粘度を一定の範囲に収める必要があります。この粘度は回転数やサンプルの物性によって異なるため、成膜条件の検討の際はサンプルの粘度も考慮することが大切です。

成膜装置のその他情報

成膜装置と併用される機械

成膜装置と併用される機械として、真空ポンプ、基板ヒーター、エッチング装置、検査装置の4種類が挙げられます。

1. 真空ポンプ
成膜装置では、高純度な膜を作成するために高真空状態が必要です。真空ポンプは、成膜装置内の空気を抜き取って高真空状態を作り出す役割を果たしています。不純物が膜に混入することを防ぎ、品質の高い膜が作成できます。

2. 基板ヒーター
基板ヒーターは、成膜過程で使用される基板の温度を調整する機械です。成膜に適した温度に基板を加熱することで、膜の密着性や均一性が向上し、より高品質な膜が得られます。

3. エッチング装置
成膜後の基板には、所定の形状やパターンを形成するためにエッチングが必要です。エッチング装置は、薬液やプラズマを用いて膜の一部を選択的に除去する機能を持っています。微細な回路パターンなどが形成されることになります。

4. 検査装置
成膜が完了した後には、品質検査が重要です。検査装置は、膜の厚さ、均一性、密着性などの品質を確認するために使用されます。不良品の早期発見や製造プロセスの改善が可能となり、全体の生産効率が向上します。

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