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シリーズ
薄膜形成装置 マルチチャンバスパッタリング装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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スパッタリング装置の製品125点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | 装置構成 / カセット室 | 装置構成 / 搬送室 | 装置構成 / エッチング室 | 装置構成 / スパッタ室 | カソード仕様 / 第1スパッタ室 | カソード仕様 / 第2スパッタ室 | スパッタ方向 | プロセス性能 / 膜厚分布 | プロセス性能 / エッチング分布 | プロセス性能 / 基板加熱 | 各室到達压力 / カセット室 | 各室到達压力 / 搬送室 | 各室到達压力 / エッチング室 | 各室到達压力 / スパッタ室 | 操作方法 | カソード仕様 / 第3スパッタ室 | カソード仕様 / 第4スパッタ室 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
STM5412 |
要見積もり |
¢125mm基板 |
1室 |
1室 |
※オプション |
2室 |
¢200mm x 1ヶ |
¢100mm x 3ヶ |
アップ |
±10%以内 (¢100) |
±10%以内 (¢100)※2 |
300℃ |
7.0 x 10-⁵Pa以下 |
7.0 x 10-⁵Pa以下 |
7.0 x 10-⁵Pa以下※2 |
5.0 x 10-⁵Pa以下 |
全自動CtoC方式 |
- | - | ||
STM5213 |
要見積もり |
¢200mm基板 |
1室 |
1室 |
1室 |
4室 |
¢350mm x 1ヶ |
¢350mm x 1ヶ |
アップ |
±3%以内 (¢180) |
±10%以内 (¢180) |
300℃ |
7.0 x 10-⁵Pa以下 |
7.0 × 10-⁵Pa以下 |
7.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁵Pa以下 |
全自動CtoC方式 |
- | - | ||
|
|
STM4415 |
要見積もり |
¢200mm基板 |
1室 |
1室 |
1室 |
4室 |
¢300mm x 1ヶ |
¢300mm x 1ヶ |
アップ |
±5%以内 (¢180) |
±10%以内 (¢180) |
300℃ |
9.9 x 10-⁶Pa以下 |
5.0 x 10-⁵Pa以下 |
9.9 x 10-⁶Pa以下 |
2.0 x 10-⁵Pa以下 |
全自動CtoC方式 |
¢300mm x 1ヶ |
¢300mm x 1ヶ |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
