アルバック販売株式会社

■概要 Zシリーズは、フッ素系合成油を基油とし、真空という特殊な環境においても良好な潤滑特性を発揮させるために、PTFE (増ちょう剤) ...

• 保護材・保護機器

• グリース

■概要 オア・ルーブG1/3グリースは高純度に精製されたパラフィンオイルをベースに、合成モリブデン等を添加したグリースです。特に、G1/...

• 保護材・保護機器

• グリース

■概要 EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。フラットトップ構造および15...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■マッピング測定が可能な自動ステージタイプ UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特...

• メーター・計測機器

• エリプソメーター

■概要 1,800℃まで高速1分で昇温。コンパクトで1,800℃まで昇温可能な赤外線ゴールドイメージ炉です。ゾーンメルティングやSicパワーデバ...

• 熱源

• 加熱炉

■概要 セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化に より省スペースを実現。優れた高背...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■各種装置への組み込みが可能なビルトインタイプ UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。...

• メーター・計測機器

• エリプソメーター

■概要 高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■概要 ULVACターボ分子ポンプUTMシリーズは、一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。 ■用途...

• ポンプ

• 真空ポンプ

KF-ISO配管のフレキシブルホース ISO-KF用をご用意しております。 ※ この他、形状・長さなど、特注品も承りますのでご相談ください。 ...

• ホース・チューブ

• フレキシブルホース

■概要 アルバックの真空乾燥炉は、HVからUHVの圧力領域でクリーンな環境下での脱ガス、前処理用途や、部品表面に付着した物質を真空アニ...

• 乾燥機

• 真空乾燥機

■真空グリース BARRIERTA (バリエルタ) JFE 552HV、SUPER IS／V (フッ素系合成油) クリーンルーム／スパッタリング装置／真空治具装置...

• 保護材・保護機器

• グリース

■概要 スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/モーターリード線圧着端子付 ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 各種金属部品の焼き入れ・焼き戻し・焼鈍等の真空熱処理に幅広く利用できます。 昇降機構により省スペースな加熱室＋準備／冷却室...

• 加工・工作機器

• 真空炉

■概要 20B～36Bまでの大口径SS製バルブです。複動シリンダで軸シールはOリング、接続フランジはJIS-VFになります。 ・500A (20inch) 〜...

• 弁

• 真空バルブ

■概要 ターボ分子ポンプ (345L/sec) +スクロールポンプ。到達圧力10^-5Pa台クラス。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電...

• 浄化設備・装置

• 排気装置

■概要 太陽電池から化合物半導体等のプロセス開発に。QHCシリーズは赤外線ゴールドイメージ炉と温度コントローラを組合せ、さらに石英の...

• 熱源

• 加熱炉

■概要 低加速・高濃度対応のイオン注入装置です。 ■用途 パワーデバイス等の薄型基板プロセス、IGBTプロセス ■特長 ・枚葉式 ・薄Wafe...

• 半導体製造

• イオン注入装置

■概要 これまで培ったアルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる装置です。多様性・拡張性を持たせながら、小型化が...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

■概要 本ディスプレイは、G-TRAN全シリーズの真空計、およびCCMシリーズ対応の1チャンネルディスプレイです。測定ユニットと接続するこ...

• メーター・計測機器

• 真空計

■概要 SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。SMDシリーズだけで1000台をこえる豊富な納...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

■概要 フラッシュ法では測定が難しい薄いフィルム試料を簡便に評価。交流ジュール加熱法を用いてフィルム状高分子、紙、セラミックスな...

• メーター・計測機器

• 熱伝導率測定器

■概要 大気圧から5×10^-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。さらにこの真空計は従来のコントローラ (センサユニット) から...

• メーター・計測機器

• 真空計

■概要 VDシリーズVer.Cは、ULVACオリジナルの高効率 (IE3) マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。2段式の回転翼型油回転真...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■真空ポンプ油 BARRIERTA J FLUIDシリーズ 半導体製造装置、真空ポンプ油、作動油、熱媒体油、絶縁油 ■特長 ・耐熱性、低温性に優れ、...

• 保護材・保護機器

• 潤滑剤

■概要 VS650A/VS750A は、1段式の回転翼型油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事な...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 Max2,400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置です。 ■用途 パワーデバイス等の薄型基板プロセス、IGBTプロセス ■特...

• 半導体製造

• イオン注入装置

■概要 真空中に直接液体を噴射し、水分の蒸発による自己凍結で凍結粒子を生成し、凍結乾燥する技術であり、液体から直接凍結乾燥粉体を...

• 加工・工作機器

• 凍結乾燥機