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研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社

研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX

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■概要 研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP (ISM=Inductively Super Magnetron) 方式の高密度プラズマエッチング装置、枚葉式でL...


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