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アルバック販売のイオン注入装置

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5 点の製品

アルバック販売株式会社

SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC

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■概要 高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。 ■用途 SiC向けイオン注入装置 ■特長 ・自動連続高温処理注入が可能 ・1価イオンで350k...


アルバック販売株式会社

研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500

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■概要 中電流イオン注入装置IMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最適です。 ■特長 ・最...


アルバック販売株式会社

中電流型イオン注入装置 SOPHI-200/260

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■概要 中電流型イオン注入装置SOPHI-200/260は、最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置です。サンプリングをお受けしています。 ■用途 ・半導体...


アルバック販売株式会社

イオン注入装置 SOPHI-30

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■概要 低加速・高濃度対応のイオン注入装置です。 ■用途 パワーデバイス等の薄型基板プロセス、IGBTプロセス ■特長 ・枚葉式 ・薄Wafer対応 ■非質量分離機...


アルバック販売株式会社

イオン注入装置 SOPHI-400

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最新の閲覧: 16時間前

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■概要 Max2,400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置です。 ■用途 パワーデバイス等の薄型基板プロセス、IGBTプロセス ■特長 ・枚葉式 ・薄Wafer...


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