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アルバック販売のプラズマCVD装置

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3 点の製品

アルバック販売株式会社

ロードロック式プラズマCVD装置 CC-200/400

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最新の閲覧: 1日前

100.0% 返答率

125.8時間 返答時間

■概要 ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。 ■用途 ・パワーデバイス ・LED、LD、高速...


アルバック販売株式会社

枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ

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最新の閲覧: 23分前

100.0% 返答率

125.8時間 返答時間

■概要 CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。 ■用途 低温P-Si、α-Si TFT ■特長 ・従来のプロセス温度...


アルバック販売株式会社

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400

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100.0% 返答率

125.8時間 返答時間

■概要 枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。 ■用途 ・パワーデバイス ・LED、LD、高速...


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