ファーストゲート株式会社

■M-VF-Fシリーズ 気泡を封じ込めるシーリング構造を備えたオールPFA製高純度圧力リリーフバルブ 半導体、超純水、強力な化学薬品アプリ...

• 弁

• リリーフバルブ

■Lufranシリーズ 特許技術のDAC制御を用いることで高精度な温度制御を実現したプラグインシステムの純水加熱装置 広いプロセス範囲と高...

• 加工・工作機器

• 加熱装置

■M-2700シリーズ アンプ一体化型コの字超音波流量計 流路には可動部・メカニカルシールをなくし汚染物質の発生を最小限に抑え、アンプと...

• メーター・計測機器

• 超音波流量計

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

■SHX / SHX-EXシリーズ 間接加熱構造と低ワット密度設計を採用することにより、IPAをはじめとする溶剤を安全に加熱することができるイン...

• 熱源

• ヒーター

■熱交換器 XCシリーズ(大流量仕様) 直径147.5mmのポリプロピレンまたはPVDF製シェルによって大流量を実現した熱交換器 連動する機器の...

• 温度制御

• 熱交換器

■小型・高機能ウェハ表面検査装置 ・表面パーティクルスキャナ。新開発の高機能・省スペースタイプ。 ・小型省スペースながら最小検出粒...

• メーター・計測機器

• パーティクルカウンター

■TIHシリーズ 特許のエレメントパージ機構と接液面のフッ素樹脂がコンタミを排除し、安全な運転と長寿命を提供するインライン薬液ヒータ...

• 熱源

• ヒーター

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

PFA製コリオリ式流量コントローラです。超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御の実現。発泡性薬液やスラリー制御で...

• メーター・計測機器

• 調節計

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

独自ダイアフラム構造を採用し、マルチポートメタリングポンプで腐食性薬液を含む薬液を1～50mlで正確に吐出します。2ポートから6ポート...

• ポンプ

• 定量ポンプ

Futurestar社製のオートバルブは洗浄装置、薬液供給装置等あらゆる分野での酸、アルカリ系の水溶液の定量管理、ブレンドアプリケーショ...

• メーター・計測機器

• 調節計

ポジティブ・コントロール・バルブで供給精度を安定させ、最高±0.1%の再現性を実現。マニュアル制御可能なストロークリミッタ搭載してお...

• ポンプ

• 定量ポンプ

接液部は粘性の高い流体やスラリーに理想的なテフロン製となっております。独自の加工設計より空気消費量と稼働騒音を最小限に抑え 高い...

• ポンプ

• スラリーポンプ

■LTFHシリーズ 最高温度180℃対応のPTFE製のフィルターハウジング ほぼすべての薬品に耐性があるため長寿命を実現しており、さらにフィル...

• 浄化設備・装置

• フィルターハウジング

Futurestar社製フローメータは180℃までの高温流体対応のフッ素樹脂製のフローメータです。 接液面は高品質なPTFE, PFA, TFM, CTFEを使用...

• メーター・計測機器

• フローメーター

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

■XCシリーズ(標準仕様) 高い熱交換効率を実現するため、接液表面積が最大になるように設計された熱交換器 薬液ラインのPFAチューブを大...

• 温度制御

• 熱交換器

■LFC-7000シリーズ 一定量の気体を含む流体でも高精度な流量制御が可能な超音波式流量コントローラー 高速・高精度のモーターがバルブ(...

• メーター・計測機器

• 調節計

■M-62-Fシリーズ 半導体・高純度アプリケーション向け固定セットポイント式フロースイッチ オールPFA製ボディとPTFEピストンで構成され...

• スイッチ

• フロースイッチ

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

■透ウェハ表面検査装置 ・鏡面基板 (シリコンウェハ等) の表面異物を高速にスキャン。 ・小型基板 (2インチ、3インチ) から8インチウェ...

• メーター・計測機器

• パーティクルカウンター

Futurestar社製フローメータは180℃までの高温流体対応のフッ素樹脂製のフローメータです。 接液面は高品質なPTFE, PFA, TFM, CTFEを使用...

• メーター・計測機器

• フローメーター

■CPFM-8800シリーズ コンパクトかつ30%を超える気体含有液でも測定可能なコリオリ式流量計 特許取得済みのコリオリ技術により流体の粘度...

• メーター・計測機器

• 微小流量計

■M-1500MBシリーズ 微少流量測定が可能なPFAストレートチューブ型超音波流量計 流路部のPFAストレートチューブ外周にリング状ピエゾ素子...

• メーター・計測機器

• 超音波流量計

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

■ChemHeatシリーズ ヒーターエレメントは薬液と接触しない非接触構造を採用した、安全な運転と長寿命を提供するインライン薬液ヒーター ...

• 熱源

• ヒーター

■Frontierシリーズ 間接加熱構造と低ワット密度設計により、IPAなどの様々な溶剤を安全に加熱可能なインライン薬液ヒーター 最大36kWの...

• 熱源

• ヒーター