ファーストゲート株式会社

■KL-95シリーズ 流量圧力をLEDディスプレイでモニタリング可能な圧力変換器 接液部はフッ素樹脂(PFA/PTFE)製かつOリングフリー設計によ...

• コンバータ・変換器

• 圧力変換器

■SHB/SHCシリーズ 低ワット密度設計と間接加熱構造により薬液・溶剤を安全に加熱可能なインライン溶剤ヒーター 接液面はSUS316もしくは...

• 熱源

• ヒーター

■ウェハ表面検査装置 ・鏡面基板 (シリコンウェハ等) の表面異物を高速にスキャン。 ・小型基板 (2インチ、3インチ) から8インチウェハ...

• メーター・計測機器

• パーティクルカウンター

■小型・高機能光学式外観検査装置 ・顕微鏡目視検査の自動化に最適。 ・ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。 ・一度に二つの面を検...

• 検査装置

• 異物検査装置

■NEXUSシリーズ IPAをはじめとする溶剤を最大4ラインで同時過熱が可能なインライン溶剤ヒーター 流量変動があっても安定した吐出温度制...

• 熱源

• ヒーター

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

■ Tytanシリーズ ヒーターエレメント及び接液部に高純度チタンを使用し、高い耐腐食性能を提供する純粋加熱装置 PID制御による正確で安...

• 加工・工作機器

• 加熱装置

■SiC／GaN関連ウェハ表面検査装置 ・SiC表面パーティクルスキャナ デュアルヘッド搭載 ・SiC潜傷の未検出を防ぐ　新開発SiC表面パーティ...

• メーター・計測機器

• パーティクルカウンター

Futurestar社製フローメータは180℃までの高温流体対応のフッ素樹脂製のフローメータです。 接液面は高品質なPTFE, PFA, TFM, CTFEを使用...

• メーター・計測機器

• フローメーター

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

PSBシリーズ空圧ダブルダイヤフラム (AODD) ポンプは高流量薬品搬送に特化したポンプです。Tongue-and-Grooveシールによりリークのない...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

■ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置 ・透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。 ・センサ自動焦点機構で...

• 検査装置

• 異物検査装置

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

White Knight社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用さ...

• ポンプ

• ケミカルポンプ

■HCQシリーズ 最大100L/minに対応しており、合成石英を接液面に採用することでコンタミ、プロセス汚染の最小限化を実現したインラインヒ...

• 熱源

• ヒーター

■ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置 ・透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。 ・センサ自動焦点機構で...

• 検査装置

• 異物検査装置

■FHAシリーズ ・接液部には金属を使用しないメタルフリー高純度薬液対応フィルタハウジング。 ・最高使用温度は100℃で、2もしくは4本の...

• 浄化設備・装置

• フィルターハウジング

■TFシリーズ タンクの底/側面に設置可能な浸漬式薬液ヒーター 接液面はフッ素樹脂のためほぼ全ての薬品の加熱に対応可能で、特許のパー...

• 熱源

• ヒーター

Futurestar社製のオートバルブは洗浄装置、薬液供給装置等あらゆる分野での酸、アルカリ系の水溶液の定量管理、ブレンドアプリケーショ...

• メーター・計測機器

• 渦流量計

■M-100シリーズ 幅広い流量設定範囲を持つ可変ピストンフローフロースイッチ 材質をアプリケーションに合わせてPFA, SUS, Cuから選択可...

• スイッチ

• フロースイッチ

■HXFシリーズ フッ素樹脂被膜の薄型横付け(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸、アルカリなどの薬液を安全に加熱します。貴...

• 熱源

• ヒーター

DCM-10はインラインでリアルタイムに薬液濃度監視を行うことができる高精度屈折率計です。スラリ濃度、スラリ内の過酸化水素濃度、高純...

• 測定機器

• 濃度測定器

■HXFLシリーズ フッ素樹脂被膜の薄型横付け(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸、アルカリなどの薬液を安全に加熱します。貴...

• 熱源

• ヒーター

■HXLシリーズ フッ素樹脂被膜のスパイラル型横付け(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸・アルカリなどの薬液を安全に加熱可...

• 熱源

• ヒーター

■HXRLシリーズ フッ素樹脂被膜のライザー(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸、アルカリなどの薬液を安全に加熱します。貴社...

• 熱源

• ヒーター

■THERMAXシリーズ 特許取得済みの製造プロセスにより一貫して高品質な生産をご提供する熱交換器 コンパクトでモジュール式の設計とガス...

• 温度制御

• 熱交換器

■HXシリーズ フッ素樹脂被膜のスパイラル型横付け(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸・アルカリなどの薬液を安全に加熱可能...

• 熱源

• ヒーター

■HXSLシリーズ フッ素樹脂被膜のライザー(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸、アルカリなどの薬液を安全に加熱します。貴社...

• 熱源

• ヒーター

■HXOシリーズ フッ素樹脂被膜のオープン流路(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸、アルカリなどの薬液を安全に加熱します。...

• 熱源

• ヒーター

■HXOLシリーズ フッ素樹脂被膜のオープン流路(単相)浸漬式薬液ヒーター 低ワット密度設計で酸、アルカリなどの薬液を安全に加熱します。...

• 熱源

• ヒーター