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洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー198社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2024年8月注目ランキングは1位:株式会社ダン科学、2位:株式会社イー・スクエア、3位:OKIネクステック株式会社となっています。
洗浄装置と関連するカテゴリ
洗浄装置 (英:cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。
精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります
洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%~40%を占めると言われています。
具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです
洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。
半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。
洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。
洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。
超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。
スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。
ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。
ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。
溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。
洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。
1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。
バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。
半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。
最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年8月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社ダン科学 |
3.8%
|
2 | 株式会社イー・スクエア |
2.5%
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3 | OKIネクステック株式会社 |
2.2%
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4 | 株式会社バンテック |
2.0%
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5 | 株式会社TOSEI |
2.0%
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6 | 株式会社北村製作所 |
2.0%
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7 | 高橋金属株式会社 |
2.0%
|
8 | HUGパワー株式会社 |
1.8%
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9 | 株式会社ダン・タクマ |
1.8%
|
10 | 株式会社エム式水耕研究所 |
1.6%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年8月の洗浄装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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358 点の製品がみつかりました
京和グリーン株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
26.1時間 平均返答時間
プラグトレイに残った残土を叩き落とす装置です。接ぎ木苗生産者様では穂木を取って、トレイに残った茎と培土を除去するのにご利用頂いています。
株式会社岡常歯車製作所
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最新の閲覧: 1日前
■特徴 ・純国産、国産初 ・電源のない所でも温水洗浄可能 ・充実の標準装備 ・100V用 (200W) 出力コンセントを取付可能 (オプション) ■用途 工事現場、山の...
株式会社岡常歯車製作所
10人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
■特徴 ・土地を比較的原型に近い形で残せます。 ・遊休地の有効活用ができます。 ・利用客がお客を増やしてくれます。 ・毎日、現金収入が見込めます。 ・比...
株式会社エアロ・ピュア
10人以上が見ています
驚きのラインレーザー。広がる希望、確かな現実。 ■ポイント ・驚きの速さ (レーザーだから、あっという間) ・超エコ (液も何も使わないエコ) ・すごいけ...
株式会社スギノマシン
20人以上が見ています
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100.0% 返答率
ランスの操作を作業者自身が行う安価なウォータージェット (WJ) 洗浄装置です。搬送台車との組合わせにより、リアクターまでの搬送が手軽に行えます。 ■用途...
森合精機株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■ロボットアームによる精密洗浄は、複雑化する産業部品の洗浄ニーズに応えるためのひとつの回答でした。 森合精機は、このロボットアームによる洗浄機開発を...
株式会社ブルー・スターR&D
30人以上が見ています
■人件費削減 品質安定 競争力強化 キャビティーション強化システム付きの手動の汎用の超音波洗浄装置です。金属・プラスチック・複合材料等などの様々なバ...
5種類の品番
株式会社カスタムテック
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■超音波式洗浄機 ・硬貨の洗浄・すすぎ・脱水・乾燥が簡単 ・大好評、超音波式 ・硬貨が生まれ変わる ・大手金融機関に導入済み ・静音設計 ■使用方法 ・硬...
株式会社岡常歯車製作所
20人以上が見ています
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株式会社岡常歯車製作所
10人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
■特徴 ・車両の洗浄、消毒はおまかせ。 ・基本的な消毒作業に必要な機器を安価でセットいたしました。 ・操作はボタンをワンプッシュ。 ・あとはタイマー制御...
株式会社エアロ・ピュア
10人以上が見ています
■概要 本装置は、洗浄後の基板乾燥機です。基板の両面をマイクロスポンジ吸水ローラーで吸水し乾燥します。熱も溶剤も使わない為、製品ダメージは無く、低コ...
株式会社スギノマシン
20人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
100.0% 返答率
コンパクトながらパワフルな洗浄が可能なポータブル高圧水洗浄機です。吐出圧力と吐出量とのバランスが良く、あらゆる洗浄用途で高いパフォーマンスを発揮し...
株式会社五十嵐製作所
70人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■洗うだけで効率UP。金型,機械機器などの冷却水配管洗浄に。成形サイクルの回復や成形品の品質管理から機器のメンテナンスまでこれ一台。 PCL-40は1/2インチ...
森合精機株式会社
10人以上が見ています
■ロボットアームによる精密洗浄は、複雑化する産業部品の洗浄ニーズに応えるためのひとつの回答でした。 森合精機は、このロボットアームによる洗浄機開発を...
株式会社ウイスト
20人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
100.0% 返答率
抜群の新製品対応力と高い洗浄能力の直線型反転式エアー洗ビン機 ■特徴 ・抜群の新製品対応力を誇るピッチメーカー®と、高い信頼性のファナックロボットがボ...
株式会社ブルー・スターR&D
30人以上が見ています
最新の閲覧: 16分前
精密バリ除去の決定版。真空前処理・超音波バリ取り洗浄。空気が抜けない、複雑形状のバリ取り、止まりネジ穴のバリ取りに。 ■人件費削減 品質安定 競争力強...
4種類の品番
株式会社サイレック
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■特徴 ・サーボモーターによるトルク設定 ・ノーマル キャップ、ヒンジキャップ、ポンプキャップ、トリガーキャップ等のキャップの締めが可能 ・治具交換なし...
株式会社岡常歯車製作所
10人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
■特徴 ・小さなボディでもプロ仕様。 ・狭い場所でも使用可能なコンパクト型。 ・カンタン操作で強力洗浄。 ・国産ポンプ搭載。 ■用途 食品、水産、自動車、...
株式会社岡常歯車製作所
10人以上が見ています
■特徴 ・現地での設置の為のよけいな工事は不要。 ・緊急時に工事をする時間がない場合にも即設置。不要な場合は撤去も可能。 ・消毒槽、アーチ、下部洗浄、...
株式会社エアロ・ピュア
20人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
■概要 本装置は、樹脂トレイ洗浄機です。洗浄液は弊社プラスチック洗浄液を使用出来ます。 樹脂トレイの表裏の接着剤残りやコンタミ洗浄が可能です。 洗浄ブ...
株式会社スギノマシン
30人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
100.0% 返答率
本装置は、東京電力株式会社 福島第一原子力発電所の災害現場における放射線汚染環境の改善を目的とした高圧水を用いる遠隔除染装置で、スギノマシンが得意と...
株式会社メイワ
150人以上が見ています
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
49.2時間 平均返答時間
■人手により容器供給し容器内をクリーンエアー及び静電除去 エアーを用いてエアーブローし、同時にブロアー集塵し容器内の塵を除去をし、人手にて容器排出を...
株式会社五十嵐製作所
50人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■1インチ~2インチ配管ならこれ 冷却水配管用洗浄機のPCL-120です。金型、機械機器のメンテナンスコスト削減に大きく貢献いたします。 PCL-120は配管口径が1...
森合精機株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 21時間前
少ないノズルで全面洗浄が可能な新発想の洗浄法を採用。従来の洗浄方法を変える洗浄方式で高い洗浄力と洗浄精度の高再現性を実現、大きな省エネ効果で環境に...
株式会社ウイスト
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
■品種ごとのボトルキャリアが不要、コンパクトで高い新製品対応力を誇るロボットリンサー 抜群の新製品対応力を誇るピッチメーカーと、高い信頼性のファナッ...
株式会社ブルー・スターR&D
20人以上が見ています
最新の閲覧: 16分前
■概要 ・超音波バリ取りを全自動で ・油・切粉洗浄→リンス→超音波バリ取り洗浄→乾燥 ・工数削減・品質安定・お客様の競争力の強化に貢献 ・人件費削減 品質...
3種類の品番
タツモ株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
窒化膜エッチングに用いられる熱リン酸は、プロセス処理により生成される珪素の濃度が上昇するため、定常的に新液への交換が必要になります。この珪素を弊社...
株式会社岡常歯車製作所
20人以上が見ています
最新の閲覧: 35分前
■特徴 ・プロ仕様の大型冷水洗浄機。 ・主要部品は全て国内製。 ・あらゆる業界に対応可能。 用途 ■土木建築 重機、ダンプ、コンクリート ■畜産 酪農、養鶏...
株式会社岡常歯車製作所
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■特徴 ・長靴洗浄用の専用ブラシです。 ・電源は不要。 ・水道とホースで接続するだけで長靴の底部を含む全体を洗浄できます。 ・長靴を履いたまま内部で動か...
Metoreeに登録されている洗浄装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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用途及び特徴・用力は電気と水のみ・油、塗料、化粧品の調合器の汚れ落としが得意・低圧(0.2MPa以下)なのでダメージが少ない
2024年4月18日
大気圧プラズマを用いたダイレクト接着の一例を紹介しています。接着界面にダメージを与えない分子結合を主体にした結果の一例です。光学レンズ・光学フィル...
2024年8月9日
過去、講演会等に用いた資料で、弊社が製造する大気圧プラズマ装置の基本的概念や装置性能、設計思想、使用実績アプリケーション等、性能検証方法等を紹介さ...
2022年7月12日
粒状(有機・無機に関係なく)物に対する、ラジカルによるドライ洗浄や親水処理、表面還元処理をダメージを与えることなく処理ができる。粒子径は数ミリから...
2023年3月17日
フッ素樹脂への塗布性能向上や銅箔や異種材フィルム等への接着をお考えの場合、弊社の分子結合接着技術を是非ご検討ください。接着界面にダメージを与えず、...
2023年3月17日
PTFEやPFAなどのフッ素樹脂表面への超親水化処理と、LCPやフッ素樹脂フィルムとCuとのダイレクト接着の方法の一例の紹介です。接着界面材質に応じ、付与する...
2024年8月9日
プラズマ照射幅5mm~30mm(ヘッド回転式)。処理ガスにエアー使用可能。小型、軽量。親水化、撥水化、還元、有機物除去。安価(250万円~)。
2023年8月4日
【特長】1.スクリーン/メタルマスクの性能維持 マスクの接着部分に洗浄液がかからないため接着剥がれを回避2.臭い漏洩防止 部分洗浄方式により、洗浄~乾...
2023年2月24日
弊社で扱う超音波バリ取り洗浄装置の総合カタログです。汎用・超音波装置のPERIONシリーズ(全24機種)や、汎用・真空前処理型超音波装置のMARSシリーズ(全2...
2024年6月13日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎自動2室システムで、同時に2個のグルテンサンプルを準備できます...
2024年3月19日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎操作は主に3つのボタンで行います。同時に2個のグルテンサンプル...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎設定はタッチボタン操作で行うことができます。同時に2個のグルテ...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎自動2室システムで、同時に2個のグルテンサンプルを準備できます...
2024年3月25日
一般的なシンクで使用できるコンパクトなボトル簡易洗浄台です。ポンプ等の装置を使用せず、洗浄台を蛇口と接続するだけで洗浄できます。電気を使用しないの...
2022年7月23日
抜群の節水効果--------------------異物混入防止対策に。衛生管理に。全部品食品衛生法的合材を使用。【特徴】・軽量でコンパクト・高い耐久性・使い易い流...
2024年6月21日
≪節水対策のお供に!≫≫食品飲料製造メーカー殿に関しては、1日の中で(若しくは1週間の中で)異なった商品の製造を行わなければなりません。そのタンク内に異...
2023年7月5日
レヒラー社製タンク洗浄ノズル型番:5B2 / 5B3スプレーボールシリーズ5B2/5B3は、多くのアプリケーションで実績のある設計です。高い衛生要件と高温の環境で...
2023年8月3日
妥協のない洗浄力に感動するだけでなく、衛生的な設計、プロセスの信頼性、耐用年数の面で新たな基準を打ち立て三次元ノズル!【 MeshClean の主な機能】・ス...
2023年8月31日
柔軟度が高く正確なプロセスコントロール200mmもしくは300mmウェハー用の自動ウェットプロセシングシステムである本製品はキャリア有無どちらでも使用でき、...
2024年5月24日
古い装置で、思うようにいかなかったら、新しい装置に変えましょう!RENA NAは現在の技術で新しいSRDを作りました。SRDは最先端の開発が進む装置業界で、取り...
2024年5月24日
省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサーRENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、プロセス...
2024年5月24日
Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。【生産性】低コストながら高いパフォーマンス■ 前後側面マ...
2024年5月24日
R&Dからパイロット生産への移行に適切なInception■ 量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現■ 最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソ...
2024年5月24日
【エアーノズルでは不可能だった100%完全な水切りがついに実現】~エアーブローだけで完全乾燥。乾燥工程が不要に~==================デ...
2024年9月1日
【水洗い不要!風だけで汚れを落とすエアーブロー洗浄】~頑固な汚れから付着ダストまで~==================デモ動画をカタログに掲載中...
2024年9月1日
【洗浄から完全乾燥までこれ1台で完結!】~自動化と効率化を同時に実現~==================デモ動画をカタログに掲載中!エアーブローで...
2024年9月1日
スプレーガン自動洗浄装置・塗装後のガン洗浄に・一度に2丁まで洗浄できる・ガンをセット、タイマー回して45秒で洗浄完了・フタを開けると停止する安全装置付
2023年1月6日
汚水の跳ね返りSTOP!!高圧洗浄機用飛散防止カバー ウォーターガードノズルの先端に付けるだけ!洗浄作業時の汚水の飛散を防止します!跳ね返りを大幅に軽...
2023年2月28日
洗浄機故障の70%は、細かな粉塵が原因クリアーフィルターで防ぐポンプ寿命が2倍に!現場トラブルを大幅に減らし、利益約2割アップ!従来品より細かい250メ...
2023年2月28日
洗浄機付属品片面飛散ガードで横飛散防止廊下の角や隅をきれいに早く洗浄したいマンション・アパートの廊下の洗浄にドア側や壁への洗浄汚水の飛散防止にワン...
2023年2月28日
キクロンプロ タフネットは異物混入対策用に開発されたネットスポンジです。 扁平フィルムを立体的にねじり編みすることにより、キズつきにくく、これまでに...
2022年2月25日
「RECIPE 9」は洗浄の重要性・効率的な洗浄・洗浄ツールの知識をまとめた洗浄のための冊子です。 洗浄を「もっとキレイに、もっとスピーディに、もっと簡単に...
2022年2月25日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置【シバタのUFBテクノロジー】当社開発のウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン」は水道圧1passで...
2022年8月29日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年7月26日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年9月28日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。住宅や施設でも瞬時にバブルを生成。水道...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン ベーシックシリーズ」大流量モデル。設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置のOEM。ファインバブル技術の市場は、様々なサービスやシステムとしての発展が予測されます。国際標準化も進みつつ...
2024年4月1日
当社は、化学薬品・医薬品・化粧品メーカー向けの液体充填装置や容器洗浄装置の設計・製造・販売を行っている会社です。半導体製造に欠かせない高純度薬液(フ...
2023年11月17日
半導体製造には,非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる.当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も,そのような要求に...
2023年11月28日
1:ラップ後洗浄装置:ラッピング砥粒除去(アルカリ+界面を主にした洗浄です)。2:アルカリエッチング洗浄装置:グラインディング後の加工歪を除去するこ...
2023年11月28日
液体に気体を混合させ、マイクロバブルを製造し、気液の反応効率を上げます。・空気・酸素・窒素・オゾン等の気体を容易に液体に溶解することが可能です。・...
2023年12月19日
【ヘルメットクリーン と e-WASH が気になる雑菌・臭い・汚れを数秒で除菌・消臭・洗浄します】スーパーアルカリイオン水「e-WASH」がヘルメット内部の...
2024年8月30日
当社の水系超音波洗浄システムは、有機溶剤や炭化水素を一切使用せず、“水”を使用することで工場内、周辺地域への環境負荷を大きく低減し、その上で強力な洗...
2023年9月19日
洗浄装置のカタログ48件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
HUGパワー株式会社 株式会社イー・スクエア OKIネクステック株式会社 株式会社ブルー・スターR&D オガワ精機株式会社 東光技研工業株式会社 有光工業株式会社 株式会社マルヤス MONOVATE株式会社 株式会社明治機械製作所 ティックコーポレーション株式会社 株式会社インターテック販売 ピュアトラスト株式会社 精和産業株式会社 キクロン株式会社 株式会社シバタ 株式会社永田製作所 PHT株式会社 株式会社MEI 株式会社アールアンドアール 株式会社CJVインターナショナル219,922 円
29,719 円
1,140,000 円
価格について: Metoreeに登録されている洗浄装置の製品358点の2024年9月17日時点での価格データを元に算出しています。