洗浄装置メーカー206社

洗浄装置のメーカー206社一覧や企業ランキングを掲載中！洗浄装置関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:株式会社ダン科学、2位:株式会社イー・スクエア、3位:OKIネクステック株式会社となっています。洗浄装置の概要、用途、原理もチェック！

洗浄装置とは

洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。

精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります

洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%～40%を占めると言われています。

解説をもっと見る

206社洗浄装置メーカー

洗浄装置 2025年6月のメーカーランキング

2025年6月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社ダン科学	5.5%
2	株式会社イー・スクエア	5.3%
3	OKIネクステック株式会社	4.7%
4	株式会社ケンテック	3.9%
5	エンバイロ・ビジョン株式会社	2.6%
6	高橋金属株式会社	2.6%
7	HUGパワー株式会社	2.4%
8	川崎重工業株式会社	2.1%
9	東光技研工業株式会社	1.8%
10	株式会社MCエバテック	1.8%

一括問い合わせ (無料)

見積もりの使い方

洗浄装置の価格・相場

平均価格

111,540 円

最低価格

4,000 円

最高価格

1,140,000 円

📔 洗浄装置の基礎知識

洗浄装置とは

洗浄装置

洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。

精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります

洗浄装置の使用用途

具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです

半導体プロセスにおけるシリコンウェーハの洗浄
金属フィルタのメッシュに付着した汚れの洗浄
切削後の金属表面に付着した金属粉の除去

洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。

洗浄装置の原理

半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。

洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。

洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。

1. 超音波洗浄装置

超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。

2. スプレー洗浄装置

スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。

3. ブラシ洗浄装置

ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。

4. ドライ洗浄装置

ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。

5. 溶剤洗浄装置

溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。

洗浄装置の構造

洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。

1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。

バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。

洗浄装置のその他情報

洗浄装置に使用する洗浄剤

半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。

SPM
硫酸と過酸化水素の混合物で、有機物の除去用です。
APM
アンモニアと過酸化水素の混合物で、パーティクルと有機物を除去します。さらに、超音波を加え、パーティクルの除去率を高めます。
DHF
フッ酸と純水の混合物で、金属や酸化膜を除去します。フッ酸は、強酸であり、シリコンも溶かしてしまうので、純水で希釈したものを使って、ウェーハの表面のみを処理します。
HPM
塩酸と過酸化水素の混合物で、残った金属や酸化物を除去し、表面に不働態化層を作って、汚れの再付着を防止します。

最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf

メーカーから探す 206

製品から探す 774

洗浄装置 メーカー206社

洗浄装置とは

206社洗浄装置メーカー

株式会社イー・スクエア メーカー PreciseIIダウンストリーム型、プラナー型・スポット型

OKIネクステック株式会社 メーカー 洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）

HUGパワー株式会社 小型蒸気2流体洗浄装置

株式会社ダン科学 ウェハ洗浄装置、ガラス基板洗浄装置、精密部品洗浄装置

株式会社ケンテック ケンテックPCS・汎用洗浄装置

エンバイロ・ビジョン株式会社 洗浄装置一覧

川崎重工業株式会社 メーカー 高圧ウォータジェット洗浄機

株式会社マルヤス メーカー メタルプレッシャー(MP)

株式会社パートナーズコーポレーション メーカー 親綱・ネット洗浄機

有限会社アイエムエイ メーカー 植物工場・施設園芸向け自動機開発・製造

株式会社櫻川ポンプ製作所 メーカー ピット式タイヤ洗浄機

日東精工株式会社 メーカー マイクロバブル洗浄装置一覧

高橋金属株式会社 メーカー 工業用洗浄機

超音波工業株式会社 メーカー 超音波洗浄装置一覧

日本アレックス株式会社 メーカー 超音波洗浄装置一覧

東光技研工業株式会社 メーカー 洗浄装置一覧

進和工業株式会社 メーカー 帯電防止洗浄装置

株式会社メイワ メーカー リンサー

株式会社ニンバス メーカー 洗浄器

モリマシナリー株式会社 メーカー 商社・代理店 リングダイ洗浄機

株式会社ユニカル メーカー 洗浄設備

春日電機株式会社 メーカー ジェットエア式除水機スイパー

株式会社三社電機製作所 メーカー 超音波洗浄機 CleanRex

株式会社MCエバテック メーカー 洗浄装置

株式会社TOSEI メーカー 洗浄装置一覧

ホーコス株式会社 メーカー ブロワ式小型野菜洗浄機

日伸精機株式会社 メーカー 産業部品洗浄機（標準）一覧

岩崎電気株式会社 アイグラフィックス社 メーカー 洗浄・改質装置

有限会社アイケミック メーカー 洗浄装置

ビス株式会社 メーカー 各種洗浄装置

洗浄装置 2025年6月のメーカーランキング

マイクロバブル洗浄装置 バブ・リモ 一槽型

マイクロバブル洗浄装置 バブ・リモ 多機能型

マイクロバブル洗浄装置 バブ・リモ インライン型

低～高速機をはじめ、既存ラインへの組込みなど後付機にもお答えいたします 半自動リンサー

低～高速機をはじめ、既存ラインへの組込みなど後付機にもお答えいたします エアーリンサー

ラッピング・ポリッシング装置 ウエハー洗浄装置 ParticleClean

MUFB温水洗浄機

ボトルエアクリーナー SCLN-4100

洗浄装置・機器 炭化水素洗浄装置 低コンタミ炭化水素洗浄システム『ACSys』

部品洗浄装置 水系スプレー洗浄装置 シャトル式洗浄装置

糊抜き精練装置・還元洗浄装置 (FV洗浄装置)

サツマイモの形状を問わずにきれいに洗浄 さつま芋洗機 JNS-1505BF (三相)

クローラー洗浄機 簡クロー RW-1405A

ジェットワッシャー Jシリーズ

スパイラルクラッシファイヤ SW-600S

スパイラルクラッシファイヤ SW-1200

基板洗浄装置

部品洗浄乾燥装置

ガラスケース洗浄機

ケーシング切粉除去洗浄乾燥装置 メッキ前部品脱脂熱水洗浄装置

鋳造金型洗浄装置

圧延ロール

重量物部品洗浄機

クリーンルーム空調用フィルター超音波洗浄機

中間周波超音波洗浄機HRSシリーズ HRS0610

二周波超音波洗浄機HRS-D フランジ型振動子 HRSD0610

枚葉スピンプロセッサー

電動 高圧洗浄機 最大吐出水量6.5L/m ノズル3種 温水対応 水道直結対応 HG-EHPW307

プリント基板/電子デバイス製造装置 セラミック基板の敷粉除去においてスクラブから水洗・乾燥まで連続処理 セラミックジェットスクラブ

帯電防止洗浄装置 広幅フィルムをスピーディに処理 SSW-800F

帯電防止洗浄装置 応用装置 パスターマシン

手動式エアー洗ビン機 S-01

異物除去洗浄機「リバー」

建築養生シート洗浄機

マットエース スタンダード型

洗浄 超音波洗浄装置 揺動2槽式超音波+シャワー洗浄装置

洗浄 超音波洗浄装置 昇降揺動機能付中型超音波洗浄機 X0192-CS

洗浄 超音波洗浄装置 電解超音波

洗浄 超音波洗浄装置 超音波蒸気洗浄

洗浄 超音波洗浄装置 2槽式超音波洗浄機

ノズルクリーナ ビューティフルヤッターマン2 (冷却水併用型)

ノズルクリーナ シンプル

サマックス洗浄・剥離システム 熱水・気流ジェット洗浄機 HSW1895

【輝度回復と歩留まり改善】光学部材用金型専用洗浄機 クリピカエースOPT

洗浄装置の価格・相場

平均価格

洗浄装置メーカー206社

株式会社イー・スクエアメーカー
PreciseIIダウンストリーム型、プラナー型・スポット型

OKIネクステック株式会社メーカー
洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）

HUGパワー株式会社
小型蒸気2流体洗浄装置

株式会社ダン科学
ウェハ洗浄装置、ガラス基板洗浄装置、精密部品洗浄装置

株式会社ケンテック
ケンテックPCS・汎用洗浄装置

エンバイロ・ビジョン株式会社
洗浄装置一覧

川崎重工業株式会社メーカー
高圧ウォータジェット洗浄機

株式会社マルヤスメーカー
メタルプレッシャー(MP)

株式会社パートナーズコーポレーションメーカー
親綱・ネット洗浄機

有限会社アイエムエイメーカー
植物工場・施設園芸向け自動機開発・製造

株式会社櫻川ポンプ製作所メーカー
ピット式タイヤ洗浄機

日東精工株式会社メーカー
マイクロバブル洗浄装置一覧

高橋金属株式会社メーカー
工業用洗浄機

超音波工業株式会社メーカー
超音波洗浄装置一覧

日本アレックス株式会社メーカー
超音波洗浄装置一覧

東光技研工業株式会社メーカー
洗浄装置一覧

進和工業株式会社メーカー
帯電防止洗浄装置

株式会社メイワメーカー
リンサー

株式会社ニンバスメーカー
洗浄器

モリマシナリー株式会社メーカー商社・代理店
リングダイ洗浄機

株式会社ユニカルメーカー
洗浄設備

春日電機株式会社メーカー
ジェットエア式除水機スイパー

株式会社三社電機製作所メーカー
超音波洗浄機 CleanRex

株式会社MCエバテックメーカー
洗浄装置

株式会社TOSEI メーカー
洗浄装置一覧

ホーコス株式会社メーカー
ブロワ式小型野菜洗浄機

日伸精機株式会社メーカー
産業部品洗浄機（標準）一覧

岩崎電気株式会社アイグラフィックス社メーカー
洗浄・改質装置

有限会社アイケミックメーカー
洗浄装置

ビス株式会社メーカー
各種洗浄装置

マイクロバブル洗浄装置バブ・リモ一槽型

マイクロバブル洗浄装置バブ・リモ多機能型

マイクロバブル洗浄装置バブ・リモインライン型

低～高速機をはじめ、既存ラインへの組込みなど後付機にもお答えいたします半自動リンサー

低～高速機をはじめ、既存ラインへの組込みなど後付機にもお答えいたしますエアーリンサー

ラッピング・ポリッシング装置ウエハー洗浄装置 ParticleClean

洗浄装置・機器炭化水素洗浄装置低コンタミ炭化水素洗浄システム『ACSys』

部品洗浄装置水系スプレー洗浄装置シャトル式洗浄装置

サツマイモの形状を問わずにきれいに洗浄さつま芋洗機 JNS-1505BF (三相)

クローラー洗浄機簡クロー RW-1405A

ケーシング切粉除去洗浄乾燥装置メッキ前部品脱脂熱水洗浄装置

電動高圧洗浄機最大吐出水量6.5L/m ノズル3種温水対応水道直結対応 HG-EHPW307

プリント基板/電子デバイス製造装置セラミック基板の敷粉除去においてスクラブから水洗・乾燥まで連続処理セラミックジェットスクラブ

帯電防止洗浄装置広幅フィルムをスピーディに処理 SSW-800F

帯電防止洗浄装置応用装置パスターマシン

マットエーススタンダード型

洗浄超音波洗浄装置揺動2槽式超音波+シャワー洗浄装置

洗浄超音波洗浄装置昇降揺動機能付中型超音波洗浄機 X0192-CS

洗浄超音波洗浄装置電解超音波

洗浄超音波洗浄装置超音波蒸気洗浄

洗浄超音波洗浄装置 2槽式超音波洗浄機

ノズルクリーナビューティフルヤッターマン2 (冷却水併用型)

ノズルクリーナシンプル

サマックス洗浄・剥離システム熱水・気流ジェット洗浄機 HSW1895

【輝度回復と歩留まり改善】光学部材用金型専用洗浄機クリピカエースOPT