制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
洗浄装置のメーカー205社一覧や企業ランキングを掲載中！洗浄装置関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:OKIネクステック株式会社、2位:株式会社イー・スクエア、3位:HUGパワー株式会社となっています。 洗浄装置の概要、用途、原理もチェック！
洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。
精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります
洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%～40%を占めると言われています。
関連キーワード
2025年8月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | OKIネクステック株式会社 |
6.6%
|
| 2 | 株式会社イー・スクエア |
5.2%
|
| 3 | HUGパワー株式会社 |
4.3%
|
| 4 | 株式会社ダン科学 |
3.8%
|
| 5 | エンバイロ・ビジョン株式会社 |
2.8%
|
| 6 | 東光技研工業株式会社 |
2.8%
|
| 7 | 有限会社アイエムエイ |
2.8%
|
| 8 | 株式会社ケンテック |
1.9%
|
| 9 | 株式会社パートナーズコーポレーション |
1.9%
|
| 10 | 株式会社ユニカル |
1.9%
|
18 点の製品がみつかりました
18 点の製品
OKIネクステック株式会社
1140人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
15.7時間 返答時間
■スクリーン版/メタルマスク版の性能維持 版の金属枠とマスクの接着部分に洗浄液がかからないため、テンションが緩む事象および接着部分...
3種類の品番
株式会社リサイクル
380人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
リサイクルグループでは多くの経験を活かしてお客様のニーズに対応した洗浄機を販売しております。また、販売するだけではなく、洗浄機...
日進機工株式会社
380人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
24.8時間 返答時間
マスキング材のリサイクルとコストダウンをご提案！ ■特徴 ケーシング内部にある洗浄カゴの中にマスキング材を投入し、洗浄カゴを回...
進和工業株式会社
310人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
31.5時間 返答時間
Glass 基板洗浄装置 抵抗膜式タッチパネル製造工程フローチャート ■上面 フィルム電極 Wet Etching 法 ・エッチングレジスト印刷 ・ITO...
株式会社エフティ・ファインテックプロダクト
330人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
13.0時間 返答時間
■FTFが提供するスーパーアルカリイオン水-SAIW- 水道水を純水レベルまでろ過し特許技術により電気分解することでつくられる強アルカリ性...
株式会社五十嵐製作所
400人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■1インチ～2インチ配管ならこれ 冷却水配管用洗浄機のPCL-120です。金型、機械機器のメンテナンスコスト削減に大きく貢献いたします。 ...
株式会社五十嵐製作所
330人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■1インチ～2インチ配管ならこれ。冷却水配管用洗浄機のPCL-120です。 金型、機械機器のメンテナンスコスト削減に大きく貢献いたします。...
株式会社中農製作所
240人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.3時間 返答時間
■マスキングゴムの塗料剥離、内製化しませんか 自動車などの塗装工程で使用したマスキングゴムの購入費や塗装剥離の外注費でお困りでは...
東光技研工業株式会社
290人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
29.9時間 返答時間
特長 ■洗浄、乾燥効率ともに抜群 小物部品の洗浄に最適。一括、多量洗浄が可能。狭間隙、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に威力。線成...
東光技研工業株式会社
340人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
29.9時間 返答時間
特長 ■洗浄、乾燥効率ともに抜群 小物部品の洗浄に最適。一括、多量洗浄が可能。狭間隙、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に威力。線成...
東光技研工業株式会社
280人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
29.9時間 返答時間
■特長 リターン方式の通い箱洗浄機で、Vジェット強力噴射の自動タイマー付き。
東光技研工業株式会社
270人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
29.9時間 返答時間
■特長 大規模工場向きのオートメーション装置付き洗浄機です。前後にコンベアを接続すると大量に処理できます。
株式会社トラスト
30人以上が見ています
■特徴 ・メタルマスク洗浄のつぼを押さえた専用装置 (共晶はんだ洗浄／鉛フリーはんだ洗浄) ・シンプル設計で使いやすい (当社ACT200と...
株式会社トラスト
20人以上が見ています
■特徴 ・版の接着部分を避け汚れている部分のみを洗浄する為、洗浄による版の損傷を防ぎます) ・版に向けて溶剤を噴射し洗浄する為、印...
有限会社ガリュー
40人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
■特長 スーパーソニックトルネーダー (SPT-300W2G) は、50〜120分の連続使用が可能で、2本のガンノズルで同時洗浄ができる多機能音波洗...
洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。
精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります
洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%～40%を占めると言われています。
具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです
洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。
半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。
洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。
洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。
超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。
スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。
ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。
ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。
溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。
洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。
1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。
バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。
半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。
最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf
