洗浄装置メーカー205社

洗浄装置のメーカー205社一覧や企業ランキングを掲載中！洗浄装置関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:OKIネクステック株式会社、2位:株式会社イー・スクエア、3位:HUGパワー株式会社となっています。洗浄装置の概要、用途、原理もチェック！

洗浄装置とは

洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。

精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります

洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%～40%を占めると言われています。

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205社洗浄装置メーカー

洗浄装置 2025年8月のメーカーランキング

2025年8月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	OKIネクステック株式会社	6.6%
2	株式会社イー・スクエア	5.2%
3	HUGパワー株式会社	4.3%
4	株式会社ダン科学	3.8%
5	エンバイロ・ビジョン株式会社	2.8%
6	東光技研工業株式会社	2.8%
7	有限会社アイエムエイ	2.8%
8	株式会社ケンテック	1.9%
9	株式会社パートナーズコーポレーション	1.9%
10	株式会社ユニカル	1.9%

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見積もりの使い方

洗浄装置の価格・相場

平均価格

111,540 円

最低価格

4,000 円

最高価格

1,140,000 円

📔 洗浄装置の基礎知識

洗浄装置とは

洗浄装置

洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。

精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります

洗浄装置の使用用途

具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです

半導体プロセスにおけるシリコンウェーハの洗浄
金属フィルタのメッシュに付着した汚れの洗浄
切削後の金属表面に付着した金属粉の除去

洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。

洗浄装置の原理

半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。

洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。

洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。

1. 超音波洗浄装置

超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。

2. スプレー洗浄装置

スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。

3. ブラシ洗浄装置

ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。

4. ドライ洗浄装置

ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。

5. 溶剤洗浄装置

溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。

洗浄装置の構造

洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。

1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。

バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。

洗浄装置のその他情報

洗浄装置に使用する洗浄剤

半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。

SPM
硫酸と過酸化水素の混合物で、有機物の除去用です。
APM
アンモニアと過酸化水素の混合物で、パーティクルと有機物を除去します。さらに、超音波を加え、パーティクルの除去率を高めます。
DHF
フッ酸と純水の混合物で、金属や酸化膜を除去します。フッ酸は、強酸であり、シリコンも溶かしてしまうので、純水で希釈したものを使って、ウェーハの表面のみを処理します。
HPM
塩酸と過酸化水素の混合物で、残った金属や酸化物を除去し、表面に不働態化層を作って、汚れの再付着を防止します。

最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf

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洗浄装置 メーカー205社

洗浄装置とは

205社洗浄装置メーカー

株式会社イー・スクエア メーカー PreciseIIダウンストリーム型、プラナー型・スポット型

OKIネクステック株式会社 メーカー 洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）

HUGパワー株式会社 メーカー 小型蒸気2流体洗浄装置

株式会社ダン科学 メーカー ウェハ洗浄装置、ガラス基板洗浄装置、精密部品洗浄装置

株式会社ケンテック メーカー ケンテックPCS・汎用洗浄装置

エンバイロ・ビジョン株式会社 洗浄装置一覧

川崎重工業株式会社 メーカー 高圧ウォータジェット洗浄機

株式会社マルヤス メーカー メタルプレッシャー(MP)

株式会社パートナーズコーポレーション メーカー 親綱・ネット洗浄機

有限会社アイエムエイ メーカー 洗浄装置 水耕栽培パネル高圧洗浄機 ぴか介

東洋空気調和株式会社 メーカー 自動洗浄装置サットクリーン

株式会社櫻川ポンプ製作所 メーカー ピット式タイヤ洗浄機

高橋金属株式会社 メーカー 工業用洗浄機

日東精工株式会社 メーカー マイクロバブル洗浄装置一覧

日本アレックス株式会社 メーカー 超音波洗浄装置一覧

超音波工業株式会社 メーカー 超音波洗浄装置一覧

東光技研工業株式会社 メーカー 洗浄装置一覧

壽環境機材株式会社 メーカー 洗浄装置

進和工業株式会社 メーカー 帯電防止洗浄装置

株式会社ブルー・スターR&D メーカー 超音波バリ取り洗浄装置（水系）一覧

株式会社メイワ メーカー リンサー

コーベックス株式会社 メーカー 防爆型自動洗浄装置

株式会社ニンバス メーカー 洗浄器

株式会社平出精密 メーカー 工業用部品洗浄機一覧

ジャパンクリエイト株式会社 メーカー スピン洗浄装置

株式会社中村超硬 メーカー 自動ノズル洗浄機 MAC-Ⅲ

株式会社新和工業 メーカー チェンコンベー式洗浄機

株式会社テクノビジョン メーカー 洗浄装置

株式会社エコートプレシジョン メーカー UVオゾン洗浄改質装置

有限会社シーティータカハタ メーカー 洗浄装置

洗浄装置 2025年8月のメーカーランキング

マイクロバブル洗浄装置 バブ・リモ バレル型

MDテクスチャ加工用 純粋洗浄＆リンス装置

洗浄作業をスピードアップ ジェットワッシャー

ブラシ洗浄と噴射洗浄を採用 ハイブリッド車体洗浄装置

環境と人に優しく、安全で高い洗浄能力を提供 洗浄装置 ACTシリーズ (メタルマスク洗浄装置／スクリーン版洗浄装置)

高圧樹脂治具洗浄装置 マスキング材洗浄装置

ラッピング・ポリッシング装置 ウエハー洗浄装置 ParticleClean

ターレット高圧NC洗浄機

高圧洗浄機 MLKW1511H

ニラ洗浄機 ニラキララ KM-8D

ニラ洗浄機 ニラキララ KM-8DH

小ネギ洗浄機 小ネギキララ SBM-10KW

小ネギ洗浄機 小ネギキララ BM-8KW

100V高圧洗浄機 モータータイプ パワフルエイティー APW-80

設計思想は温水レベル冷水タイプ モータ洗浄機

手間な作業をかんたんでスピーディーにする メタルシート洗浄機 MSW-1000HE

薬品・洗剤を使用しない環境にやさしい洗浄システム 立体部品洗浄装置 噴射式洗浄装置 ECO-WASHER

部品加工屋が開発した小型部品洗浄機 洗浄小町

マスキングゴム付着塗膜剥離装置 『ミニコマMK-2』

ぴか介シリーズ 各種コンテナ洗浄機 ぴかじゅう

水洗＆高圧ブロー水切乾燥装置

シート高圧連続洗浄装置

半導体製造装置 高精細フォトマスク対応 フォトマスク洗浄装置 スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ

人参洗機の決定版 是非お試しを 人参洗機 JS-1300AX

真空ポンプ・洗浄機 エアコン洗浄機

ピット式タイヤ洗浄機 ブラッシュピット (BrushPIT)

基板洗浄装置

三次元回転式ノズル タンク洗浄機 ハイジェット TMSA (E) -150型

三次元回転式ノズル タンク洗浄機 ハイジェット TM-13L型

三次元回転式ノズル タンク洗浄機 ハイジェット TM-13H型

三次元回転式ノズル タンク洗浄機 ハイジェット THA-300型

三次元回転式ノズル タンク洗浄機 クリーンジェット TC-10型

三次元回転式ノズル タンク洗浄機 クリーンジェット TC-X型

三次元回転式ノズル タンク洗浄機 クリーンジェット TC-X Y型

二次元回転式 タンク洗浄機 ローラーボールGRB型 GRB-1A

二次元回転式 タンク洗浄機 ローラーボールGRB型 GRB-1B

二次元回転式 タンク洗浄機 シャワーボール

二次元回転式 タンク洗浄機 PTFE製回転式タンク洗浄ノズル

ドラム缶洗浄機

多種容器洗浄・乾燥装置

トレー洗浄装置 通い箱洗浄機

ローリー車洗浄システム

ガラスケース洗浄機

灯体焼付ゴム剥離装置

重量物部品洗浄機

アンプル・バイアル洗浄機 MODEL GW24

洗浄装置メーカー205社

株式会社イー・スクエアメーカー
PreciseIIダウンストリーム型、プラナー型・スポット型

OKIネクステック株式会社メーカー
洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）

HUGパワー株式会社メーカー
小型蒸気2流体洗浄装置

株式会社ダン科学メーカー
ウェハ洗浄装置、ガラス基板洗浄装置、精密部品洗浄装置

株式会社ケンテックメーカー
ケンテックPCS・汎用洗浄装置

エンバイロ・ビジョン株式会社
洗浄装置一覧

川崎重工業株式会社メーカー
高圧ウォータジェット洗浄機

株式会社マルヤスメーカー
メタルプレッシャー(MP)

株式会社パートナーズコーポレーションメーカー
親綱・ネット洗浄機

有限会社アイエムエイメーカー
洗浄装置水耕栽培パネル高圧洗浄機ぴか介

東洋空気調和株式会社メーカー
自動洗浄装置サットクリーン

株式会社櫻川ポンプ製作所メーカー
ピット式タイヤ洗浄機

高橋金属株式会社メーカー
工業用洗浄機

日東精工株式会社メーカー
マイクロバブル洗浄装置一覧

日本アレックス株式会社メーカー
超音波洗浄装置一覧

超音波工業株式会社メーカー
超音波洗浄装置一覧

東光技研工業株式会社メーカー
洗浄装置一覧

壽環境機材株式会社メーカー
洗浄装置

進和工業株式会社メーカー
帯電防止洗浄装置

株式会社ブルー・スターR&D メーカー
超音波バリ取り洗浄装置（水系）一覧

株式会社メイワメーカー
リンサー

コーベックス株式会社メーカー
防爆型自動洗浄装置

株式会社ニンバスメーカー
洗浄器

株式会社平出精密メーカー
工業用部品洗浄機一覧

ジャパンクリエイト株式会社メーカー
スピン洗浄装置

株式会社中村超硬メーカー
自動ノズル洗浄機 MAC-Ⅲ

株式会社新和工業メーカー
チェンコンベー式洗浄機

株式会社テクノビジョンメーカー
洗浄装置

株式会社エコートプレシジョンメーカー
UVオゾン洗浄改質装置

有限会社シーティータカハタメーカー
洗浄装置

マイクロバブル洗浄装置バブ・リモバレル型

MDテクスチャ加工用純粋洗浄＆リンス装置

洗浄作業をスピードアップ　ジェットワッシャー

ブラシ洗浄と噴射洗浄を採用ハイブリッド車体洗浄装置

環境と人に優しく、安全で高い洗浄能力を提供洗浄装置 ACTシリーズ (メタルマスク洗浄装置／スクリーン版洗浄装置)

高圧樹脂治具洗浄装置　マスキング材洗浄装置

ラッピング・ポリッシング装置ウエハー洗浄装置 ParticleClean

ニラ洗浄機ニラキララ KM-8D

ニラ洗浄機ニラキララ KM-8DH

小ネギ洗浄機小ネギキララ SBM-10KW

小ネギ洗浄機小ネギキララ BM-8KW

100V高圧洗浄機モータータイプパワフルエイティー APW-80

設計思想は温水レベル冷水タイプモータ洗浄機

手間な作業をかんたんでスピーディーにするメタルシート洗浄機 MSW-1000HE

薬品・洗剤を使用しない環境にやさしい洗浄システム立体部品洗浄装置噴射式洗浄装置 ECO-WASHER

部品加工屋が開発した小型部品洗浄機洗浄小町

マスキングゴム付着塗膜剥離装置『ミニコマMK-2』

ぴか介シリーズ各種コンテナ洗浄機ぴかじゅう

半導体製造装置高精細フォトマスク対応フォトマスク洗浄装置スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ

人参洗機の決定版是非お試しを人参洗機 JS-1300AX

真空ポンプ・洗浄機エアコン洗浄機

ピット式タイヤ洗浄機ブラッシュピット (BrushPIT)

三次元回転式ノズルタンク洗浄機ハイジェット TMSA (E) -150型

三次元回転式ノズルタンク洗浄機ハイジェット TM-13L型

三次元回転式ノズルタンク洗浄機ハイジェット TM-13H型

三次元回転式ノズルタンク洗浄機ハイジェット THA-300型

三次元回転式ノズルタンク洗浄機クリーンジェット TC-10型

三次元回転式ノズルタンク洗浄機クリーンジェット TC-X型

三次元回転式ノズルタンク洗浄機クリーンジェット TC-X Y型

二次元回転式タンク洗浄機ローラーボールGRB型 GRB-1A

二次元回転式タンク洗浄機ローラーボールGRB型 GRB-1B

二次元回転式タンク洗浄機シャワーボール

二次元回転式タンク洗浄機 PTFE製回転式タンク洗浄ノズル

トレー洗浄装置通い箱洗浄機

器具除染用洗浄器ウォッシャー・ディスインフェクター AW-150

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