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真空圧力計についての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空圧力計のメーカー22社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空圧力計関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:長野計器株式会社、2位:株式会社テストー、3位:山本計器製造株式会社となっています。
真空圧力計 (英: vacuum pressure gauge) とは、大気圧以下の負圧を測定する圧力測定器のことです。
圧力測定器には、圧力計、連成計、真空計の3種類があり、真空計のことを真空圧力計と呼びます。これらの測定器はそれぞれ測定できる圧力の範囲が異なっており、圧力計は正圧のみ、連成計は限られた範囲の正圧と負圧、真空計は負圧のみを測定できます。
したがって、真空計を負圧以外の測定に使用すると、故障の原因になるので注意が必要です。
真空圧力計は、半導体製造装置のプラズマエッチング空間、冶金、有機合成などの実験設備などに使用されます。また、イオンビーム装置、蒸着装置、表面清浄度が必要な加工設備などの用途もあります。
配管の中の空気を抜いて、真空にした上でガスを充満させるような作業の場合、真空圧力計で真空度を測定します。身近な使用例は、エアコンの新規取付時です。
エアコンの配管内を冷却ガスのみで満たすことで、故障なくエアコンを稼働させられます。
真空圧力を測定する方式は、大きく分けると機械的な現象、気体の輸送現象、及び気体の電離現象の3つがあります。
機械的現象を利用する測定は、U字管マノメーター、マクラウド真空計、ダイヤフラム真空計、ブルドン管真空計、重錘型真空計などで測定が可能です。
U字管マノメータ
ガラス製のU字管の一方を真空に排気して封じた差圧計です。圧力差によって生じる液柱の高さから、気体の圧力差を読み取ることが可能で、気体の種類に左右されないのが特徴です。このため、圧力の絶対値を測定できます。
マクラウド真空計
高真空の圧力を計測するための水銀液柱圧力計です。気体を圧縮して圧力を拡大する機構を備えており、絶対圧力を測定できます。
ダイヤフラム真空計
ダイヤフラムの圧力による変形量を機械的、光学的、電気的に読み取る方式です。
気体の輸送現象を利用した真空圧力計が熱伝導真空計です。気体の熱伝導率は圧力によって変化するという性質を利用しています。
熱伝導真空計にも多くの種類があり、ピラニ真空計、サーミスタ真空計、熱電対真空計などです。熱伝導真空計の注意点は、高真空になると熱伝導率よりも熱放射の影響が大きくなることです。そのため、熱伝導真空計は高真空の測定には利用できないというデメリットがあります。
ピラニ真空計は、電気抵抗の変化を検出する計測器です。細い白金の抵抗線に電流を流し、気体分子の衝突によって奪われる熱による白金抵抗の変化をブリッジ回路で検出する方式です。
気体の電離現象を利用して真空を測定する方式です。熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射線真空計などの種類があります。
熱陰極電離真空計
熱陰極から熱電子を放出することにより、気体を電離し、生成したイオンを測定します。
冷陰極電離真空計
冷陰極放電により気体を電離し、イオンを測定する方式です。
放射線真空計
放射線によって生成されたイオンを測定します。
真空圧力計には数多くの種類があるため、目的に合った真空計を適切に選択する必要があります。計測する目的の真空空間の真空度は、低真空、中真空、高真空、超高真空などの区分があります。
U字管水銀マノメータややダイヤフラム真空計は、低真空の領域で測定できます。マクラウド真空計は、高真空から低真空までの測定が可能です。
ピラニ真空計は、低真空から中真空の領域、電離真空計は中真空から超高真空までの領域を測定します。
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト3
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 長野計器株式会社 |
72.7%
|
| 2 | 株式会社テストー |
18.2%
|
| 3 | 山本計器製造株式会社 |
9.1%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月の真空圧力計ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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17 点の製品がみつかりました
三弘エマテック株式会社
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5.0 会社レビュー
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■特徴 ・スマートフォンとのダイレクト接続：USBケーブルによりスマートフォンとダイレクト接続が可能、その他の設備は不要 ※パソコンとの接続も可能 ・AC電...
ビカ・ジャパン株式会社
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■製品説明 ダイアフラムシールシステムは、浸透、接着剤、結晶化、腐食性、高粘度、環境に有害、または有毒な媒体から圧力測定装置を保護するために使用され...
ビカ・ジャパン株式会社
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■適用 ・高い安全性 ・脈動や振動の大きい箇所 (液封タイプ) ・気体および低粘度もしくは結晶を生じない浸食性の液体の計測、腐食雰囲気下での計測 ・プロセ...
ビカ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・優れた負荷サイクルの安定性及び衝撃耐性 ・全てステンレススチール製 ・German LloydとGossandartの承認取得済み ・0〜1,600 barまでのスケール範囲...
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■特徴 ・全てステンレス製 ・オーバプレッシャーへの安全性 ・装置側ネジ接続又はフランジ接続 ・幅広い特殊材料の選択可能 ・圧力測定範囲 0 ... 16 mbar ■...
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■特徴 ・高い信頼性と低コスト ・適用規格 EN837-1 ・呼び径40, 50, 63, 80, 100,16 ・スケールレンジ最大0 - 400bar ■用途 ・粘度や結晶性が高くなく、銅合...
ビカ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・パネル取付タイプに特化 ・高い信頼性と低コスト ・適用規格 EN837-1 ・サイズはφ40、φ50、φ63 ・スケールレンジ 最大 0 ... 400 bar ■用途 ・粘度...
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■概要 モデル113.13は、プラスチックケースを備えた液体充填機械式圧力計です。液体の充填は、内部部品の減衰を起こし、耐振動性および耐衝撃性の向上に寄与...
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■特徴 ・振動やショックへの対応 ・頑丈なデザイン ・ステンレス製ケース、液体封入 ・圧力レンジ、 0 ... 600 barまで ■用途 ・高い動圧脈動又は振動を伴う...
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■特徴 ・振動 衝撃に強い ・特に頑丈な設計 ・サイズ 63, 100はGerman LloydとGossandartの承認取得済み ・0 ... 1,000 barまでのスケール範囲 ■用途 ・脈動...
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■製品説明 intelliGAUGEのPGT23 (数ある特許の中でヨーロッパ特許№06113003に特許申請済み。) はプロセス圧力の現場指示を行い、同時に中央制御装置や遠隔制...
ビカ・ジャパン株式会社
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■製品説明 モデルPGT 21intelliGAUGE®は、ブルドン管圧力計と圧力トランスミッタを組み合わせたﾓﾃﾞﾙです。これは、現場でプロセス圧力を読み取ることができる...
ビカ・ジャパン株式会社
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■製品説明 限られたスペースで、プロセス圧力を現場表示すると同時に、信号を中央コントローラまたは遠隔制御室に送信したい場合は、モデルPGT23.063 intelli...
ビカ・ジャパン株式会社
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■製品説明 非常に低い圧力を現場表示すると同時に、信号を中央コントローラまたは遠隔制御室にｼｸﾞﾅﾙ送信したい場合は、モデルPGT63HP.1x0 intelliGAUGE (米国...
ビカ・ジャパン株式会社
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■製品説明 モデルPGS43.1x0はプロセスにおいて圧力と同時に電気回路の開閉を表示しなければならない場合にどこでもご使用頂けます。スイッチ接点の電気制御回...
有限会社桐山製作所
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通信機能、BCD出力等オプション機能も充実させ、各種制御・FA化に貢献します。
Metoreeに登録されている真空圧力計が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
KDM30シリーズは、工場等の配管やタンク内の気体及び液体の圧力を測定するデジタル圧力計です。表示部の回転と本体の首振り角度を各最大330°にしたフレキシブ...
2022年10月11日
