制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
真空圧力計のメーカー21社一覧や企業ランキングを掲載中！真空圧力計関連企業の2025年11月注目ランキングは1位:SMC株式会社、2位:長野計器株式会社です。
真空圧力計 (英: vacuum pressure gauge) とは、大気圧以下の負圧を測定する圧力測定器のことです。
圧力測定器には、圧力計、連成計、真空計の3種類があり、真空計のことを真空圧力計と呼びます。これらの測定器はそれぞれ測定できる圧力の範囲が異なっており、圧力計は正圧のみ、連成計は限られた範囲の正圧と負圧、真空計は負圧のみを測定できます。
したがって、真空計を負圧以外の測定に使用すると、故障の原因になるので注意が必要です。
関連キーワード
項目別
使用用途
#半導体製造
#化学プロセス
#製造工程監視
測定原理
ブルドン管型
熱電導型
放電電流型
イオン化型
静電容量型
測定範囲
低真空型
高真空型
超高真空型
表示方式
アナログ
デジタル
ハイブリッド
測定範囲 Pa
-100,000 - 0
0 - 100
100 - 1,000
1,000 - 10,000
10,000 - 100,000
100,000 - 1,000,000
1,000,000 - 40,000,000
精度 %F.S.
0 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
16 - 31
使用温度範囲 ℃
0 - 10
10 - 40
40 - 50
50 - 60
電源 V
13 - 15
15 - 20
20 - 30
30 - 36
保護等級
30 - 40
40 - 55
55 - 65
質量 g
0 - 500
500 - 1,000
株式会社高島計器
370人以上が見ています
最新の閲覧: 44分前
■小形圧力計 KGタイプ ・機器、装置への組込みにピッタリサイズの小形圧力計 ・最高圧力範囲は、0.1～40Mpa (大きさ40、50) の超ワイド ...
株式会社テストー
540人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
23.2時間 返答時間
Bluetooth対応 testo 552i 真空計は、冷媒のロスなく、1つのサービスポートを介して真空を迅速、簡単、高精度で測定します。 専用アプリ...
入江株式会社
580人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
評判の良い企業
4.4 会社レビュー
100.0% 返答率
9.6時間 返答時間
■概要 気体の熱伝導を利用した熱伝導式の真空計で中真空領域 (1.0×10⁻¹～2.0×10³Pa) が測定可能。 ■特長 本製品は気体の熱伝導を利用し...
三弘エマテック株式会社
400人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
21.3時間 返答時間
■製品説明 セラミック (アルミナ) でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出する真空計で...
4種類の品番
旭計器工業株式会社
30人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
13.7時間 返答時間
■概要 本圧力計は、負圧 (真空) がかかる計測場所で真空が精度良く読み取れ、かつ大きな正圧もかかる場合に用いる圧力計です。 ■特徴 ...
A-Gas Japan 株式会社
180人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
評判の良い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
43.2時間 返答時間
■特徴 ・80φ置針 ・水蒸発温度目盛付 ・置針付
3種類の品番
長野計器株式会社
180人以上が見ています
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
13.9時間 返答時間
■ブルドン管式圧力計 屋内形 JIS B 7505-1 ブルドン管圧力計に対応しています。ブルドン管の弾性変形 (動き) を指針に伝える構造の圧力...
長野計器株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
13.9時間 返答時間
■高耐振・高耐久タイプ 本器は、内部機構を充填液に浸漬した圧力計で、ステンレス鋼製のケース内に充填したグリセリンが可動部の振動を...
長野計器株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
13.9時間 返答時間
本器は、特に高精度用として設計したステンレス製ブルドン管を使用した圧力計であり、またケースは計器内部に埃等が入らないよう防埃構...
長野計器株式会社
60人以上が見ています
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
13.9時間 返答時間
負圧・陰圧 監視システム (陰圧室、隔離室) 内部の空気を外に漏らさない陰圧ルームの微圧 (陰圧) を常時監視する装置です。微圧用データ...
株式会社三津海製作所
230人以上が見ています
最新の閲覧: 15分前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
29.5時間 返答時間
真空ポンプ・コンプレッサー用の真空計・圧力計です。
7種類の品番
アルバック販売株式会社
560人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
評判のとても良い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
123.7時間 返答時間
■概要 CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパ...
株式会社テストー
680人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
23.2時間 返答時間
testo 552BT は、冷凍空調システムやヒートポンプの真空引き時のゲージ圧を測定するデジタル真空計です。真空引きに必要な測定機能を備...
株式会社YTK
130人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
14.0時間 返答時間
ビカ・ジャパン株式会社
250人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
22.6時間 返答時間
■適用 ・高い安全性 ・脈動や振動の大きい箇所 (液封タイプ) ・気体および低粘度もしくは結晶を生じない浸食性の液体の計測、腐食雰囲...
バキュームプロダクツ株式会社
450人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
0.0% 返答率
100.0時間 返答時間
■概要 水晶式隔膜真空計・クオーツゲージは、高精度・高感度な水晶振動式圧電素子と独創的な自社特許の感圧・断熱機構により0.1Paから10...
三弘エマテック株式会社
660人以上が見ています
最新の閲覧: 22時間前
返信の比較的早い企業
評判のとても良い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
21.3時間 返答時間
■特徴 ・スマートフォンとのダイレクト接続：USBケーブルによりスマートフォンとダイレクト接続が可能、その他の設備は不要 ※パソコンと...
株式会社高島計器
510人以上が見ています
最新の閲覧: 39分前
■概要 ・機器、装置への組込みにピッタリサイズの小形圧力計 ・最高圧力範囲は、0.1～40Mpa (大きさ40、50) の超ワイド ・空圧機器から...
アルバック販売株式会社
540人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
評判のとても良い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
123.7時間 返答時間
■概要 異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。B-A型電...
有限会社桐山製作所
410人以上が見ています
最新の閲覧: 35分前
100.0% 返答率
192.1時間 返答時間
通信機能、BCD出力等オプション機能も充実させ、各種制御・FA化に貢献します。
ビカ・ジャパン株式会社
250人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
22.6時間 返答時間
■特徴 ・優れた負荷サイクルの安定性及び衝撃耐性 ・全てステンレススチール製 ・German LloydとGossandartの承認取得済み ・0〜1,600 b...
アルバック販売株式会社
430人以上が見ています
最新の閲覧: 33分前
評判のとても良い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
123.7時間 返答時間
■概要 センサユニット (SP1) は、G-TRANシリーズのピラニゲージ型の計測ユニットです。センサユニットは、「測定子と回路部が一体型 (測...
ビカ・ジャパン株式会社
250人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
22.6時間 返答時間
■特徴 ・高い信頼性と低コスト ・適用規格 EN837-1 ・呼び径40, 50, 63, 80, 100,16 ・スケールレンジ最大0 - 400bar ■用途 ・粘度や結...
有限会社桐山製作所
380人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
100.0% 返答率
192.1時間 返答時間
ビカ・ジャパン株式会社
240人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
22.6時間 返答時間
■概要 モデル113.13は、プラスチックケースを備えた液体充填機械式圧力計です。液体の充填は、内部部品の減衰を起こし、耐振動性および...
ビカ・ジャパン株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
22.6時間 返答時間
■特徴 ・パネル取付タイプに特化 ・高い信頼性と低コスト ・適用規格 EN837-1 ・サイズはφ40、φ50、φ63 ・スケールレンジ 最大 0 ... 40...
アルバック販売株式会社
390人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
評判のとても良い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
123.7時間 返答時間
■概要 G-TRANシリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。フィラメントを使用しないため、の消耗、破損の心配がありません...
アルバック販売株式会社
340人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
評判のとても良い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
123.7時間 返答時間
■概要 本ディスプレイは、G-TRAN全シリーズの真空計、およびCCMシリーズ対応の1チャンネルディスプレイです。測定ユニットと接続するこ...
ビカ・ジャパン株式会社
210人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
22.6時間 返答時間
■特徴 ・振動やショックへの対応 ・頑丈なデザイン ・ステンレス製ケース、液体封入 ・圧力レンジ、 0 ... 600 barまで ■用途 ・高い動...
ビカ・ジャパン株式会社
270人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
22.6時間 返答時間
■特徴 ・振動 衝撃に強い ・特に頑丈な設計 ・サイズ 63, 100はGerman LloydとGossandartの承認取得済み ・0 ... 1,000 barまでのスケー...
真空圧力計 (英: vacuum pressure gauge) とは、大気圧以下の負圧を測定する圧力測定器のことです。
圧力測定器には、圧力計、連成計、真空計の3種類があり、真空計のことを真空圧力計と呼びます。これらの測定器はそれぞれ測定できる圧力の範囲が異なっており、圧力計は正圧のみ、連成計は限られた範囲の正圧と負圧、真空計は負圧のみを測定できます。
したがって、真空計を負圧以外の測定に使用すると、故障の原因になるので注意が必要です。
真空圧力計は、半導体製造装置のプラズマエッチング空間、冶金、有機合成などの実験設備などに使用されます。また、イオンビーム装置、蒸着装置、表面清浄度が必要な加工設備などの用途もあります。
配管の中の空気を抜いて、真空にした上でガスを充満させるような作業の場合、真空圧力計で真空度を測定します。身近な使用例は、エアコンの新規取付時です。
エアコンの配管内を冷却ガスのみで満たすことで、故障なくエアコンを稼働させられます。
真空圧力を測定する方式は、大きく分けると機械的な現象、気体の輸送現象、及び気体の電離現象の3つがあります。
機械的現象を利用する測定は、U字管マノメーター、マクラウド真空計、ダイヤフラム真空計、ブルドン管真空計、重錘型真空計などで測定が可能です。
U字管マノメータ
ガラス製のU字管の一方を真空に排気して封じた差圧計です。圧力差によって生じる液柱の高さから、気体の圧力差を読み取ることが可能で、気体の種類に左右されないのが特徴です。このため、圧力の絶対値を測定できます。
マクラウド真空計
高真空の圧力を計測するための水銀液柱圧力計です。気体を圧縮して圧力を拡大する機構を備えており、絶対圧力を測定できます。
ダイヤフラム真空計
ダイヤフラムの圧力による変形量を機械的、光学的、電気的に読み取る方式です。
気体の輸送現象を利用した真空圧力計が熱伝導真空計です。気体の熱伝導率は圧力によって変化するという性質を利用しています。
熱伝導真空計にも多くの種類があり、ピラニ真空計、サーミスタ真空計、熱電対真空計などです。熱伝導真空計の注意点は、高真空になると熱伝導率よりも熱放射の影響が大きくなることです。そのため、熱伝導真空計は高真空の測定には利用できないというデメリットがあります。
ピラニ真空計は、電気抵抗の変化を検出する計測器です。細い白金の抵抗線に電流を流し、気体分子の衝突によって奪われる熱による白金抵抗の変化をブリッジ回路で検出する方式です。
気体の電離現象を利用して真空を測定する方式です。熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射線真空計などの種類があります。
熱陰極電離真空計
熱陰極から熱電子を放出することにより、気体を電離し、生成したイオンを測定します。
冷陰極電離真空計
冷陰極放電により気体を電離し、イオンを測定する方式です。
放射線真空計
放射線によって生成されたイオンを測定します。
真空圧力計には数多くの種類があるため、目的に合った真空計を適切に選択する必要があります。計測する目的の真空空間の真空度は、低真空、中真空、高真空、超高真空などの区分があります。
U字管水銀マノメータややダイヤフラム真空計は、低真空の領域で測定できます。マクラウド真空計は、高真空から低真空までの測定が可能です。
ピラニ真空計は、低真空から中真空の領域、電離真空計は中真空から超高真空までの領域を測定します。
