真空計セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ-CCMT-1000D

真空計セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明セラミック  (アルミナ) でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出する真空計です。センサ部はセラミックによる一体構造となり、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく (絶対圧真空計) 、精度良く測定出来ます。

■用途・成膜装置のプロセス中の圧力モニタ
・真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタ
・太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタ
・ガス置換、ガス封入などの圧力モニタ
・加圧還元炉などの加圧真空システム

特徴
・長期間にわたる安定性
・セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性
・温度補償回路内蔵タイプ
・汚れからセンサを保護する構造を新規採用
・プッシュボタンによる0点調整が可能

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
真空計セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ

取扱企業
三弘エマテック株式会社

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真空計セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ品番4件

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品番	価格 (税抜)	メーカー	測定フルスケール	測定下限圧力	実用測定下限圧力	分解能	精度	温度係数ゼロ電圧	温度係数スパン電圧	使用温度範囲	応答速度	接ガス部材質	入力電源	出力	質量	外形寸法	フィッティング	温度補償	入出力コネクタ
CCMT-1000D	要見積もり	(株) アルバック	133kPa F.S.	13Pa	66.6Pa	フルケースに対し0.003%	指示値に対し±0.2% ±温度係数	0.015% F.S. / ℃	0.01% R / ℃	10~50℃	30ms以下	Al2O3、Vacon70 2、SUS316 3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田	DC14~30V, 1W	DC 0~10VF.S	329g (直径12.7・標準型)	直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)	直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR	温度補償回路内臓	D-sub 15ピンオス
CCMT-100D	要見積もり	(株) アルバック	13.3kPa F.S.	1.3Pa	6.7Pa	フルケースに対し0.003%	指示値に対し±0.2% ±温度係数	0.015% F.S. / ℃	0.01% R / ℃	10~50℃	30ms以下	Al2O3、Vacon70 2、SUS316 3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田	DC14~30V, 1W	DC 0~10VF.S	329g (直径12.7・標準型)	直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)	直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR	温度補償回路内臓	D-sub 15ピンオス
CCMT-10D	要見積もり	(株) アルバック	1.33kPa F.S.	0.13Pa	0.67Pa	フルケースに対し0.003%	指示値に対し±0.2% ±温度係数	0.015% F.S. / ℃	0.01% R / ℃	10~50℃	30ms以下	Al2O3、Vacon70 2、SUS316 3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田	DC14~30V, 1W	DC 0~10VF.S	329g (直径12.7・標準型)	直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)	直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR	温度補償回路内臓	D-sub 15ピンオス
CCMT-1D	要見積もり	(株) アルバック	133Pa F.S.	1.3×10-2Pa	6.7×10-2Pa	フルケースに対し0.003%	指示値に対し±0.2% ±温度係数	0.015% F.S. / ℃	0.01% R / ℃	10~50℃	30ms以下	Al2O3、Vacon70 2、SUS316 3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田	DC14~30V, 1W	DC 0~10VF.S	329g (直径12.7・標準型)	直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)	直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR	温度補償回路内臓	D-sub 15ピンオス