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卓上型 マスクアライナ EMA-400-EMA-400
卓上型 マスクアライナ EMA-400-ユニオン光学株式会社

卓上型 マスクアライナ EMA-400
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この製品について

■概要

本製品は、省スペースで手軽に扱え、しかも高性能・低価格、大学・企業研究室用として最適なマスクアライナです.本製品の特徴は、このクラスとして初めて双対物顕微鏡、インテグレータレンズ (照明系) を採用し、精度の高いアライメントと、焼き付けが行うことができます。

■特徴

・2視野顕微鏡の採用 ・観察光源にLED採用 ・インテグレータレンズの採用

■用途 (民間の研究所・大学研究室等のマイクロマシン研究開発用に)

・溶剤・新素材、アクチュエーター、圧力センサ、加速度センサ、パワーデバイス等 ・フリップ・チップ/BGA/CSP用の加工に ・光通信/高速通信コンポーネントの加工に

  • シリーズ

    卓上型 マスクアライナ EMA-400

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卓上型 マスクアライナ EMA-400 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) マスクサイズ ウエハサイズ 露光照明 露光モード 解像度 アライメントスコープ ウエハステージ アライメント方式 アライメント精度 設置サイズ 設置重量 ユーティリティ
卓上型 マスクアライナ EMA-400-品番-EMA-400

EMA-400

要見積もり

□5インチ

φ4インチ

250W超高圧水銀灯
光学方式インテグレータレンズ方式
照度ムラ±5％以下
照度20mW/cm2 (405nm)
有効露光範囲φ100mm
露光量:デジタルタイマによるロータリーソレノイド駆動

ソフトコンタクト

3μm

双対物顕微鏡
10倍対物レンズ2個 (N.A.=0.15,W.D.=30mm)
対物間隔15~75mm
総合倍率100倍

XYステージストローク±5mm
θ回転ストローク±5°
Z軸ストローク0~4mm

ウェハステージ移動によるマニュアルアライメント

±3μm

735 (W) x490 (D) x605 (H) mm

約90kg

電源AC100V/15A50/60Hz
真空 (圧力) 21.3kPa (大気より-80kPa)

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使用用途

#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ

露光方式

マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型

光源種類

水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型

解像方式

接触露光型 近接露光型 投影露光型

搬送方式

ステージ移動型 ロール搬送型

対応サイズ

大型基板対応型 中小型基板対応型

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ユニオン光学株式会社は、2010年に設立された、精密光学機器、測定機器、検査機器、半導体製造装置などを扱うメーカーです。 設立以来販売する、超高倍率ズームマイクロスコープなどの顕微鏡は、理化学研究所でも使用されるなど、...

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