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ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置 STNTRON HSR-351シリーズ取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
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2024年9月9日にレビュー済み
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 形成膜 | 膜厚分布 | スパッタ方式 | 電極間距離 | ターゲットホルダー | 基板サイズ | 基板取付枚数 | 回転数 | ヒーター | 主ポンプ | 補助ポンプ | 到達圧力 | ガス導入系 | 高周波電源 | 冷却水 温度 | 冷却水 流水 | 冷却水 圧力 | スパッタ用Arガス | チャンバーリーク用N2ガス | ポンプリーク用N2ガス | 圧空 | ポンプ排気 許容排気口圧力 | 電源 | アース | 重量 | 設置面積 | 到達圧力 ロードロック室 | 到達圧力 スパッタ室 | オプション | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
HSR-351 |
要見積もり |
島津産機システムズ (株) |
金属、絶縁物等 |
回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10% |
デポアップ |
70~110mm |
2インチ 3基 |
回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm |
1枚 |
MAX20rpm |
MAX300℃ (基板表面) |
油拡散真空ポンプ (DP) |
油回転真空ポンプ (RP) |
10-4Pa台 |
Ar-マスフローコントローラー (MFC) 1系統 |
13.6MHz 200W |
5~25℃ |
6L/min |
0.2~0.3MPa・G |
0.1~0.2MPa・G |
0.1~0.2MPa・G (空気でも可) |
0.02MPa・G (空気でも可) |
0.4~0.5MPa・G |
20kPa・G以下 |
AC200V、3Φ、60Hz、5KVA |
Aタイプ |
480Kg |
W1,930mm×D1,100mm×H1,650mm |
- | - |
オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構 |
|
|
|
HSR-351L (ロードロック付き) |
要見積もり |
島津産機システムズ (株) |
金属、絶縁物等 |
回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10% |
デポアップ |
70~110mm |
2インチ 3基 |
回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm |
1枚 |
MAX20rpm |
MAX300℃ (基板表面) |
油拡散真空ポンプ (DP) |
油回転真空ポンプ (RP) |
- |
Ar-マスフローコントローラー (MFC) 1系統 |
13.6MHz 200W |
5~25℃ |
6L/min |
0.2~0.3MPa・G |
0.1~0.2MPa・G |
0.1~0.2MPa・G (空気でも可) |
0.02MPa・G (空気でも可) |
0.4~0.5MPa・G |
20kPa・G以下 |
AC200V、3Φ、60Hz、5KVA |
Aタイプ |
500Kg |
W2,800mm×D1,100mm×H1,650mm |
6.7Pa |
10-4Pa台 |
オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構 |
