HSR-351L (ロードロック付き) | ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置 STNTRON HSR-351シリーズ
三弘エマテック株式会社
価格 (税抜)
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アース
ガス導入系
スパッタ方式
スパッタ用Arガス
ターゲットホルダー
チャンバーリーク用N2ガス
ヒーター
ポンプリーク用N2ガス
ポンプ排気 許容排気口圧力
メーカー
主ポンプ
冷却水 圧力
冷却水 流水
冷却水 温度
到達圧力
回転数
圧空
基板サイズ
基板取付枚数
形成膜
膜厚分布
補助ポンプ
設置面積
重量
電極間距離
電源
高周波電源
到達圧力 スパッタ室
到達圧力 ロードロック室
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型番
HSR-351L (ロードロック付き)
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取扱企業
三弘エマテック株式会社
スパッタリング装置注目ランキング
スパッタリング装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置 STNTRON HSR-351シリーズ HSR-351L (ロードロック付き) の性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | アース | ガス導入系 | スパッタ方式 | スパッタ用Arガス | ターゲットホルダー | チャンバーリーク用N2ガス | ヒーター | ポンプリーク用N2ガス | ポンプ排気 許容排気口圧力 | メーカー | 主ポンプ | 冷却水 圧力 | 冷却水 流水 | 冷却水 温度 | 到達圧力 スパッタ室 | 到達圧力 ロードロック室 | 回転数 | 圧空 | 基板サイズ | 基板取付枚数 | 形成膜 | 膜厚分布 | 補助ポンプ | 設置面積 | 重量 | 電極間距離 | 電源 | 高周波電源 | オプション |
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要見積もり | Aタイプ | Ar-マスフローコントローラー (MFC) 1系統 | デポアップ | 0.1~0.2MPa・G | 2インチ 3基 | 0.1~0.2MPa・G (空気でも可) | MAX300℃ (基板表面) | 0.02MPa・G (空気でも可) | 20kPa・G以下 | 島津産機システムズ (株) | 油拡散真空ポンプ (DP) | 0.2~0.3MPa・G | 6L/min | 5~25℃ | 10-4Pa台 | 6.7Pa | MAX20rpm | 0.4~0.5MPa・G | 回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm | 1枚 | 金属、絶縁物等 | 回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10% | 油回転真空ポンプ (RP) | W2,800mm×D1,100mm×H1,650mm | 500Kg | 70~110mm | AC200V、3Φ、60Hz、5KVA | 13.6MHz 200W | オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構 |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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