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スパッタリング装置の製品91点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 基板台 / 搬送方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 搬送操作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 | ターゲット / サイズ x 個数 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SRL3320 |
要見積もり |
¢180mm x 1枚 |
プレーナマグネトロン |
¢75m x 3ヶ |
アップ |
◯ |
基板台で300℃ |
±5%以内 (¢50) |
トランスファーロッド |
8.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで25分以内 |
ターボ分子ポンプ |
自動 |
手動 |
半自動 (タイマー式) |
500W |
オプション |
2系統 |
- | ||
SDL4320 |
要見積もり |
¢200mm x 1枚 |
プレーナマグネトロン |
¢100mm x 3ヶ |
アップ |
◯ |
基板台で300℃ |
±10%以内 (¢180) |
トランスファーロッド |
8.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 |
ターボ分子ポンプ |
自動 |
手動 |
半自動 (タイマー式) |
オプション |
3kW |
2系統 |
- | ||
STL5520 |
要見積もり |
¢200mm x 1枚 |
プレーナマグネトロン |
¢75m x 5ヶ |
アップ |
◯ |
基板台で700℃ |
±10%以内 (¢200) |
多段式ロッド |
8.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 |
ターボ分子ポンプ |
自動 |
自動 |
自動 |
500W |
3kW |
2系統 |
- | ||
|
SRV3100 |
要見積もり |
¢100mm |
プレーナマグネトロン |
¢75m x 1ヶ |
アップ |
- |
基板台で200℃ |
±10%以内 (¢50) |
- |
5.0 x 10-⁴Pa以下 |
9.9 x 10-⁴Paまで20分以内 |
油拡散ポンプ |
手動 |
- |
手動 (タイマー式) |
500W |
オプション |
1系統 |
- | |
|
|
SRV3300 |
要見積もり |
¢190mm |
プレーナマグネトロン |
¢75m x 3ヶ |
ダウン |
◯ |
基板台で300℃ |
±5%以内 (¢180) |
- |
5.0 x 10-⁴Pa以下 |
9.9 x 10-⁴Paまで20分以内 |
油拡散ポンプ |
手動 |
- |
手動 (タイマー式) |
500W |
オプション |
2系統 |
- | |
|
SRV4320 |
要見積もり |
¢280mm |
プレーナマグネトロン |
- |
アップ |
◯ |
基板台で300℃ |
±5%以内 (¢200) |
- |
5.0 x 10-⁴Pa以下 |
9.9 x 10-⁴Paまで20分以内 |
ターボケヱポンプ |
手動 |
- |
手動 (タイマー式) |
1kW |
オプション |
2系統 |
¢100mm x 3ヶ |
