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薄膜形成装置 ロードロックスパッタリング装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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スパッタリング装置の製品123点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を2件表示しています
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 基板台 / 搬送方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
STL5321 |
要見積もり |
¢270mmトレイX16枚 |
プレーナマグネトロン |
¢100mm x 3ヶ |
ダウン |
◯ |
基板台で500℃ |
±10%以内 (¢210) |
Rθロボット |
2.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 |
ターボ分子ポンプ |
自動 |
自動 |
500W |
3kW |
2系統 |
|
STL5311 |
要見積もり |
¢100mmウェハ x 3枚 |
プレーナマグネトロン |
¢100mm x 3ヶ |
アップ |
◯ |
基板台で500℃ |
±10%以内 (¢90) |
伸縮アーム |
2.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 |
クライオポンプ |
自動 |
自動 |
500W |
3kW |
2系統 |
スパッタリング装置の中で同じ条件の製品
対象搬送方式: 回転基板型
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800