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薄膜形成装置 ロードロックスパッタリング装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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スパッタリング装置の製品75点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 基板台 / 搬送方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
STL5321 |
要見積もり |
¢270mmトレイX16枚 |
プレーナマグネトロン |
¢100mm x 3ヶ |
ダウン |
◯ |
基板台で500℃ |
±10%以内 (¢210) |
Rθロボット |
2.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 |
ターボ分子ポンプ |
自動 |
自動 |
500W |
3kW |
2系統 |
|
STL5111 |
要見積もり |
¢270mmトレイ x 16枚 |
RMC |
¢350mm x 1ヶ |
アップ |
オプション |
基板台で500℃ |
±5%以内 (¢200) |
Rθロボット |
2.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 |
クライオポンプ |
自動 |
自動 |
オプション |
15kW |
2系統 |
||
STL5311 |
要見積もり |
¢100mmウェハ x 3枚 |
プレーナマグネトロン |
¢100mm x 3ヶ |
アップ |
◯ |
基板台で500℃ |
±10%以内 (¢90) |
伸縮アーム |
2.0 x 10-⁵Pa以下 |
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 |
クライオポンプ |
自動 |
自動 |
500W |
3kW |
2系統 |
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