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RASシリーズ最高の生産性を誇る最新機種 大型基板用スパッタ装置 RAS-2200-RAS-2200
RASシリーズ最高の生産性を誇る最新機種 大型基板用スパッタ装置 RAS-2200-株式会社シンクロン

RASシリーズ最高の生産性を誇る最新機種 大型基板用スパッタ装置 RAS-2200
株式会社シンクロン

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この製品について

■概要

RASシリーズ史上最高の生産性を実現することを目的に開発された装置です。 ドラムの大型化と装置のコンパクト化の両立を実現させた、面積生産性の面で非常に優れた装置です。RAS-2200は、これまで培った弊社RAS技術を最大限生かし、光学薄膜の世界に、新たなメリットを提供します。

■特徴

・大型ドラム採用により、基板搭載量の向上や大型基板の成膜対応が可能です ・独自開発のロードロック式基板ホルダー搬送方式により、タクトタイムの無駄を最大限削減します ・抵抗加熱蒸着源を追加し、反射防止膜と防汚膜の一貫成膜を行うことができます ・曲面形状基板への成膜対応が可能です ・コンパクトな設計により、メンテナンス性を向上させました

■主な用途

・表面の制御 ・色の制御 ・反射防止膜、硬質膜、加飾膜、各種光学フィルター等 ・車載、スマホ等のディスプレー用カバーガラス ・スマホ等のカメラ用カバーガラス

  • シリーズ

    RASシリーズ最高の生産性を誇る最新機種 大型基板用スパッタ装置 RAS-2200

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RASシリーズ最高の生産性を誇る最新機種 大型基板用スパッタ装置 RAS-2200 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板ドラムサイズ ラジカル源 スパッタ源 排気システム オプション
RASシリーズ最高の生産性を誇る最新機種 大型基板用スパッタ装置 RAS-2200-品番-RAS-2200

RAS-2200

要見積もり

φ1,800 x 1,500mm

ICP RFラジカル源 x3基

Dual Cathode 68″ Rotary cathode

【CH-1】あらびきユニット 【CH-2】14 インチTMP x 6、マイスナトラップ、あらびきユニット

AFS機構・CH-2、基板加熱機構・CH-1

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スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社シンクロン

会社概要

株式会社シンクロンは、1960年に設立された、真空薄膜形成装置等の開発・設計・製造を行う企業です。 1951年に有限会社真空器械研究所として創業して以来、真空を用いた薄膜形成技術による製品の開発・製造を進めています。主...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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