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スパッタリング装置の製品105点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板ドーム | スパッタソース | スパッタ電源 | 排気システム |
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CSS-2 |
要見積もり |
Φ650mm |
マグネトロンスパッタソース (Φ10インチ) ×3 |
RF電源×3 |
前室:あらびきポンプ 成膜室:ターボ分子ポンプ1基 + スーパートラップ |
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