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スパッタリング装置の製品119点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 成膜室径 | スパッタ用電源 | 基板形状 | 膜厚分布 | ターゲット寸法 | ターゲット個数 | 移動可能距離 | 基板回転 | 基板上下吊上機構 | 基板加熱 | 真空排気系 | 操作方法 | ガス系統 | ユーティリティ 動力 | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ 計装エアー | ユーティリティ 寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
対向陰極型マグネトロンスパッタ装置 |
要見積もり |
×10-5Pa以下※常温・無負荷・脱ガス時 |
内径φ260mm×500mmH SUS304 電解研磨 |
DC電源 120W 2台 |
□10mm×1枚 |
±3%以内 |
2インチ (金属) |
4 |
前後：40~80mm |
有り |
基板取付時チャンバ内部での交換取付は隙間がなく困難なため、基板ホルダーをチャンバ上部に吊上げて基板交換が可能 |
常温~500℃迄昇温可能 |
油回転ポンプ：333L/min[50Hz] |
自動/手動選択可能 |
マスフローコントローラ 2系統 |
AC200V三相 5.0kVA |
5L/min以上0.1MPa以上0.15MPa以下25℃以下循環 |
0.5MPa以上 |
装置本体：1,100mmW×700mmD× (1,960) mmH |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
