直線移動式スパッタ装置 SP-35000D
株式会社サンバック

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この製品について

直線移動式スパッタ装置SP-35000Dは大型の基材取付台が、長方形のターゲットの下を直線的に移動します。大型の基材取付台は、少数の大型基材から多数の小型基材まで、基材の大きさは自由に選べます。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	到達圧力	排気速度	成膜室径	スパッタ用電源	基板形状	膜厚分布	ターゲット寸法	ターゲット個数	基板回転	基板加熱	真空排気系	操作方法	ガス系統	ユーティリティ動力	ユーティリティ冷却水	ユーティリティ計装エアー	ユーティリティ寸法
	SP-35000D	要見積もり	×10-4Pa台※常温・無負荷・脱ガス時	×10-4Pa台迄15分以内※常温・無負荷・脱ガス時	1,850mmW×600mmD×260mmH SUS304 電解研磨	DC電源 5kW 3台逆スパッタ用RF電源 13.56MHz 1kW 自動 1台	300mm×500mm 1枚	±10%以内	100mm×450mm (金属)	3	300mm×500mm 直線移動	常温~250℃迄昇温可能	油回転ポンプ：1,800L/min クライオポンプ：3,100L/sec	自動	マスフローコントローラ 1系統	AC200V三相20kVA	15L/min以上0.1MPa以上0.15MPa以下25℃以下循環	0.5MPa以上	4,000mmW×2,000mmD×1,800mmH