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スパッタリング装置の製品119点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気速度 | 成膜室径 | スパッタ用電源 | バイアス | 基板形状 | 膜厚分布 | ターゲット寸法 | ターゲット個数 | 基板回転 | 基板加熱 | 真空排気系 | 操作方法 | ガス系統 | ユーティリティ 動力 | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ 計装エアー | ユーティリティ 寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
SP-27000D |
要見積もり |
×10-5Pa台※常温・無負荷・脱ガス時 |
×10-4Pa台迄15分以内※常温・無負荷・脱ガス時 |
550mmW×550mmD×675mmH SUS304 電解研磨 |
DC電源 700V 7kW 1台 |
DC電源 2,000V 2kW 1台 |
立体物 |
±15%以内 |
140mm×270mm (金属) |
2 |
有り |
常温~200℃迄昇温可能 |
油回転ポンプ：1,300L/sec |
自動 |
マスフローコントローラ 1系統 |
AC200V三相40kVA |
30L/min以上0.1MPa以上0.15MPa以下25℃以下循環 |
0.5MPa以上 |
3,000mmW×2,000mmD×1,500mmH |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
