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スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM-MSP-20-UM
スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM-株式会社真空デバイス

スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM
株式会社真空デバイス

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この製品について

ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、磁界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用したのがマグネトロンスパッタ装置です。 電子顕微鏡用途では主に金、白金といった貴金属が使われます。また、そのほかの金属ターゲットをスパッタできる上位機種もラインナップしております。

  • シリーズ

    スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM

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スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ターゲット ターゲット金属 印加電圧/電流 試料ステージ ターゲット-試料間隔 試料サイズ チャンバーサイズ タイマー 排気系 到達真空度 雰囲気ガス導入 安全対策 装置サイズ 電源
スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM-品番-MSP-20-UM

MSP-20-UM

要見積もり

φ50 m mマグネトロン方式

(厚さ0.1mm)Pt(標準)、Au、Au-Pd、Pt-Pd、Pd、Ag(板厚0.5mm)

電圧DC0~700V/電流DC0~50mA

標準:φ50mmフローティング方式オプション:φ50mm傾斜機構付き回転試料台

40mm

標準:≦φ50mm、高さ:≦25mm傾斜・回転試料台使用時:(傾斜時)直径≦φ20mm、高さ:≦20 m m(平面時)直径:≦φ50mm、高さ:≦25 m m

内径149mmx深さ82mm

OMRON社製電子タイマー

外置きRP50ℓ/min15kg

1(Pa)以下

1/4’スウェージロック接続、0.05MPa以下使用。

系統別フューズ、上蓋開放感知センサー

本体W350mm×H347mm×D420mm16kg

AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m

フィルターから探す

スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室 クラスター式 インライン式 ロードロック式 トレイ搬送方式

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

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40.2時間

会社概要

株式会社真空デバイスは、真空技術を使った電子顕微鏡周辺機器と実験用途向けの真空装置を開発している企業です。 主な製品は、マグネトロンスパッタ装置やプラズマCVD装置、蒸着装置プラズマ処理装置・凍結乾燥装置などを展開して...

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  • 本社所在地: 茨城県
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