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シリーズ
スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
MSP-20-UM |
要見積もり |
φ50 m mマグネトロン方式 |
(厚さ0.1mm)Ｐｔ(標準)、Ａｕ、Ａｕ-Ｐｄ、Ｐｔ-Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ(板厚0.5mm) |
電圧ＤC0~700V/電流DC0~50mA |
標準：φ50mmフローティング方式オプション：φ50mm傾斜機構付き回転試料台 |
40mm |
標準：≦φ50mm、高さ：≦25mm傾斜・回転試料台使用時：(傾斜時)直径≦φ20mm、高さ：≦20 m m(平面時)直径：≦φ50mm、高さ：≦25 m m |
内径149mmｘ深さ82mm |
OMRON社製電子タイマー |
外置きRP50ℓ/min15kg |
1(Pa)以下 |
1/4’スウェージロック接続、0.05ＭPa以下使用。 |
系統別フューズ、上蓋開放感知センサー |
本体W350mm×H347mm×D420mm16kg |
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
