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シリーズ
スパッタ装置 小型マグネトロンスパッタ装置 MSP－mini取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ターゲット | 成膜対象金属 | ターゲット金属寿命(ｔ=10nm時) | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MSP－mini |
要見積もり |
φ30mmマグネトロン型 |
Au(標準)、オプション(Ag) |
Au(約800回)、Ag(約4000回) |
φ82mm |
25.5mm |
有効径φ30mm、高さ15mm以下 |
内径90mmｘ深さ42mm |
OMRON社製電子タイマー |
外置きRP5ℓ/min |
系統別フューズ付 |
本体W190mm×H183mm×D265mm5kg |
AC100V,10Aアース線付3芯プラグ使用3m |
