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ターゲット / カソードタイプ
ターゲット / サイズx個数
基板台 / 膜厚分布
スパッタ方向
アップ
基板台 / 回転機構
◯
基板台 / 基板加熱
基板台で300℃
排気系 / 到達压力
6.0 x 10-⁵Pa以下
排気系 / 排気時間
9.9 x 10-⁴Paまで10分以内
排気系 / 主ポンプ
クライオポンプ
操作方法 / 排気動作
自動
操作方法 / 成膜動作
半自動 (タイマー式)
スパッタ電源 / DC
オプション
ガス導入系
2系統
型番
SRV6310シリーズ
薄膜形成装置 バッチスパッタリング装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | ¢320mm | プレーナマグネトロン | ¢150mm x 3ヶ | アップ | ◯ | 基板台で300℃ | ±10%以内 (¢300) | 6.0 x 10-⁵Pa以下 | 9.9 x 10-⁴Paまで10分以内 | クライオポンプ | 自動 | 半自動 (タイマー式) | 1kW | オプション | 2系統 |
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