全てのカテゴリ
閲覧履歴
到達圧力
6.5×10^-6Pa
基板サイズ
Φ2インチ×1枚
加熱方式
基板加熱方式
加熱温度
MAX.700℃
基板回転機構
Max.20rpm
Z軸移動機構
±20mm
低圧RFスパッタガン ターゲットサイズ
2インチ 回転シャッター機構
RF制御電源
300W、13.56MHz、オートチューニング式
投入室 到達圧力
6.5×10^-5Pa
投入室 基板搬送
手動トランスファーロッド方式
型番
HVS-02シリーズ
低圧RFスパッタ装置 HVS-02取扱企業
株式会社エピクエストカテゴリ
もっと見る
スパッタリング装置の製品86点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
商品画像 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 基板サイズ | 加熱方式 | 加熱温度 | 基板回転機構 | Z軸移動機構 | 低圧RFスパッタガン ターゲットサイズ | RF制御電源 | 投入室 到達圧力 | 投入室 基板搬送 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
要見積もり | 6.5×10^-6Pa | Φ2インチ×1枚 | 基板加熱方式 | MAX.700℃ | Max.20rpm | ±20mm | 2インチ 回転シャッター機構 | 300W、13.56MHz、オートチューニング式 | 6.5×10^-5Pa | 手動トランスファーロッド方式 |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます