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この装置は電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。 ・アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍。 ・マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。押し間違えても作動しない誤動作防止機能付きで、複数人の使用でも安心してお使いいただけます。 ・調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロールスイッチを押すだけ。 ・排気速度と放電条件のバランスを重視して、2系統の排気管を自動制御。 ・試料台は低イオンダメージのフローティング試料台を採用。 (傾斜・回転ステージはオプション) ・イオンダメージに弱いサンプル・熱ダメージに弱いサンプルにコーティングするため、ターゲットにマグネトロン方式を採用し、低電圧コート。 ・ターゲット金属板 (Pt) を標準で付属。ご希望のターゲットに変更可能です。 (但し、購入価格は一律となっております。ご了承下さい。)
ターゲット
φ50 m mマグネトロン方式
ターゲット金属
(厚さ0.1mm)Ｐｔ(標準)、Ａｕ、Ａｕ-Ｐｄ、Ｐｔ-Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ(板厚0.5mm)
印加電圧/電流
電圧ＤC0~700V/電流DC0~50mA
試料ステージ
標準：φ50mmフローティング方式オプション：φ50mm傾斜機構付き回転試料台
ターゲット－試料間隔
40mm
試料サイズ
標準：≦φ50mm、高さ：≦25mm傾斜・回転試料台使用時：(傾斜時)直径≦φ20mm、高さ：≦20 m m(平面時)直径：≦φ50mm、高さ：≦25 m m
チャンバーサイズ
内径149mmｘ深さ82mm
タイマー
OMRON社製電子タイマー
排気系
外置きRP50ℓ/min15kg
到達真空度
1(Pa)以下
雰囲気ガス導入
1/4’スウェージロック接続、0.05ＭPa以下使用。
安全対策
系統別フューズ、上蓋開放感知センサー
装置サイズ
本体W350mm×H347mm×D420mm16kg
電源
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m
型番
MSP-20-UM取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
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要見積もり | φ50 m mマグネトロン方式 | (厚さ0.1mm)Ｐｔ(標準)、Ａｕ、Ａｕ-Ｐｄ、Ｐｔ-Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ(板厚0.5mm) | 電圧ＤC0~700V/電流DC0~50mA | 標準：φ50mmフローティング方式オプション：φ50mm傾斜機構付き回転試料台 | 40mm | 標準：≦φ50mm、高さ：≦25mm傾斜・回転試料台使用時：(傾斜時)直径≦φ20mm、高さ：≦20 m m(平面時)直径：≦φ50mm、高さ：≦25 m m | 内径149mmｘ深さ82mm | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP50ℓ/min15kg | 1(Pa)以下 | 1/4’スウェージロック接続、0.05ＭPa以下使用。 | 系統別フューズ、上蓋開放感知センサー | 本体W350mm×H347mm×D420mm16kg | AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
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