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・卓上SEM観察・光学顕微鏡用イオンスパッタ成膜装置です。 ・小面積の試料をコーティングする時の無駄を最小限にする為、小面積ターゲット (φ30mm) を使用。 ・試料台はスライドガラスがそのまま載るフラット試料ステージ。 ・低電圧コーティングで、デリケートな試料にも試料損傷がほとんどありません。 ・ボタン１つで排気・コーティング・リークまでを全自動で行います。 ・ターゲット金属は金 (Au) 標準。オプションで銀 (Ag) を選択可能です。 ・排気系は外置きRP5ℓ/minを採用。 ・補助試料ステージ (オプション) を使用すると、コーティングレートを上げて効率よく成膜が可能です。
ターゲット
φ30mmマグネトロン型
成膜対象金属
Au(標準)、オプション(Ag)
ターゲット金属寿命(ｔ=10nm時)
Au(約800回)、Ag(約4000回)
試料ステージ
φ82mm
ターゲット－試料間隔
25.5mm
試料サイズ
有効径φ30mm、高さ15mm以下
チャンバーサイズ
内径90mmｘ深さ42mm
タイマー
OMRON社製電子タイマー
排気系
外置きRP5ℓ/min
安全対策
系統別フューズ付
装置サイズ
本体W190mm×H183mm×D265mm5kg
電源
AC100V,10Aアース線付3芯プラグ使用3m
型番
MSP－mini取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ターゲット | 成膜対象金属 | ターゲット金属寿命(ｔ=10nm時) | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
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要見積もり | φ30mmマグネトロン型 | Au(標準)、オプション(Ag) | Au(約800回)、Ag(約4000回) | φ82mm | 25.5mm | 有効径φ30mm、高さ15mm以下 | 内径90mmｘ深さ42mm | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP5ℓ/min | 系統別フューズ付 | 本体W190mm×H183mm×D265mm5kg | AC100V,10Aアース線付3芯プラグ使用3m |
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