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除振台についての概要、用途、原理などをご説明します。また、除振台のメーカー26社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。除振台関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:特許機器株式会社、2位:神津精機株式会社、3位:駿河精機株式会社となっています。
除振台とは、地盤、基礎、床などの周囲から伝達する振動が機器に伝わらないよう振動を低減させるための装置です。
「除振」は振動絶縁とも言われ、周囲から発生する振動を、対象とする機器などに伝えないようにすることを指します。類似の用語である「防振」は、振動源から発生する振動を、周いに伝えないようにすることです。既に発生した振動が伝わるのを防ぐのか、それとも振動源に対して対策をするのかによって使い分けられます。
さらに、「制振」という言葉もありますが、制振は振動を抑えたい対象に対して、直接作用することにより、振動を減衰させることです。除振台のタイプには、周囲からの振動を抑制して防止するパッシブ型の除振台と、センサーとアクチュエータにより振動を減衰する動きを行うアクティブ除振台とがあります。
除振台は、精密な加工を行う機器や、電子顕微鏡の土台として使われます。精密測定機器、半導体・液晶製造検査装置、超精密加工機といったミクロンオーダーの加工・計測を行うためには振動による影響を最小限にすることは欠かせません。
電子顕微鏡などで高倍率で観察する場合にも、振動を抑えることが重要です。
除振台には、パッシブ型とアクティブ型があります。どちらのタイプの除振台が優れているということはなく、使用目的や周囲環境、振動の固有振動数などにより、最適な方法を選択することが大切です。
パッシブ型の除振台は、スプリングなどの弾性とダンパーとなる粘性を組み合わせたものです。弾性はスプリングが代表例であり、自ら変形することによって振動のエネルギーを一時的に蓄え、一時的なエネルギーの蓄積で振動を低減させます。
粘性は空気や流体などの粘性を使って、振動のエネルギーを熱に変換して吸収するものです。スプリングが蓄えた振動エネルギーをダンパーが熱に変換することによって、振動は吸収されます。
また、スプリングやダンパーの動きの早さも除振の原理のポイントです。振り子をゆっくり大きく動かすと大きく振れますが、早く細かく動かすとほとんど動きません。
アクティブ除振台は、床などに固定されたセンサーが常に外部の振動を感知しており、アクチュエータを通してその周波数と逆向きの周波数となるような振動を発生させています。これによって、外部の振動と除振台が起こした振動をが打ち消しあい、装置は静止した状態を維持することが可能です。
なお、アクティブ型の除振台の制御方法は、装置もしくは除振台の振動をセンサで感知するフィードバック制御と、床や地面の振動を感知するフィードフォワード制御に分けることができます。
除振台の性能を示すデータが振動伝達特性のグラフです。縦軸に振動伝達率 (db) をとり、横軸には振動周波数 (Hz) がとられます。振動伝達特性は一般的に、縦軸と0で接して上昇しある周波数でピークを迎え、周波数が高くなるにつれて富士山の稜線のようななだらかな円弧状の曲線を描いて低下していきます。
縦軸の0は振動伝達率が0dbである、同期という状態です。対象物はちょうど、振動源と一体となったように同じ動きをすることを示します。つまり、振動はそのまま伝わる状態です。
振動伝達特性のピークの部分は「共振」と呼ばれる状態です。発生した振動に対して、対象物が非常に大きく振動することを意味しており、場合によっては機械は破壊することにもなりかねません。共振は機械では避けるべきポイントです。共振から周波数が高くなり、振動伝達率が0よりも小さいマイナスになる領域が除振領域になります。
除振台を選ぶ際には、設置環境の振動の周波数を振動伝達率の大きさから、どの程度振動を抑えることができるのかを判断することができます。
参考文献
http://www.herz-f.co.jp/data/avs/
http://www.meiritz.jp/support/tech/joshin.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 特許機器株式会社 |
15.8%
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2 | 神津精機株式会社 |
10.5%
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3 | 駿河精機株式会社 |
8.4%
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4 | ヤマト科学株式会社 |
7.4%
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5 | シグマ光機株式会社 |
7.4%
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6 | 中央精機株式会社 |
5.3%
|
7 | 株式会社ナベヤ |
5.3%
|
8 | 株式会社昭和サイエンス |
4.2%
|
9 | 株式会社村上衡器製作所 |
4.2%
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10 | TMC |
4.2%
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注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月の除振台ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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89 点の製品がみつかりました
稲垣機料株式会社
30人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
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69.4時間 返答時間
■特徴 ・整経台立型 (小) 1m巾 ・経糸の長さを揃え、綾を取ります。 ・クイは片側7本、約13m整経できます。
稲垣機料株式会社
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69.4時間 返答時間
■特徴 ・経糸の長さを揃え、綾 (経糸の配列順序) を取ります。 ・クイは片側8本、そして前の4本のクイで綾、粗畦を取ることができます。 ・約16.5m整経できま...
稲垣機料株式会社
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■特徴 ・経糸の長さを揃え、綾 (経糸の配列順序) を取ります。 ・クイは片側8本、上下4本のクイで綾、粗畦を取ります。 ・約16.5m整経できます。 ・小枠、織...
オーテックス株式会社
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稲垣機料株式会社
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69.4時間 返答時間
■特徴 ・経糸の長さを揃え、綾 (経糸の配列順序) を取ります。 ・クイは片側8本、上下4本のクイで綾、粗畦を取ります。 ・約16.5m整経できます。 ・大管立て...
稲垣機料株式会社
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■詳細 ・経巻台をできるだけコンパクトに制作しました。 ・分解するとある程度コンパクトに収納できます。 ・着尺巾と65cm巾があります。 ・制作期間は約2ヵ...
稲垣機料株式会社
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最新の閲覧: 14時間前
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69.4時間 返答時間
■詳細 ・経巻台をできるだけコンパクトに制作しました。 ・分解するとある程度コンパクトに収納できます。 ・着尺巾と65cm巾があります。 ・制作期間は約2ヵ...
株式会社柳生商会
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稲垣機料株式会社
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株式会社柳生商会
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稲垣機料株式会社
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■詳細 ・整経用の羽子板です。 ・18穴と26穴の2種類あります。
Metoreeに登録されている除振台が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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2022年11月14日
精密検査/測定装置に!半導体産業をはじめとする超精密加工分野における製造・検査・計測は、ナノメートル、オングストロームへと精密さの度合いを深めていま...
2022年11月14日
クリーンルーム対応卓上型アクティブ除振台低域周波数から高域周波数まで優れた除振性能を有しています。性能が発揮しづらい、高重心装置や軽量装置でも優れ...
2022年11月14日
パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで、優れた除振性能を発揮!◆空圧アクティブ除振ユニット◆空圧アクティブ除振装置◆電顕用アクティブ除振装置◆卓上ア...
2024年3月12日
SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台アクティブ除振台 特長■ リニアモーター搭載:軽量化&...
2023年1月17日
パッシブ除振台軽量、エアー不要、メンテナンスフリー本装置は、K&S Advanced Systems社が独自技術開発したダンパーを搭載した除振台です。サイズは小型で軽...
2023年1月17日
エクシールの総合カタログです。価格、使用例、物理特性が記載されています。掲載内容・クリーン対策用品(粘着マット、ローラー等)・精密デバイス搬送ケー...
2024年4月5日
78,000 円
78,000 円
78,000 円
価格について: Metoreeに登録されている除振台の製品89点の2024年11月22日時点での価格データを元に算出しています。