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【2021年版】除振台6選 / メーカー18社一覧

除振台のメーカー18社・66製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


除振台とは

除振台とは地盤、基礎、床などの周囲から伝達する振動が機器に伝わらないようにするための装置です。

除振は振動絶縁とも言われ、機器が発生する振動が周囲の機器に伝わらないようにする防振と分けて使用されます。

振動の防止・抑制を行う方法として、ゴムやダンパなどの弾性体を用いるものと、空気やオイルといった流体を用いるものがあります。

除振台のタイプには、周囲からの振動を抑制して防止するパッシブ除振台とセンサーとアクチュエータにより週の振動を減衰する動きを行うあくてぃぷ除振台とがあります。

除振台の使用用途

除振台の使用用途は、機器の動作を正確にするため外部環境による振動の影響を除去することにあります。

精密測定機器、半導体・液晶製造検査装置、超精密加工機といったミクロンオーダーの加工・計測を行うためには振動による影響を最小限にすることは必要不可欠です。

近年は技術の進歩により、要求される部品精度の向上だけでなく、ナノテクノロジーなどの振動の周波数より小さい装置の研究・開発などにより、除振による振動の除去はより重要度が増しています。

除振台の原理

最も単純な除振の原理は振り子モデルによるものがあります。

振り子をゆっくり大きく動かすと大きく振れますが、早く細かく動かすとほとんど動きません。

パッシブ除振台は、この振り子モデルを利用し、間に弾性体や流体を間に挟むことで、装置を振り子モデルの状態にすることで外部からの振動を抑制します。

対して、アクティブ除振台は床などに固定されたセンサーが常に外部の振動を感知しており、アクチュエータを通してその周波数と逆向きの周波数となるような振動を発生させています。このため、外部の振動と除振台が起こした振動をが打ち消しあい、装置は静止した状態を維持することができます。

また、制御方法も、装置もしくは除振台の振動をセンサで感知するフィードバック制御と、床や地面の振動を感知するフィードフォワード制御に分けることができます。

どちらが優れているということはなく、使用目的や周囲環境、振動の固有振動数などにより最適な方法を選択することが望ましくあります。

参考文献

http://www.herz-f.co.jp/data/avs/
http://www.meiritz.jp/support/tech/joshin.html

除振台のメーカー情報

除振台のメーカー18社一覧


除振台のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 倉敷化工株式会社
  2. 2 ヤマト科学株式会社
  3. 3 シグマ光機株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社ユニロック
  2. 2 日本防振工業株式会社
  3. 3 株式会社東京インスツルメンツ

歴史のある会社

  1. 1 ヤマト科学株式会社
  2. 2 株式会社村上衡器製作所
  3. 3 インターワイヤード株式会社

除振台6選

卓上型除振台 NJシリーズ

株式会社枚方技研 卓上型除振台 NJシリーズ 画像出典: 株式会社枚方技研公式サイト

特徴

優れた防振、衝撃吸収性能を持つノンブレンを除振部材に採用したことで通常の防振ゴムでは得られない高い除振性能を達成しています。

損失係数Tanδが0.6と大きく共振倍率を小さく、共振点付近での除振効果が他の材料に比べて大きくできます。

光学顕微鏡、電子天秤などの機器の下に置くだけですぐに使用可能でメンテナンスフリーな高いコストパフォーマンスを持つ装置です。

また、特注仕様にも対応しており、お客様の必要なサイズに合わせて製作も可能です。

株式会社枚方技研の会社概要

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アクティブ除振台 ARIS TTシリーズ

株式会社東京インスツルメンツ

特徴

ARIS-TTシリーズは、卓上タイプの高性能アクティブ除振台です。

リニアモーターを使用した6自由度アクティブ除振構造に加え、パッシブ除振構造も組みこまれた独自のダンパー構造により、高い除振性能を発揮します。

また、リニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応することが可能となっており、耐久性も兼ね備えています。

電子顕微鏡の下に敷くことで、簡単により鮮明な観察像を得ることができます。

株式会社東京インスツルメンツの会社概要

  • 会社所在地: 東京都江戸川区西葛西6丁目18番14号T.I.ビル
  • URL: https://www.tokyoinst.co.jp
  • 創業: 1981年
  • 従業員数: 43人

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VAAV-A 標準

株式会社昭和サイエンス VAAV-A 標準 画像出典: 株式会社昭和サイエンス公式サイト

特徴

VAAV-A 標準タイプシリーズは、空圧を用いたアクティブ除振台です。

VAAV専用に設計された超高感度加速度センサーを搭載しており、微小振動を正確に測定、さらに独自の除振アルゴリズムに基づく高速演算により瞬時に振動を打ち消すことが可能になっています。

また、3軸6自由度の高精度位置制御により、安定した除振性能と位置精度(±10μm)を実現しています。

液晶、半導体などの製造及び検査装置といった、高精度、高性能の除振能力が要求されるアプリケーションに最適です。

株式会社昭和サイエンスの会社概要

  • 会社所在地: 東京都品川区東大井5丁目12番10号
  • URL: https://www.ssvi.co.jp/
  • 創業: 1974年
  • 従業員数: 40人

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スチールハニカム定盤空気ばね式除振装置

明立精機株式会社 スチールハニカム定盤空気ばね式除振装置 画像出典: 明立精機株式会社公式サイト

特徴

AYAシリーズは、高い除振性能を誇るハイエンドタイプのスチールハニカム定盤空気ばね式除振装置です。

独自に開発されたパラレル・スウィング機構を内臓しており、水平方向の固有振同数は従来の1/3以下の0.5Hzという高い水平方向の除振性能を実現しています。

さらに、スチールハニカム定盤により軽量、高剛性も兼ね備えた高性能な除振装置となっています。

垂直、水平、全方向の微妙な振動を取り除く必要がある光学実験台に最適な製品です。

明立精機株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県横浜市神奈川区新浦島町1丁目1-25 テクノウェイブ100ビル16階
  • URL: http://www.meiritz.jp/index.php
  • 創業: 1968年
  • 従業員数: 40人

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防振ゴム式除振台

日本防振工業株式会社 防振ゴム式除振台 画像出典: 日本防振工業株式会社公式サイト

特徴

RHDシリーズは、チールハニカム定盤に防振ゴム式除振システムを搭載し、高剛性と高いダンピング性能を両立したパッシブ除振台です。

定盤はそれぞれ固有の周波数の曲げ・捻れ振動モードを持っていますが、RHDシリーズでは、それぞれのモードに合わせて一つ一つ設計されたチューンド・マス・ダンピング構造を内蔵することで、高い除振性能を実現しています。

空気ばね式除振台に比べて低周波の揺らぎが少なく安定性が高いため、比較的静かな作業環境で使うことで高い性能を発揮する製品となっています。

日本防振工業株式会社の会社概要

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アクティブ除振台ユニット

中央精機株式会社

特徴

SAT-56、SAT45は、使いやすさが追求された卓上型アクティブ除振台です。

3軸6自由度のアクティブ制御により、特に低周波数の微振動に対して優れた除振性能を実現しています。

また、空気源は必要とせずコンセントに差し込み電源を入れるだけで使用できたり、LCDモニタ表示で振動波形をモニターしたりすることが可能となっており、高い操作性も有しています。

簡単な設置と抜群の操作性により、幅広いアプリケーションに対応できる製品となっています。

中央精機株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都千代田区神田淡路町1-5及川ビル2F
  • URL: http://www.chuo.co.jp
  • 創業: 1955年
  • 従業員数: 84人

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除振台の66製品一覧

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