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除振台のメーカー24社一覧や企業ランキングを掲載中!除振台関連企業の2025年4月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:株式会社ナベヤ、3位:特許機器株式会社となっています。 除振台の概要、用途、原理もチェック!
除振台とは、地盤、基礎、床などの周囲から伝達する振動が機器に伝わらないよう振動を低減させるための装置です。
「除振」は振動絶縁とも言われ、周囲から発生する振動を、対象とする機器などに伝えないようにすることを指します。類似の用語である「防振」は、振動源から発生する振動を、周いに伝えないようにすることです。既に発生した振動が伝わるのを防ぐのか、それとも振動源に対して対策をするのかによって使い分けられます。
さらに、「制振」という言葉もありますが、制振は振動を抑えたい対象に対して、直接作用することにより、振動を減衰させることです。除振台のタイプには、周囲からの振動を抑制して防止するパッシブ型の除振台と、センサーとアクチュエータにより振動を減衰する動きを行うアクティブ除振台とがあります。
2025年4月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 神津精機株式会社 |
18.3%
|
2 | 株式会社ナベヤ |
13.4%
|
3 | 特許機器株式会社 |
8.5%
|
4 | 株式会社昭和サイエンス |
7.0%
|
5 | 駿河精機株式会社 |
7.0%
|
6 | ヘルツ株式会社 |
5.6%
|
7 | シグマ光機株式会社 |
4.9%
|
8 | 明立精機株式会社 |
4.2%
|
9 | 株式会社村上衡器製作所 |
4.2%
|
10 | 藤倉コンポジット株式会社 |
4.2%
|
項目別
搭載可能重量 kg
0 - 50 50 - 150 150 - 500 500 - 1,500 1,500 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 30,000固有振動数 Hz
1 - 3 3 - 6 6 - 13製品重量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250除振性能別着座時高さ mm
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 550藤倉コンポジット株式会社
320人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.6時間 返答時間
■ベローズ式パッシブ除振台 概要 弊社ベローズ式空気ばねを採用したパッシブ除振台。高除振特性と薄型化を両立。 ■高除振特性、省スペ...
3種類の品番
株式会社東京インスツルメンツ
140人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
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■アクティブ除振台 ・SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能 ・分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台 ■アク...
特許機器株式会社
930人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
35.5時間 返答時間
特長 ■優れた振動絶縁特性 フィードバック制御と、フィードフォワード制御により、卓越かつ安定した絶縁性能を発揮。 ■早い整定時間と...
9種類の品番
株式会社柳生商会
160人以上が見ています
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振動を嫌う精密機器に適しています。水平器付きです。
株式会社菱光社
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100.0% 返答率
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■概要 業界最高水準の薄さ61ミリで、自動レベル調整機能を装備。パッシブ卓上除振台のハイエンドモデル。 ■特徴 ・偏荷重に対応し、自...
藤倉コンポジット株式会社
260人以上が見ています
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5.0 会社レビュー
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14.6時間 返答時間
■アクティブ除振台 (高荷重タイプ) 概要 弊社ベローズ式空気ばねを採用した高荷重タイプになります。高除振特性と薄型化を両立。 ■優...
株式会社エー・アンド・デイ
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16.7時間 返答時間
振動のある環境下で分析用電子天びんを使う場合は、除振台の使用をお勧めします。 ■特徴 ・本体外形寸法 : 460mm×400mm×71mm ・本体質...
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
310人以上が見ています
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i4は、最先端のアクティブ防振システムです。高解像度の計測機器を建物の振動やその他の外乱から隔離するのに最適なシステムで、6方向す...
3種類の品番
オーテックス株式会社
110人以上が見ています
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116.3時間 返答時間
■全ての振動が気になるアプリケーションに Seismion社製のアクティブ除振台は、高感度のピエゾセンサー、非接触ボイスコイルアクチュエ...
株式会社アポロウエーブ
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■特徴 ・プロービングに影響する 振動を除去する。 ・デスク一体型と卓上型をラインナップ ・プローバー機種に合わせて提案
株式会社エコートプレシジョン
340人以上が見ています
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ディップコーティングに於いて振動は天敵と考えられる要素です。 装置に関しては、振動低減のスペックを部材共々活用しておりますが、...
特許機器株式会社
790人以上が見ています
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35.5時間 返答時間
■特徴 ・優れた除振性能を発揮 ・業界最高の薄型設計 ・用途に合わせた特注仕様に設計変更可能 除振性能を必要以上に求めると、フワフ...
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倉敷化工株式会社
10人以上が見ています
■半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が普及しているアクティブ除振台。...
株式会社東京インスツルメンツ
110人以上が見ています
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■パッシブ除振台 製品概要 本装置は、K&S Advanced Systems社が独自技術開発したダンパーを搭載した除振台です。サイズは小型で軽量、高...
株式会社柳生商会
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振動を嫌う精密機器に適しています。HDタイプは高減衰タイプで、硬さ試験機など制定性を要求される装置にも適しています。レベル調節は...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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■搭載盤に剛性/質量を有するグラナイトを使用 VAIS-AMT045は卓上型アクティブ除振台です。発生した振動と逆位相の振動を加えることで振...
特許機器株式会社
540人以上が見ています
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■特徴 ・優れた除振性能を発揮 ・業界最高の薄型設計 ・用途に合わせた特注仕様に設計変更可能 除振性能を必要以上に求めると、フワフ...
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株式会社柳生商会
160人以上が見ています
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高倍率顕微鏡や表面粗さ計等の振動を嫌う精密機器に適しています。高さ調整ダイヤルの操作で水平調整を容易に行えます。
特許機器株式会社
640人以上が見ています
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■特徴 ・優れた除振性能を発揮 ・業界最高の薄型設計 ・用途に合わせた特注仕様に設計変更可能 除振性能を必要以上に求めると、フワフ...
4種類の品番
株式会社菱光社
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■概要 豊富なオプション品を備え作業性の向上を実現。低価格と使い易さを求めたベストセラーモデルです。 ■用途 ・測定顕微鏡 ・表面粗...
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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ワークステーション_i4は、光学顕微鏡/顕微鏡/SPMの組み合わせで使用することを想定して設計されています。表面は傷のつきにくいMDFプレ...
株式会社菱光社
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■概要 防塵対策に万全のクリーンルーム専用機クリーンルーム専用機種。定番部分にSUS304を使用し、レベル調整時に排気されるエアを集中...
特許機器株式会社
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■特徴 ・優れた除振性能を発揮 ・業界最高の薄型設計 ・用途に合わせた特注仕様に設計変更可能 除振性能を必要以上に求めると、フワフ...
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パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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ワークステーション_Varioは、作業面として光学ブレッドボードを埋め込んだスチールフレームが付属しています。拡張性として、周囲のフ...
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倉敷化工株式会社
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■独自の制御方式で優れた除振&制振性能 リニアモーター式により空気消費量が少なく除振性能に優れます。高周波域まで制御可能。ジンバ...
特許機器株式会社
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■SSR新除振機構 SSR新除振機構は、鉛直除振機構として小型の空気ばねを用い、水平除振機構としてスイングボール (SBM) 機構を直列に組み...
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フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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33.0時間 返答時間
VISTEK除振プラットフォームVIPシリーズは、True Gravity社が構造物の免震用に開発したユニークな特許技術を元に、顕微鏡や分析機器等の...
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除振性能や各種機構をグレードアップしたハイエンドタイプのスチールハニカム定盤空気ばね式除振装置。 明立精機が独自に開発したパラ...
特許機器株式会社
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35.5時間 返答時間
■SSR新除振機構 SSR新除振機構は、鉛直除振機構として小型の空気ばねを用い、水平除振機構としてスイングボール (SBM) 機構を直列に組み...
4種類の品番
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除振台とは、地盤、基礎、床などの周囲から伝達する振動が機器に伝わらないよう振動を低減させるための装置です。
「除振」は振動絶縁とも言われ、周囲から発生する振動を、対象とする機器などに伝えないようにすることを指します。類似の用語である「防振」は、振動源から発生する振動を、周いに伝えないようにすることです。既に発生した振動が伝わるのを防ぐのか、それとも振動源に対して対策をするのかによって使い分けられます。
さらに、「制振」という言葉もありますが、制振は振動を抑えたい対象に対して、直接作用することにより、振動を減衰させることです。除振台のタイプには、周囲からの振動を抑制して防止するパッシブ型の除振台と、センサーとアクチュエータにより振動を減衰する動きを行うアクティブ除振台とがあります。
除振台は、精密な加工を行う機器や、電子顕微鏡の土台として使われます。精密測定機器、半導体・液晶製造検査装置、超精密加工機といったミクロンオーダーの加工・計測を行うためには振動による影響を最小限にすることは欠かせません。
電子顕微鏡などで高倍率で観察する場合にも、振動を抑えることが重要です。
除振台には、パッシブ型とアクティブ型があります。どちらのタイプの除振台が優れているということはなく、使用目的や周囲環境、振動の固有振動数などにより、最適な方法を選択することが大切です。
パッシブ型の除振台は、スプリングなどの弾性とダンパーとなる粘性を組み合わせたものです。弾性はスプリングが代表例であり、自ら変形することによって振動のエネルギーを一時的に蓄え、一時的なエネルギーの蓄積で振動を低減させます。
粘性は空気や流体などの粘性を使って、振動のエネルギーを熱に変換して吸収するものです。スプリングが蓄えた振動エネルギーをダンパーが熱に変換することによって、振動は吸収されます。
また、スプリングやダンパーの動きの早さも除振の原理のポイントです。振り子をゆっくり大きく動かすと大きく振れますが、早く細かく動かすとほとんど動きません。
アクティブ除振台は、床などに固定されたセンサーが常に外部の振動を感知しており、アクチュエータを通してその周波数と逆向きの周波数となるような振動を発生させています。これによって、外部の振動と除振台が起こした振動をが打ち消しあい、装置は静止した状態を維持することが可能です。
なお、アクティブ型の除振台の制御方法は、装置もしくは除振台の振動をセンサで感知するフィードバック制御と、床や地面の振動を感知するフィードフォワード制御に分けることができます。
除振台の性能を示すデータが振動伝達特性のグラフです。縦軸に振動伝達率 (db) をとり、横軸には振動周波数 (Hz) がとられます。振動伝達特性は一般的に、縦軸と0で接して上昇しある周波数でピークを迎え、周波数が高くなるにつれて富士山の稜線のようななだらかな円弧状の曲線を描いて低下していきます。
縦軸の0は振動伝達率が0dbである、同期という状態です。対象物はちょうど、振動源と一体となったように同じ動きをすることを示します。つまり、振動はそのまま伝わる状態です。
振動伝達特性のピークの部分は「共振」と呼ばれる状態です。発生した振動に対して、対象物が非常に大きく振動することを意味しており、場合によっては機械は破壊することにもなりかねません。共振は機械では避けるべきポイントです。共振から周波数が高くなり、振動伝達率が0よりも小さいマイナスになる領域が除振領域になります。
除振台を選ぶ際には、設置環境の振動の周波数を振動伝達率の大きさから、どの程度振動を抑えることができるのかを判断することができます。
参考文献
http://www.herz-f.co.jp/data/avs/
http://www.meiritz.jp/support/tech/joshin.html