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  1. Metoree
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  3. 洗浄装置
メーカー 218社 製品 556点
株式会社イー・スクエア
OKIネクステック株式会社
HUGパワー株式会社
株式会社ダン科学
高橋金属株式会社
高松電機株式会社
超音波工業株式会社
貴商エンジニアリング株式会社
荒川化学工業株式会社
花山工業株式会社
神奈川機器工業株式会社
水道機工株式会社

洗浄装置
メーカー218社・556製品一覧 【2024年】

洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー218社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:OKIネクステック株式会社、2位:株式会社ダン科学、3位:森合精機株式会社となっています。

目次

洗浄装置の関連カテゴリ

押出成形機 自動洗浄機 器具洗浄機 ロボット設備製造

洗浄装置とは

洗浄装置

洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。

精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります

洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%～40%を占めると言われています。

洗浄装置の使用用途

具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです

  • 半導体プロセスにおけるシリコンウェーハの洗浄
  • 金属フィルタのメッシュに付着した汚れの洗浄
  • 切削後の金属表面に付着した金属粉の除去

洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。

洗浄装置の原理

半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。

洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。

洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。

1. 超音波洗浄装置

超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。

2. スプレー洗浄装置

スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。

3. ブラシ洗浄装置

ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。

4. ドライ洗浄装置

ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。

5. 溶剤洗浄装置

溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。

洗浄装置の構造

洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。

1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。

バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。

洗浄装置のその他情報

洗浄装置に使用する洗浄剤

半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。

  • SPM
    硫酸と過酸化水素の混合物で、有機物の除去用です。
  • APM
    アンモニアと過酸化水素の混合物で、パーティクルと有機物を除去します。さらに、超音波を加え、パーティクルの除去率を高めます。
  • DHF
    フッ酸と純水の混合物で、金属や酸化膜を除去します。フッ酸は、強酸であり、シリコンも溶かしてしまうので、純水で希釈したものを使って、ウェーハの表面のみを処理します。
  • HPM
    塩酸と過酸化水素の混合物で、残った金属や酸化物を除去し、表面に不働態化層を作って、汚れの再付着を防止します。

最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf

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HUGパワー株式会社の洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
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OKIネクステック株式会社の洗浄装置のカタログ
株式会社ブルー・スターR&Dの洗浄装置のカタログ
オガワ精機株式会社の洗浄装置のカタログ
オガワ精機株式会社の洗浄装置のカタログ
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キャスター付きハンディータイプ蒸気2流体洗浄装置のカタログ
大気圧プラズマ装置でのダイレクト接着　接合　５G 　６G　フッ素樹脂　LCPのカタログ
大気圧プラズマにおける表面機能化 アプリケーションとその装置　親水化　接合　のカタログ
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OSK 01CU 6000 グルテンワッシャー/グルテン洗浄・混錬装置のカタログ
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OSK 01FB3200 グルテンワッシャー/グルテン洗浄・混錬装置のカタログ
トーコーの各種洗浄装置のカタログ
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アリミツの洗浄装置システムのカタログ

洗浄装置メーカー 218社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

大気圧プラズマによるドライ洗浄・既存ラインの洗浄効率向上に。 注目製品
株式会社イー・スクエア
株式会社イー・スクエアの洗浄装置
①処理ワーク幅：100mm~3000mm
②完全ダメージレス（物理的、化学的、光学的）
③既存ラインの洗浄性能向上へ。表面活性が高ま　　
　り洗浄性能が飛躍的に向上。
④次工程での塗布膜や各種薄膜との密着性向。
⑤高密度酸素ラジカル、OHラジカル
　によるドライ洗浄。
⑥ESDフリー

洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版） 注目製品
OKIネクステック株式会社
OKIネクステック株式会社の洗浄装置
◆スクリーン／メタルマスクの性能維持
　マスクの接着部分に洗浄液がかからないため接着剥がれを回避
◆臭い漏洩防止
　部分洗浄方式により、洗浄～乾燥工程での臭いを遮断
◆高い洗浄能力
　洗浄ムラの無いスプレー洗浄方式を採用
◆作業者および環境への配慮
　環境にやさしい洗浄液で、高い洗浄能力、短時間乾燥を実現

キャスター付きの小型蒸気2流体洗浄装置 注目製品
HUGパワー株式会社
HUGパワー株式会社の洗浄装置
超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！ランニングコストを大幅に低減します！
【特長】
■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減
■使用するのは「純水」のみ
■化学薬品の使用量を大幅に削減
■洗浄力を大幅に向上

ウェハ洗浄装置、ガラス基板洗浄装置、精密部品洗浄装置 注目製品
株式会社ダン科学
株式会社ダン科学の洗浄装置
☆ 300mmウェハカセットレス洗浄装置
☆ ガラス基板洗浄装置
☆ 精密部品洗浄装置
☆ 各種洗浄装置をお客様仕様でのフルカスタム設計


洗浄装置 2024年10月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2024年10月の洗浄装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

  1. 川崎重工業: 36,587人
  2. 日立造船: 11,540人
  3. シャープ: 5,413人

設立年の新しい会社

  1. ダイナテックプラス: 2020年
  2. ProSys Inc.: 2019年
  3. NSCエンジニアリング: 2018年

歴史のある会社

  1. エコートプレシジョン: 4年
  2. ラプラス: 1868年
  3. サクラ精機: 1870年

洗浄装置注目ランキング

製品の閲覧数をもとに算出したランキング

1 シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置-PHT株式会社

シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

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洗浄装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

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日東精工株式会社

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洗浄装置の価格が安いランキング

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真空ポンプ・洗浄機 収納用ケース マニホールドケース

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6 真空ポンプ・洗浄機 真空ポンプシリーズ-A-Gas Japan 株式会社

真空ポンプ・洗浄機 真空ポンプシリーズ

A-Gas Japan 株式会社

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業界別

🧪 化学 💻 電子・電気機器

洗浄装置の製品 556点


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卓上型超音波洗浄器 スタイリッシュなデザインと操作性に優れたステンレス筐体タイプ 超音波洗浄器 (二周波) -株式会社柳生商会

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ダイレクトパスシリーズ セパレーション手動3槽式

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価格 (税抜)

500,000 円

インキローラ自動洗浄装置 ニューアークシステム-テクノロール株式会社

テクノロール株式会社

インキローラ自動洗浄装置 ニューアークシステム

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二次元回転式 タンク洗浄機 サニタリーローラーボール GRB-2AS

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半導体製造装置 高精細フォトマスク対応 フォトマスク洗浄装置 スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ-株式会社渡辺商行

株式会社渡辺商行

半導体製造装置 高精細フォトマスク対応 フォトマスク洗浄装置 スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ

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クリンベスト 有機溶剤系横型多槽式全自動洗浄機 TC-2~8HU (B) -タイセイクリンケミカル株式会社

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器具除染用洗浄器 ウォッシャー・ディスインフェクター AW-150-チヨダエレクトリック株式会社

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器具除染用洗浄器 ウォッシャー・ディスインフェクター AW-150

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スパイラルクラッシファイヤ SW-1500S-株式会社氣工社

株式会社氣工社

スパイラルクラッシファイヤ SW-1500S

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スパイラルクラッシファイヤは、原水中から必要な砂と不必要な微粒子を分級し、泥分を洗い流し、脱水する機能を持った機械です。また、スパイラル回転数を変...


特殊超音波洗浄器 強力洗浄から精密洗浄まで用途に合わせた周波数をラインナップ 超音波洗浄機 (投げ込み型) -株式会社柳生商会

株式会社柳生商会

特殊超音波洗浄器 強力洗浄から精密洗浄まで用途に合わせた周波数をラインナップ 超音波洗浄機 (投げ込み型)

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三次元回転式ノズル タンク洗浄機 ハイジェット TMSA (E) -150型-東光技研工業株式会社

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三次元回転式ノズル タンク洗浄機 ハイジェット TMSA (E) -150型

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■概要 高圧3次元回転式ノズル洗浄機 ハイジェットシリーズは、混合槽、高分子樹脂、重合槽、反応釜、貯槽、缶類等の内部を自動的に完全洗浄する三次元回転式...


二次元回転式 タンク洗浄機 シャワーボール-東光技研工業株式会社

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二次元回転式 タンク洗浄機 シャワーボール

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■特長 主材料は、SUS-304/SUS316/SUS316Lのほか導電性PTFE/PTFEや特殊材料での製作もご相談ください。狙い撃ちシャワーボールなどタンク形状に合わせた設計も...


多種容器洗浄・乾燥装置-東光技研工業株式会社

東光技研工業株式会社

多種容器洗浄・乾燥装置

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■特長 多種類の汚れた容器をさまざまな角度から、ジェット噴射ノズルで効果的に処理します。香料のにおいも除去します。


ブラシ洗浄機-東光技研工業株式会社

東光技研工業株式会社

ブラシ洗浄機

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■特長 混合機の顔料、色替え毎に、洗浄、リンスを行います。樹脂系の顔料は洗浄が取れにくい為、ブラシ洗浄で行います。


半導体製造装置 IPA蒸気乾燥装置-株式会社渡辺商行

株式会社渡辺商行

半導体製造装置 IPA蒸気乾燥装置

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100.0% 返答率

60.5時間 返答時間

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタン...


クリンベスト 炭化水素系全自動洗浄機-タイセイクリンケミカル株式会社

タイセイクリンケミカル株式会社

クリンベスト 炭化水素系全自動洗浄機

10人以上が見ています

最新の閲覧: 19時間前

■特徴 ・低いコスト：不燃性有機溶剤による低イニシャルコスト溶剤の使用量従来型の1/5～1/10と低ランニングコスト ・高い洗浄性：一般洗浄では不燃性有機溶...


卓上型超音波洗浄器 YSシリーズ-チヨダエレクトリック株式会社

チヨダエレクトリック株式会社

卓上型超音波洗浄器 YSシリーズ

20人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

100.0% 返答率

156.7時間 返答時間

超音波により発生する微細気泡により、用手洗浄では洗いきれない細部まで洗浄できます。独自の発振方式を採用し、洗浄槽全体に超音波が伝わり、洗浄ムラをお...


スパイラルクラッシファイヤ SW-1800S-株式会社氣工社

株式会社氣工社

スパイラルクラッシファイヤ SW-1800S

10人以上が見ています

最新の閲覧: 22時間前

スパイラルクラッシファイヤは、原水中から必要な砂と不必要な微粒子を分級し、泥分を洗い流し、脱水する機能を持った機械です。また、スパイラル回転数を変...


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洗浄装置のカタログ 49件

Metoreeに登録されている洗浄装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。


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トーコーの各種洗浄装置のカタログ

東光技研工業株式会社
トーコーの各種洗浄装置

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洗浄装置

2021年10月14日

ノズルパンフレットのカタログ

東光技研工業株式会社
ノズルパンフレット

タグ付けカテゴリ

洗浄装置

2021年10月14日

アリミツの洗浄装置システムのカタログ

有光工業株式会社
アリミツの洗浄装置システム

製品個別カタログ

タグ付けカテゴリ

洗浄装置

2021年7月17日

洗浄装置のカタログ49件分をまとめてダウンロードできます！お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。

HUGパワー株式会社の洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
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株式会社イー・スクエアの洗浄装置のカタログ
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OKIネクステック株式会社の洗浄装置のカタログ
株式会社ブルー・スターR&Dの洗浄装置のカタログ
オガワ精機株式会社の洗浄装置のカタログ
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ティックコーポレーション株式会社の洗浄装置のカタログ

企業

HUGパワー株式会社 株式会社イー・スクエア OKIネクステック株式会社 株式会社ブルー・スターR&D オガワ精機株式会社 東光技研工業株式会社 有光工業株式会社 株式会社マルヤス MONOVATE株式会社 株式会社明治機械製作所 ティックコーポレーション株式会社 株式会社インターテック販売 ピュアトラスト株式会社 精和産業株式会社 キクロン株式会社 株式会社シバタ 株式会社永田製作所 PHT株式会社 株式会社MEI 株式会社アールアンドアール 株式会社CJVインターナショナル


洗浄装置の価格・相場

洗浄装置の平均価格

138,346 円

洗浄装置の最低価格

4,000 円

洗浄装置の最高価格

1,140,000 円

価格について: Metoreeに登録されている洗浄装置の製品556点の2024年11月23日時点での価格データを元に算出しています。

洗浄装置の関連カテゴリ

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