メーカー5社一覧
製品39件一覧

プラズマインジケーター
メーカー5社・39製品一覧【2024年】

プラズマインジケーターについての概要、用途、原理などをご説明します。また、プラズマインジケーターのメーカー5社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。プラズマインジケーター関連企業の2024年3月注目ランキングは1位:株式会社サクラクレパス、2位:NU-Rei株式会社、3位:ゼネラル物産株式会社となっています。

プラズマインジケーターとは？
プラズマインジケーターのメーカー5社一覧
プラズマインジケーターの製品39件一覧

プラズマインジケータとは

プラズマインジケータとは、プラズマ処理の効果を色材の変色によって可視化し、評価するツールです。

プラズマ処理は、様々な素材に対する表面処理の前処理として行われます。電気的作用により、酸素などの気体をプラズマ化し、ラジカルを発生させて樹脂などの表面に付与します。プラズマインジケータは、ガスプラズマ中のラジカルやイオンなどと反応して変色する色材を用いることで、プラズマ処理の効果を簡便に評価することが可能です。

プラズマインジケータの使用用途

1. プラズマ処理の用途

プラズマ処理は、産業分野において、金属、合成樹脂、セラミックス、プラスチックなど、様々な素材に対して施されます。主な用途は下記のものが挙げられます。

めっき前の表面改質
接合面の表面改質 (ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど)
プリント配線板製造
FPD製造
フィルム加工
部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
プリント配線板におけるデスミア工程
LSI、メモリ、MEMS、LED等電子デバイスの封止前のクリーニング

2. プラズマインジケータの用途

プラズマインジケータは、上記のようなプラズマ処理を必要とする産業シーンで、プラズマ処理の効果を評価することに使用されます。主な用途は下記のものが挙げられます。電子部品メーカー、樹脂成型品メーカー、半導体メーカーを始めとした多くの産業分野で使用されている評価ツールです。

不良品の検知
3次元形状の対象物においてムラができていないか確認する
プラズマ装置不具合の早期発見
製品品質のばらつきがないかの確認
ウエハの面内均一性の確認
酸素のリークチェック
高価な検査設備を代替することによる省コスト化

プラズマインジケータの原理

プラズマインジケータは、フィルムなどの基材の上に、各種ガスプラズマの中に含まれるラジカルやイオンなどと反応する機能性色材が付加されている構造です。

プラズマ強度に応じて連続的な変色が起こるため、プラズマの処理効果を細かく評価することが可能です。カードやラベルなどの形状があり、ステージ面に置く、壁面に貼り付けるなどの方法で測定することができます。使用されている素材には、「有機色材とPET基材」の組み合わせと「無機色材とポリイミド基材」の組み合わせなどがあります。

プラズマインジケータの種類

プラズマインジケータには、検出可能なプラズマ種によって様々な種類があります。主な種類は、O_₂クリーニング用、Arクリーニング用、大気圧プラズマ用、デスミア用などです。また、200℃まで耐熱可能な耐熱用、基板と同じ形状で面無い分布を可視化することができるウエハ型などもあります。

下記には代表的なものを記述しましたが、それぞれ、低感度・中感度・高感度の製品が用意されています。

1. O_₂クリーニング用

O₂クリーニング用は、有機色材とPET基材の組み合わせを使用し、ラジカル性のプラズマ検知に最適化された製品です。ラジカル性のプラズマであれば検知できるため、O₂以外にもN_₂、Air、CF_₄、H_₂、NH_₃なども検知可能です。また、Arプラズマで変色する場合もあります。

また、UV洗浄、及び、UVオゾン洗浄にも適用することが可能です。カード型、ラベル型、シート型などがあります。

2. Arクリーニング用

Arクリーニング用は、有機色材とPET基材の組み合わせを使用していますが、O_₂クリーニングでは検知しにくいHeやArなどのイオン性プラズマを効率よく検知できる製品です。

3. 大気圧プラズマ用

大気圧プラズマは、マイルドなプラズマ処理におけるラジカル種に特化した製品です。O₂、N₂、Arなどに対応しています。高感度の色材を採用しており、有機色材とクリーンペーパーの組み合わせで構成されています。

面積が広い部分の大気圧プラズマ処理のチェックに適しており、UV洗浄、及び、UVオゾン洗浄にも適用することが可能です。

4. 耐熱性

耐熱性のプラズマインジケータには、色材に無機材質、基材にポリイミドを使用しています。200℃までの高温で使用することができます。 (物理的耐熱温度は250℃)

フレキシブル性及び、接着性があるため、基盤表面や装置内に自由に貼り付け評価することが可能です。

プラズマインジケーターメーカー 5社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

プラズマインジケータ PLAZMARK O2クリーニング用注目製品
株式会社サクラクレパス

プラズマ中の活性種により変色する機能性色材を用いた評価ツール。
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。
（Arプラズマでも変色する場合があります）
Oラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

製品をみる会社サイトをみる

- - 株式会社サクラクレパスメーカー
    プラズマインジケータPLAZMARK製品群
  - 会社サイト創業: 1921年従業員数: 1,600人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区森ノ宮中央 1-6-20
- 無料サンプルサンプル測定
  
  プラズマインジケータはリトマス紙のように色が変化してプラズマ処理効果を確認できる画期的な確認ツールです。誰でも手軽に目視で確認できます。用途に応じて様々なラインナップからお選びいただけます。
  
  製品をみる会社サイトをみる
- - 浜松ホトニクス株式会社メーカー
    プラズマプロセスモニタ
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1953年従業員数: 3,884人会社詳細
  - 住所: 静岡県浜松市中区砂山町325-6 日本生命浜松駅前ビル
- - 株式会社FUJI メーカー
    Tough Plasma FSI
  - 会社サイト創業: 1959年従業員数: 1,710人資本金: 5,878,000,000円会社詳細
  - 住所: 愛知県知立市山町茶碓山19番地
- - NU-Rei株式会社
    プラズマ装置
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 愛知県名古屋市東区葵3丁目23-3　第14オーシャンビル5階
- - ゼネラル物産株式会社商社・代理店
    プラズマ電力の測定
  - 会社サイト創業: 1982年会社詳細
  - 住所: 東京都中野区中野2丁目18番2号ゼネラル物産本社ビル

プラズマインジケーター 2024年3月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年3月の注目ランキングベスト5

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社サクラクレパス	33.3%
2	NU-Rei株式会社	16.7%
3	ゼネラル物産株式会社	16.7%
4	株式会社FUJI	16.7%
5	浜松ホトニクス株式会社	16.7%

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2024年3月のプラズマインジケーターページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

浜松ホトニクス: 3,884人
FUJI: 1,710人
サクラクレパス: 1,600人

設立年の新しい会社

ゼネラル物産: 1982年
FUJI: 1959年
浜松ホトニクス: 1953年

歴史のある会社

サクラクレパス: 1921年
浜松ホトニクス: 1953年
FUJI: 1959年

プラズマインジケーター注目ランキング

製品の閲覧数をもとに算出したランキング

PLAZMARK® ウエハ型セラミックタイプ

株式会社サクラクレパス

70人以上が見ています

PLAZMARK® O₂クリーニング用 No.1 (高感度)

株式会社サクラクレパス

60人以上が見ています

PLAZMARK® O₂クリーニング用 No.2 (中感度)

株式会社サクラクレパス

60人以上が見ています

最新の閲覧: 2日前

PLAZMARK® Arクリーニング用 No.20 (超高感度)

株式会社サクラクレパス

50人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

PLAZMARK® O₂クリーニング用 No.3 (低感度)

株式会社サクラクレパス

50人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

PLAZMARK® Arクリーニング用 No.22 (中感度)

株式会社サクラクレパス

50人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

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