アニール炉のカタログ

アニール炉のカタログ 4件

テルモセラ・ジャパン株式会社
アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

製品個別カタログ

カタログ概要

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』Φ6inch、Φ8inchウエハーアニール装置研究開発から小規模生産まで多目的に幅広く対応するハイパフォーマ...

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アニール炉真空炉電気炉

2022年8月5日

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テルモセラ・ジャパン株式会社
アニール炉『ANNEAL ウエハーアニール装置』

製品個別カタログ

カタログ概要

アニール炉『ANNEAL ウエハーアニール装置』Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）高真空水冷式...

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アニール炉半導体製造装置電気炉

2023年1月7日

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テルモセラ・ジャパン株式会社
BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃

製品個別カタログ

カタログ概要

【UHV対応 PVD/CVD真空薄膜実験用面状加熱ヒーター】大学・研究機関のお客様に限定した安価で短納期なヒーター製品を用意致しました。３種類のサイズ（Φ1, ...

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アニール炉ヒーター成膜装置

2023年9月15日

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テルモセラ・ジャパン株式会社
【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

製品個別カタログ

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CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現性に優れた高真空超高温ウエハー加熱用ホットプレートヒータープレートにインコネルもしくはBNプレート...

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アニール炉ヒーター成膜装置

2023年9月15日

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