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独自のプラズマソースを利用し、窒化、先鋭化などの様々なプロセスをご提案いたします。特に刃物やダイヤモンドの表面処理では多くの実績がございます。ご要...
2021年7月26日
プラズマCVD装置・研究開発/量産・太陽電池・立体物・金属容器・医療容器・ガラス基板MOCVD装置ALD装置
2023年7月13日
省スペース設計で、バキュームポンプ・モジュールはプロセス・モジュールから最大18ｍ離して設置することができます。本装置は、4/5/6 及び 8 インチ・ウェハ...
2024年5月24日
欧州アカデミックパートナーとの共同開発。ウエハースケール・グラフェン合成装置。 Φ3inch、Φ4inch ウエハーサイズ対応プラズマCVD 装置。不純物を抑制し清...
2023年9月15日
「プラズマ見える化」ツール プラズマインジケータの製品カタログです。
2024年1月11日
