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マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ-SME-200シリーズ
マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ-アルバック販売株式会社

マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ
アルバック販売株式会社

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■概要

プロセス室を複数搭載可能 (最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200) なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

■用途

・電子部品 ・MEMS ・パワーデバイス ・LED

■特長

φ200mm基板を搬送可能

■プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ

・誘電体用モジュール ・高温成膜モジュール ・精密分布モジュール ・エッチングモジュール

  • シリーズ

    マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ

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マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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