マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
プロセス室を複数搭載可能 (最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200) なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。■用途
・電子部品 ・MEMS ・パワーデバイス ・LED■特長
φ200mm基板を搬送可能■プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ
・誘電体用モジュール ・高温成膜モジュール ・精密分布モジュール ・エッチングモジュール-
シリーズ
マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ
-
取扱企業
アルバック販売株式会社
-
カテゴリ
スパッタリング装置注目ランキング
もっと見る
スパッタリング装置の製品52点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
|---|---|---|
|
|
SME-200シリーズ |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
